1 市場概要
1.1 CVD ALD前駆体の定義
1.2 グローバルCVD ALD前駆体の市場規模と予測
1.2.1 売上別のグローバルCVD ALD前駆体の市場規模（2019-2030）
1.2.2 販売量別のグローバルCVD ALD前駆体の市場規模（2019-2030）
1.2.3 グローバルCVD ALD前駆体の平均販売価格（ASP）（2019-2030）
1.3 中国CVD ALD前駆体の市場規模・予測
1.3.1 売上別の中国CVD ALD前駆体市場規模（2019-2030）
1.3.2 販売量別の中国CVD ALD前駆体市場規模（2019-2030）
1.3.3 中国CVD ALD前駆体の平均販売価格（ASP）（2019-2030）
1.4 世界における中国CVD ALD前駆体の市場シェア
1.4.1 世界における売上別の中国CVD ALD前駆体市場シェア（2019～2030）
1.4.2 世界市場における販売量別の中国CVD ALD前駆体市場シェア（2019～2030）
1.4.3 CVD ALD前駆体の市場規模、中国VS世界（2019-2030）
1.5 CVD ALD前駆体市場ダイナミックス
1.5.1 CVD ALD前駆体の市場ドライバ
1.5.2 CVD ALD前駆体市場の制約
1.5.3 CVD ALD前駆体業界動向
1.5.4 CVD ALD前駆体産業政策
2 世界主要会社市場シェアとランキング
2.1 会社別の世界CVD ALD前駆体売上の市場シェア（2019～2024）
2.2 会社別の世界CVD ALD前駆体販売量の市場シェア（2019～2024）
2.3 会社別のCVD ALD前駆体の平均販売価格（ASP）、2019～2024
2.4 グローバルCVD ALD前駆体のトップ会社、マーケットポジション（ティア1、ティア2、ティア3）
2.5 グローバルCVD ALD前駆体の市場集中度
2.6 グローバルCVD ALD前駆体の合併と買収、拡張計画
2.7 主要会社のCVD ALD前駆体製品タイプ
2.8 主要会社の本社と生産拠点
2.9 主要会社の生産能力の推移と今後の計画
3 中国主要会社市場シェアとランキング
3.1 会社別の中国CVD ALD前駆体売上の市場シェア（2019-2024年）
3.2 CVD ALD前駆体の販売量における中国の主要会社市場シェア（2019～2024）
3.3 中国CVD ALD前駆体のトップ会社、マーケットポジション（ティア1、ティア2、ティア3）
4 世界の生産地域
4.1 グローバルCVD ALD前駆体の生産能力、生産量、稼働率（2019～2030）
4.2 地域別のグローバルCVD ALD前駆体の生産能力
4.3 地域別のグローバルCVD ALD前駆体の生産量と予測、2019年 VS 2023年 VS 2030年
4.4 地域別のグローバルCVD ALD前駆体の生産量（2019～2030）
4.5 地域別のグローバルCVD ALD前駆体の生産量市場シェアと予測（2019-2030）
5 産業チェーン分析
5.1 CVD ALD前駆体産業チェーン
5.2 上流産業分析
5.2.1 CVD ALD前駆体の主な原材料
5.2.2 主な原材料の主要サプライヤー
5.3 中流産業分析
5.4 下流産業分析
5.5 生産モード
5.6 CVD ALD前駆体調達モデル
5.7 CVD ALD前駆体業界の販売モデルと販売チャネル
5.7.1 CVD ALD前駆体販売モデル
5.7.2 CVD ALD前駆体代表的なディストリビューター
6 製品別のCVD ALD前駆体一覧
6.1 CVD ALD前駆体分類
6.1.1 Silicon Precursor
6.1.2 Titanium Precursor
6.1.3 Zirconium Precursor
6.1.4 Others
6.2 製品別のグローバルCVD ALD前駆体の売上とCAGR、2019年 VS 2023年 VS 2030年
6.3 製品別のグローバルCVD ALD前駆体の売上（2019～2030）
6.4 製品別のグローバルCVD ALD前駆体の販売量（2019～2030）
6.5 製品別のグローバルCVD ALD前駆体の平均販売価格（ASP）（2019～2030）
