1 市場概要
1.1 半導体装置用真空計の定義
1.2 グローバル半導体装置用真空計の市場規模と予測
1.2.1 売上別のグローバル半導体装置用真空計の市場規模（2019-2030）
1.2.2 販売量別のグローバル半導体装置用真空計の市場規模（2019-2030）
1.2.3 グローバル半導体装置用真空計の平均販売価格（ASP）（2019-2030）
1.3 中国半導体装置用真空計の市場規模・予測
1.3.1 売上別の中国半導体装置用真空計市場規模（2019-2030）
1.3.2 販売量別の中国半導体装置用真空計市場規模（2019-2030）
1.3.3 中国半導体装置用真空計の平均販売価格（ASP）（2019-2030）
1.4 世界における中国半導体装置用真空計の市場シェア
1.4.1 世界における売上別の中国半導体装置用真空計市場シェア（2019～2030）
1.4.2 世界市場における販売量別の中国半導体装置用真空計市場シェア（2019～2030）
1.4.3 半導体装置用真空計の市場規模、中国VS世界（2019-2030）
1.5 半導体装置用真空計市場ダイナミックス
1.5.1 半導体装置用真空計の市場ドライバ
1.5.2 半導体装置用真空計市場の制約
1.5.3 半導体装置用真空計業界動向
1.5.4 半導体装置用真空計産業政策
2 世界主要会社市場シェアとランキング
2.1 会社別の世界半導体装置用真空計売上の市場シェア（2019～2024）
2.2 会社別の世界半導体装置用真空計販売量の市場シェア（2019～2024）
2.3 会社別の半導体装置用真空計の平均販売価格（ASP）、2019～2024
2.4 グローバル半導体装置用真空計のトップ会社、マーケットポジション（ティア1、ティア2、ティア3）
2.5 グローバル半導体装置用真空計の市場集中度
2.6 グローバル半導体装置用真空計の合併と買収、拡張計画
2.7 主要会社の半導体装置用真空計製品タイプ
2.8 主要会社の本社と生産拠点
2.9 主要会社の生産能力の推移と今後の計画
3 中国主要会社市場シェアとランキング
3.1 会社別の中国半導体装置用真空計売上の市場シェア（2019-2024年）
3.2 半導体装置用真空計の販売量における中国の主要会社市場シェア（2019～2024）
3.3 中国半導体装置用真空計のトップ会社、マーケットポジション（ティア1、ティア2、ティア3）
4 世界の生産地域
4.1 グローバル半導体装置用真空計の生産能力、生産量、稼働率（2019～2030）
4.2 地域別のグローバル半導体装置用真空計の生産能力
4.3 地域別のグローバル半導体装置用真空計の生産量と予測、2019年 VS 2023年 VS 2030年
4.4 地域別のグローバル半導体装置用真空計の生産量（2019～2030）
4.5 地域別のグローバル半導体装置用真空計の生産量市場シェアと予測（2019-2030）
5 産業チェーン分析
5.1 半導体装置用真空計産業チェーン
5.2 上流産業分析
5.2.1 半導体装置用真空計の主な原材料
5.2.2 主な原材料の主要サプライヤー
5.3 中流産業分析
5.4 下流産業分析
5.5 生産モード
5.6 半導体装置用真空計調達モデル
5.7 半導体装置用真空計業界の販売モデルと販売チャネル
5.7.1 半導体装置用真空計販売モデル
5.7.2 半導体装置用真空計代表的なディストリビューター
6 製品別の半導体装置用真空計一覧
6.1 半導体装置用真空計分類
6.1.1 Capacitance Diaphragm Gauge
6.1.2 Ionization Vacuum Gauge
6.1.3 Pirani Vacuum Gauge
6.1.4 Others
6.2 製品別のグローバル半導体装置用真空計の売上とCAGR、2019年 VS 2023年 VS 2030年
6.3 製品別のグローバル半導体装置用真空計の売上（2019～2030）
6.4 製品別のグローバル半導体装置用真空計の販売量（2019～2030）
6.5 製品別のグローバル半導体装置用真空計の平均販売価格（ASP）（2019～2030）
7 アプリケーション別の半導体装置用真空計一覧
7.1 半導体装置用真空計アプリケーション
7.1.1 Deposition
7.1.2 Etching and Cleaning
7.1.3 Ion Implantation
7.1.4 Others
7.2 アプリケーション別のグローバル半導体装置用真空計の売上とCAGR、2019 VS 2023 VS 2030
7.3 アプリケーション別のグローバル半導体装置用真空計の売上（2019～2030）
7.4 アプリケーション別のグローバル半導体装置用真空計販売量（2019～2030）
7.5 アプリケーション別のグローバル半導体装置用真空計価格（2019～2030）
8 地域別の半導体装置用真空計市場規模一覧
8.1 地域別のグローバル半導体装置用真空計の売上、2019 VS 2023 VS 2030
8.2 地域別のグローバル半導体装置用真空計の売上（2019～2030）
8.3 地域別のグローバル半導体装置用真空計の販売量（2019～2030）
8.4 北米
8.4.1 北米半導体装置用真空計の市場規模・予測（2019～2030）
8.4.2 国別の北米半導体装置用真空計市場規模シェア
8.5 ヨーロッパ
8.5.1 ヨーロッパ半導体装置用真空計市場規模・予測（2019～2030）
8.5.2 国別のヨーロッパ半導体装置用真空計市場規模シェア
8.6 アジア太平洋地域
8.6.1 アジア太平洋地域半導体装置用真空計市場規模・予測（2019～2030）
8.6.2 国・地域別のアジア太平洋地域半導体装置用真空計市場規模シェア
8.7 南米
8.7.1 南米半導体装置用真空計の市場規模・予測（2019～2030）
8.7.2 国別の南米半導体装置用真空計市場規模シェア
8.8 中東・アフリカ
9 国別の半導体装置用真空計市場規模一覧
9.1 国別のグローバル半導体装置用真空計の市場規模＆CAGR、2019年 VS 2023年 VS 2030年
9.2 国別のグローバル半導体装置用真空計の売上（2019～2030）
9.3 国別のグローバル半導体装置用真空計の販売量（2019～2030）
9.4 米国
9.4.1 米国半導体装置用真空計市場規模（2019～2030）
9.4.2 製品別の米国販売量の市場シェア、2023年 VS 2030年
9.4.3 “アプリケーション別の米国販売量市場のシェア、2023年 VS 2030年
9.5 ヨーロッパ
9.5.1 ヨーロッパ半導体装置用真空計市場規模（2019～2030）
9.5.2 製品別のヨーロッパ半導体装置用真空計販売量の市場シェア、2023年 VS 2030年
9.5.3 アプリケーション別のヨーロッパ半導体装置用真空計販売量の市場シェア、2023年 VS 2030年
9.6 中国
9.6.1 中国半導体装置用真空計市場規模（2019～2030）
9.6.2 製品別の中国半導体装置用真空計販売量の市場シェア、2023年 VS 2030年
9.6.3 アプリケーション別の中国半導体装置用真空計販売量の市場シェア、2023年 VS 2030年
9.7 日本
9.7.1 日本半導体装置用真空計市場規模（2019～2030）
9.7.2 製品別の日本半導体装置用真空計販売量の市場シェア、2023年 VS 2030年
9.7.3 アプリケーション別の日本半導体装置用真空計販売量の市場シェア、2023年 VS 2030年
9.8 韓国
9.8.1 韓国半導体装置用真空計市場規模（2019～2030）
9.8.2 製品別の韓国半導体装置用真空計販売量の市場シェア、2023年 VS 2030年
9.8.3 アプリケーション別の韓国半導体装置用真空計販売量の市場シェア、2023年 VS 2030年
9.9 東南アジア
9.9.1 東南アジア半導体装置用真空計市場規模（2019～2030）
9.9.2 製品別の東南アジア半導体装置用真空計販売量の市場シェア、2023年 VS 2030年
9.9.3 アプリケーション別の東南アジア半導体装置用真空計販売量の市場シェア、2023年 VS 2030年
9.10 インド