7 アプリケーション別のCVD ALD前駆体一覧
7.1 CVD ALD前駆体アプリケーション
7.1.1 Integrated Circuit Chip
7.1.2 Flat Panel Display
7.1.3 Solar Photovoltaic
7.1.4 others
7.2 アプリケーション別のグローバルCVD ALD前駆体の売上とCAGR、2019 VS 2023 VS 2030
7.3 アプリケーション別のグローバルCVD ALD前駆体の売上（2019～2030）
7.4 アプリケーション別のグローバルCVD ALD前駆体販売量（2019～2030）
7.5 アプリケーション別のグローバルCVD ALD前駆体価格（2019～2030）
8 地域別のCVD ALD前駆体市場規模一覧
8.1 地域別のグローバルCVD ALD前駆体の売上、2019 VS 2023 VS 2030
8.2 地域別のグローバルCVD ALD前駆体の売上（2019～2030）
8.3 地域別のグローバルCVD ALD前駆体の販売量（2019～2030）
8.4 北米
8.4.1 北米CVD ALD前駆体の市場規模・予測（2019～2030）
8.4.2 国別の北米CVD ALD前駆体市場規模シェア
8.5 ヨーロッパ
8.5.1 ヨーロッパCVD ALD前駆体市場規模・予測（2019～2030）
8.5.2 国別のヨーロッパCVD ALD前駆体市場規模シェア
8.6 アジア太平洋地域
8.6.1 アジア太平洋地域CVD ALD前駆体市場規模・予測（2019～2030）
8.6.2 国・地域別のアジア太平洋地域CVD ALD前駆体市場規模シェア
8.7 南米
8.7.1 南米CVD ALD前駆体の市場規模・予測（2019～2030）
8.7.2 国別の南米CVD ALD前駆体市場規模シェア
8.8 中東・アフリカ
9 国別のCVD ALD前駆体市場規模一覧
9.1 国別のグローバルCVD ALD前駆体の市場規模＆CAGR、2019年 VS 2023年 VS 2030年
9.2 国別のグローバルCVD ALD前駆体の売上（2019～2030）
9.3 国別のグローバルCVD ALD前駆体の販売量（2019～2030）
9.4 米国
9.4.1 米国CVD ALD前駆体市場規模（2019～2030）
9.4.2 製品別の米国販売量の市場シェア、2023年 VS 2030年
9.4.3 “アプリケーション別の米国販売量市場のシェア、2023年 VS 2030年
9.5 ヨーロッパ
9.5.1 ヨーロッパCVD ALD前駆体市場規模（2019～2030）
9.5.2 製品別のヨーロッパCVD ALD前駆体販売量の市場シェア、2023年 VS 2030年
9.5.3 アプリケーション別のヨーロッパCVD ALD前駆体販売量の市場シェア、2023年 VS 2030年
9.6 中国
9.6.1 中国CVD ALD前駆体市場規模（2019～2030）
9.6.2 製品別の中国CVD ALD前駆体販売量の市場シェア、2023年 VS 2030年
9.6.3 アプリケーション別の中国CVD ALD前駆体販売量の市場シェア、2023年 VS 2030年
9.7 日本
9.7.1 日本CVD ALD前駆体市場規模（2019～2030）
9.7.2 製品別の日本CVD ALD前駆体販売量の市場シェア、2023年 VS 2030年
9.7.3 アプリケーション別の日本CVD ALD前駆体販売量の市場シェア、2023年 VS 2030年
9.8 韓国
9.8.1 韓国CVD ALD前駆体市場規模（2019～2030）
9.8.2 製品別の韓国CVD ALD前駆体販売量の市場シェア、2023年 VS 2030年
9.8.3 アプリケーション別の韓国CVD ALD前駆体販売量の市場シェア、2023年 VS 2030年
9.9 東南アジア
9.9.1 東南アジアCVD ALD前駆体市場規模（2019～2030）
9.9.2 製品別の東南アジアCVD ALD前駆体販売量の市場シェア、2023年 VS 2030年
9.9.3 アプリケーション別の東南アジアCVD ALD前駆体販売量の市場シェア、2023年 VS 2030年