9.10.1 インド半導体装置用真空計市場規模（2019～2030）
9.10.2 製品別のインド半導体装置用真空計販売量の市場シェア、2023 VS 2030年
9.10.3 アプリケーション別のインド半導体装置用真空計販売量の市場シェア、2023 VS 2030年
9.11 中東・アフリカ
9.11.1 中東・アフリカ半導体装置用真空計市場規模（2019～2030）
9.11.2 製品別の中東・アフリカ半導体装置用真空計販売量の市場シェア、2023年 VS 2030年
9.11.3 アプリケーション別の中東・アフリカ半導体装置用真空計販売量の市場シェア、2023 VS 2030年
10 会社概要
10.1 MKS (Granville-Phillips)
10.1.1 MKS (Granville-Phillips) 企業情報、本社、販売地域、市場地位
10.1.2 MKS (Granville-Phillips) 半導体装置用真空計製品モデル、仕様、アプリケーション
10.1.3 MKS (Granville-Phillips) 半導体装置用真空計販売量、売上、価格、粗利益率、2019～2024
10.1.4 MKS (Granville-Phillips) 会社紹介と事業概要
10.1.5 MKS (Granville-Phillips) 最近の開発状況
10.2 Inficon
10.2.1 Inficon 企業情報、本社、販売地域、市場地位
10.2.2 Inficon 半導体装置用真空計製品モデル、仕様、アプリケーション
10.2.3 Inficon 半導体装置用真空計販売量、売上、価格、粗利益率、2019～2024
10.2.4 Inficon 会社紹介と事業概要
10.2.5 Inficon 最近の開発状況
10.3 Canon ANELVA
10.3.1 Canon ANELVA 企業情報、本社、販売地域、市場地位
10.3.2 Canon ANELVA 半導体装置用真空計製品モデル、仕様、アプリケーション
10.3.3 Canon ANELVA 半導体装置用真空計販売量、売上、価格、粗利益率、2019～2024
10.3.4 Canon ANELVA 会社紹介と事業概要
10.3.5 Canon ANELVA 最近の開発状況
10.4 Atlas Copco (Leybold，and Edwards)
10.4.1 Atlas Copco (Leybold，and Edwards) 企業情報、本社、販売地域、市場地位
10.4.2 Atlas Copco (Leybold，and Edwards) 半導体装置用真空計製品モデル、仕様、アプリケーション
10.4.3 Atlas Copco (Leybold，and Edwards) 半導体装置用真空計販売量、売上、価格、粗利益率、2019～2024
10.4.4 Atlas Copco (Leybold，and Edwards) 会社紹介と事業概要
10.4.5 Atlas Copco (Leybold，and Edwards) 最近の開発状況
10.5 Pfeiffer Vacuum GmbH
10.5.1 Pfeiffer Vacuum GmbH 企業情報、本社、販売地域、市場地位
10.5.2 Pfeiffer Vacuum GmbH 半導体装置用真空計製品モデル、仕様、アプリケーション
10.5.3 Pfeiffer Vacuum GmbH 半導体装置用真空計販売量、売上、価格、粗利益率、2019～2024
10.5.4 Pfeiffer Vacuum GmbH 会社紹介と事業概要
10.5.5 Pfeiffer Vacuum GmbH 最近の開発状況
10.6 Agilent
10.6.1 Agilent 企業情報、本社、販売地域、市場地位
10.6.2 Agilent 半導体装置用真空計製品モデル、仕様、アプリケーション
10.6.3 Agilent 半導体装置用真空計販売量、売上、価格、粗利益率、2019～2024
10.6.4 Agilent 会社紹介と事業概要
10.6.5 Agilent 最近の開発状況
10.7 ULVAC