9.10 インド
9.10.1 インドCVD ALD前駆体市場規模（2019～2030）
9.10.2 製品別のインドCVD ALD前駆体販売量の市場シェア、2023 VS 2030年
9.10.3 アプリケーション別のインドCVD ALD前駆体販売量の市場シェア、2023 VS 2030年
9.11 中東・アフリカ
9.11.1 中東・アフリカCVD ALD前駆体市場規模（2019～2030）
9.11.2 製品別の中東・アフリカCVD ALD前駆体販売量の市場シェア、2023年 VS 2030年
9.11.3 アプリケーション別の中東・アフリカCVD ALD前駆体販売量の市場シェア、2023 VS 2030年
10 会社概要
10.1 Merck
10.1.1 Merck 企業情報、本社、販売地域、市場地位
10.1.2 Merck CVD ALD前駆体製品モデル、仕様、アプリケーション
10.1.3 Merck CVD ALD前駆体販売量、売上、価格、粗利益率、2019～2024
10.1.4 Merck 会社紹介と事業概要
10.1.5 Merck 最近の開発状況
10.2 Air Liquide
10.2.1 Air Liquide 企業情報、本社、販売地域、市場地位
10.2.2 Air Liquide CVD ALD前駆体製品モデル、仕様、アプリケーション
10.2.3 Air Liquide CVD ALD前駆体販売量、売上、価格、粗利益率、2019～2024
10.2.4 Air Liquide 会社紹介と事業概要
10.2.5 Air Liquide 最近の開発状況
10.3 SK Material
10.3.1 SK Material 企業情報、本社、販売地域、市場地位
10.3.2 SK Material CVD ALD前駆体製品モデル、仕様、アプリケーション
10.3.3 SK Material CVD ALD前駆体販売量、売上、価格、粗利益率、2019～2024
10.3.4 SK Material 会社紹介と事業概要
10.3.5 SK Material 最近の開発状況
10.4 DNF
10.4.1 DNF 企業情報、本社、販売地域、市場地位
10.4.2 DNF CVD ALD前駆体製品モデル、仕様、アプリケーション
10.4.3 DNF CVD ALD前駆体販売量、売上、価格、粗利益率、2019～2024
10.4.4 DNF 会社紹介と事業概要
10.4.5 DNF 最近の開発状況
10.5 Yoke (UP Chemical)
10.5.1 Yoke (UP Chemical) 企業情報、本社、販売地域、市場地位
10.5.2 Yoke (UP Chemical) CVD ALD前駆体製品モデル、仕様、アプリケーション
10.5.3 Yoke (UP Chemical) CVD ALD前駆体販売量、売上、価格、粗利益率、2019～2024
10.5.4 Yoke (UP Chemical) 会社紹介と事業概要
10.5.5 Yoke (UP Chemical) 最近の開発状況
10.6 Soulbrain
10.6.1 Soulbrain 企業情報、本社、販売地域、市場地位
10.6.2 Soulbrain CVD ALD前駆体製品モデル、仕様、アプリケーション
10.6.3 Soulbrain CVD ALD前駆体販売量、売上、価格、粗利益率、2019～2024
10.6.4 Soulbrain 会社紹介と事業概要
10.6.5 Soulbrain 最近の開発状況
10.7 Hansol Chemical
10.7.1 Hansol Chemical 企業情報、本社、販売地域、市場地位
10.7.2 Hansol Chemical CVD ALD前駆体製品モデル、仕様、アプリケーション
10.7.3 Hansol Chemical CVD ALD前駆体販売量、売上、価格、粗利益率、2019～2024
10.7.4 Hansol Chemical 会社紹介と事業概要
10.7.5 Hansol Chemical 最近の開発状況
10.8 ADEKA
10.8.1 ADEKA 企業情報、本社、販売地域、市場地位
10.8.2 ADEKA CVD ALD前駆体製品モデル、仕様、アプリケーション
10.8.3 ADEKA CVD ALD前駆体販売量、売上、価格、粗利益率、2019～2024
10.8.4 ADEKA 会社紹介と事業概要
10.8.5 ADEKA 最近の開発状況
10.9 Dupont
10.9.1 Dupont 企業情報、本社、販売地域、市場地位
10.9.2 Dupont CVD ALD前駆体製品モデル、仕様、アプリケーション
10.9.3 Dupont CVD ALD前駆体販売量、売上、価格、粗利益率、2019～2024
10.9.4 Dupont 会社紹介と事業概要
10.9.5 Dupont 最近の開発状況
10.10 Nanmat
10.10.1 Nanmat 企業情報、本社、販売地域、市場地位
10.10.2 Nanmat CVD ALD前駆体製品モデル、仕様、アプリケーション
10.10.3 Nanmat CVD ALD前駆体販売量、売上、価格、粗利益率、2019～2024
10.10.4 Nanmat 会社紹介と事業概要
10.10.5 Nanmat 最近の開発状況
10.11 Engtegris
10.11.1 Engtegris 企業情報、本社、販売地域、市場地位
10.11.2 Engtegris CVD ALD前駆体製品モデル、仕様、アプリケーション
10.11.3 Engtegris CVD ALD前駆体販売量、売上、価格、粗利益率、2019～2024
10.11.4 Engtegris 会社紹介と事業概要
10.11.5 Engtegris 最近の開発状況
10.12 TANAKA
10.12.1 TANAKA 企業情報、本社、販売地域、市場地位
10.12.2 TANAKA CVD ALD前駆体製品モデル、仕様、アプリケーション
10.12.3 TANAKA CVD ALD前駆体販売量、売上、価格、粗利益率、2019～2024
10.12.4 TANAKA 会社紹介と事業概要
10.12.5 TANAKA 最近の開発状況
10.13 Botai
10.13.1 Botai 企業情報、本社、販売地域、市場地位
10.13.2 Botai CVD ALD前駆体製品モデル、仕様、アプリケーション
10.13.3 Botai CVD ALD前駆体販売量、売上、価格、粗利益率、2019～2024
10.13.4 Botai 会社紹介と事業概要
10.13.5 Botai 最近の開発状況
10.14 Strem Chemicals
10.14.1 Strem Chemicals 企業情報、本社、販売地域、市場地位
10.14.2 Strem Chemicals CVD ALD前駆体製品モデル、仕様、アプリケーション
10.14.3 Strem Chemicals CVD ALD前駆体販売量、売上、価格、粗利益率、2019～2024
10.14.4 Strem Chemicals 会社紹介と事業概要
10.14.5 Strem Chemicals 最近の開発状況
10.15 Nata Chem
10.15.1 Nata Chem 企業情報、本社、販売地域、市場地位
10.15.2 Nata Chem CVD ALD前駆体製品モデル、仕様、アプリケーション
10.15.3 Nata Chem CVD ALD前駆体販売量、売上、価格、粗利益率、2019～2024
10.15.4 Nata Chem 会社紹介と事業概要
10.15.5 Nata Chem 最近の開発状況
10.16 Gelest
10.16.1 Gelest 企業情報、本社、販売地域、市場地位
10.16.2 Gelest CVD ALD前駆体製品モデル、仕様、アプリケーション
10.16.3 Gelest CVD ALD前駆体販売量、売上、価格、粗利益率、2019～2024
10.16.4 Gelest 会社紹介と事業概要
10.16.5 Gelest 最近の開発状況
10.17 Adchem-tech
10.17.1 Adchem-tech 企業情報、本社、販売地域、市場地位
10.17.2 Adchem-tech CVD ALD前駆体製品モデル、仕様、アプリケーション