10.7.1 ULVAC 企業情報、本社、販売地域、市場地位
10.7.2 ULVAC 半導体装置用真空計製品モデル、仕様、アプリケーション
10.7.3 ULVAC 半導体装置用真空計販売量、売上、価格、粗利益率、2019～2024
10.7.4 ULVAC 会社紹介と事業概要
10.7.5 ULVAC 最近の開発状況
10.8 SATO VAC INC
10.8.1 SATO VAC INC 企業情報、本社、販売地域、市場地位
10.8.2 SATO VAC INC 半導体装置用真空計製品モデル、仕様、アプリケーション
10.8.3 SATO VAC INC 半導体装置用真空計販売量、売上、価格、粗利益率、2019～2024
10.8.4 SATO VAC INC 会社紹介と事業概要
10.8.5 SATO VAC INC 最近の開発状況
10.9 Azbil Corporation
10.9.1 Azbil Corporation 企業情報、本社、販売地域、市場地位
10.9.2 Azbil Corporation 半導体装置用真空計製品モデル、仕様、アプリケーション
10.9.3 Azbil Corporation 半導体装置用真空計販売量、売上、価格、粗利益率、2019～2024
10.9.4 Azbil Corporation 会社紹介と事業概要
10.9.5 Azbil Corporation 最近の開発状況
10.10 Arun Microelectronics
10.10.1 Arun Microelectronics 企業情報、本社、販売地域、市場地位
10.10.2 Arun Microelectronics 半導体装置用真空計製品モデル、仕様、アプリケーション
10.10.3 Arun Microelectronics 半導体装置用真空計販売量、売上、価格、粗利益率、2019～2024
10.10.4 Arun Microelectronics 会社紹介と事業概要
10.10.5 Arun Microelectronics 最近の開発状況
10.11 Teledyne Hastings Instruments
10.11.1 Teledyne Hastings Instruments 企業情報、本社、販売地域、市場地位
10.11.2 Teledyne Hastings Instruments 半導体装置用真空計製品モデル、仕様、アプリケーション
10.11.3 Teledyne Hastings Instruments 半導体装置用真空計販売量、売上、価格、粗利益率、2019～2024
10.11.4 Teledyne Hastings Instruments 会社紹介と事業概要
10.11.5 Teledyne Hastings Instruments 最近の開発状況
10.12 Kurt J. Lesker
10.12.1 Kurt J. Lesker 企業情報、本社、販売地域、市場地位
10.12.2 Kurt J. Lesker 半導体装置用真空計製品モデル、仕様、アプリケーション
10.12.3 Kurt J. Lesker 半導体装置用真空計販売量、売上、価格、粗利益率、2019～2024
10.12.4 Kurt J. Lesker 会社紹介と事業概要
10.12.5 Kurt J. Lesker 最近の開発状況
10.13 Setra Systems
10.13.1 Setra Systems 企業情報、本社、販売地域、市場地位
10.13.2 Setra Systems 半導体装置用真空計製品モデル、仕様、アプリケーション
10.13.3 Setra Systems 半導体装置用真空計販売量、売上、価格、粗利益率、2019～2024
10.13.4 Setra Systems 会社紹介と事業概要
10.13.5 Setra Systems 最近の開発状況
10.14 EBARA
10.14.1 EBARA 企業情報、本社、販売地域、市場地位
10.14.2 EBARA 半導体装置用真空計製品モデル、仕様、アプリケーション
10.14.3 EBARA 半導体装置用真空計販売量、売上、価格、粗利益率、2019～2024