10.17.3 Adchem-tech CVD ALD前駆体販売量、売上、価格、粗利益率、2019～2024
10.17.4 Adchem-tech 会社紹介と事業概要
10.17.5 Adchem-tech 最近の開発状況
11 結論
12 付録
12.1 研究方法論
12.2 データソース
12.2.1 二次資料
12.2.2 一次資料
12.3 データ クロスバリデーション
12.4 免責事項
| ※参考情報 CVD（Chemical Vapor Deposition）およびALD（Atomic Layer Deposition）は、薄膜生成技術として広く利用されており、これらのプロセスで使用される前駆体は、薄膜の特性や質を大きく左右します。CVDとALDの前駆体には、それぞれ特性や用途に応じた多様な種類があります。 まず、CVDとALDの基本概念について説明します。CVDは、ガス状の前駆体を基板上に導入し、その反応によって固体の薄膜を形成する技術です。一方、ALDは、交互に異なる前駆体を基板上に供給することによって、原子層レベルでの精密な薄膜成長を実現します。このプロセスは、通常、自己制御型の反応メカニズムによって進行します。これにより、均一な膜厚を持つ高品質な薄膜を生成することが可能になります。 次に、CVDおよびALDの前駆体の特徴について述べます。前駆体は、通常はガス状または揮発性の化合物であり、反応性が高く、基板に対して適切な反応が行われやすい特性を持つ必要があります。また、前駆体は、膜形成後に残留物が残らないように、分解や反応の際に適切に揮発または消去されることが求められます。このため、前駆体の選定は、膜の特性やプロセスの効率に直接影響を与えるため、非常に重要です。 CVDにおいては、前駆体の種類は非常に多岐にわたります。典型的な前駆体の例としては、シラン（SiH₄）、ジメチルシラン（DMS）、ティタニウムテトラクロライド（TiCl₄）などが挙げられます。シリコン系の前駆体は、半導体デバイスや太陽光発電パネルの製造において重要な役割を果たしています。また、金属酸化物を形成するための前駆体も多く、例えば、アルミニウムトリメチル（TMA: Al(CH₃)₃）は、アルミニウム酸化物の成膜に広く利用されています。その特性からも、前駆体の適切な選定がCVDプロセスの成功に寄与することが分かります。 ALD用の前駆体は、CVDとは異なり、特に薄膜の厚さが原子単位で制御されるため、より特異な要求がされます。前駆体は、自己反応的であり、基板上で十分に反応し、次のサイクルのためにすみやかに除去される必要があります。ALDで広く用いられる前駆体には、アルミニウムのTMAの他にも、亜鉛のジエチル亜鉛（DEZ: Zn(C₂H₅)₂）、ハフニウムのハフニウムテトラクロライド（HfCl₄）などがあります。これらの前駆体は、特定の金属酸化物や窒化物の合成において重要な役割を果たしています。 前駆体の用途についても触れておくと、CVDおよびALDは、特に半導体産業において重要なプロセスです。半導体デバイスの製造において、絶縁膜や導電膜、センサー材料、触媒等が必要とされる場面で、これらの技術が広く利用されています。例えば、トランジスタのゲート酸化物層や、メモリデバイスの絶縁層として酸化シリコン膜を形成する際にALDが用いられます。また、CVDは、太陽電池の薄膜層やセラミックス、光学コーティングなど、では非常に重要です。 関連技術として、メタルオーガニック化学気相成長（MOCVD）があります。MOCVDは、特にIII-V族半導体の成長において使用される技術で、オーガニック金属前駆体を用いて成膜を行います。この技術も、CVDやALDの前駆体の選定と同様に、膜の品質や特性に大きな影響を与えるため、ポイントとなります。 全体として、CVDおよびALDの前駆体は、薄膜形成において極めて重要な役割を果たしており、半導体産業や関連分野での応用が進展しています。また、化学構造や反応特性に基づき、新たな前駆体開発が進むことで、より高性能な材料の合成が期待されています。このように、CVDおよびALDにおける前駆体の研究は、今後の技術革新や産業発展においても重要なテーマとなるでしょう。 |