10.14.4 EBARA 会社紹介と事業概要
10.14.5 EBARA 最近の開発状況
10.15 ATOVAC
10.15.1 ATOVAC 企業情報、本社、販売地域、市場地位
10.15.2 ATOVAC 半導体装置用真空計製品モデル、仕様、アプリケーション
10.15.3 ATOVAC 半導体装置用真空計販売量、売上、価格、粗利益率、2019～2024
10.15.4 ATOVAC 会社紹介と事業概要
10.15.5 ATOVAC 最近の開発状況
10.16 Reborns
10.16.1 Reborns 企業情報、本社、販売地域、市場地位
10.16.2 Reborns 半導体装置用真空計製品モデル、仕様、アプリケーション
10.16.3 Reborns 半導体装置用真空計販売量、売上、価格、粗利益率、2019～2024
10.16.4 Reborns 会社紹介と事業概要
10.16.5 Reborns 最近の開発状況
11 結論
12 付録
12.1 研究方法論
12.2 データソース
12.2.1 二次資料
12.2.2 一次資料
12.3 データ クロスバリデーション
12.4 免責事項
| ※参考情報 半導体装置用真空計は、半導体製造プロセスにおいて重要な役割を果たす計測器です。半導体製品の製造過程では、極めて高い真空条件を維持することが要求されます。このため、真空計は重要な性能指標として、製造装置の運転状態を監視し、プロセスの安定性や製品の品質を確保するために必要不可欠な機器となっています。 真空計は、真空度を測定するための装置であり、その働きは様々なタイプの半導体装置で利用されています。一般的に、真空度は絶対圧力（Pa）で表され、非常に低い圧力に対応するための特別な設計が行われています。半導体プロセスでは、通常、10^-3 Pa（ミリトール）から10^-10 Pa（ナノトール）という超高真空状態が求められるため、真空計はそれに応じた高精度の測定ができる必要があります。 真空計にはいくつかの特徴があります。一つは、非常に広範な測定範囲です。半導体製造は多段階のプロセスであり、各段階で異なる真空度が必要とされます。例えば、エッチング、成膜、CVD（化学蒸着）などのプロセスでは、それぞれ異なる真空環境が整えられます。また、短時間での応答性も重要で、プロセス中の瞬時の変化にも迅速に対応できる必要があります。 真空計の種類には、主に3つのカテゴリがあります。第一は、機械式真空計であり、ベローズ式やアネロイド式などの構造を持ちます。これらは、特に低圧域での真空測定に適しています。第二は、熱真空計で、ここには熱伝導式と熱電対式が含まれます。熱真空計は、圧力の変化に応じてセンサーの温度変化を測定する方式です。第三は、イオン化真空計で、これにはトリポラリ式やエッジ型などがあります。イオン化真空計は、非常に低い圧力域でも高精度の測定ができるため、超高真空アプリケーションにおいて特に重宝されています。 真空計の主な用途は、半導体製造装置のプロセス制御及び監視です。真空製品は、エッチング、成膜、洗浄、酸化、窒化、拡散など多岐にわたるプロセスで使用されます。これらのプロセスにおいて、正確な真空度の維持は生産性及び製品の性能に直結するため、真空計はその中心的な役割を果たします。また、真空計は装置のメンテナンスや故障診断にも役立ち、異常が発生した際に早期に対処するための情報を提供します。 関連技術としては、真空計自体の性能を向上させるための新しい材料の研究や、デジタル化への対応も挙げられます。最近では、IoTや人工知能（AI）の導入が進み、真空計のデータをリアルタイムでモニタリングし、分析することで、プロセスの最適化を図る試みが行われています。こうした先進技術は、半導体製造業界の効率化と高品質化に寄与しています。 これらの背景を持つ半導体装置用真空計は、今後も技術進化と市場の需要に応じてさらに重要性を増すことは間違いありません。製造プロセスの複雑化、微細化の進展に伴い、真空計の精度向上や新たな適用範囲拡大が求められる中、業界全体の競争力強化に寄与することが期待されているのです。 以上のように、半導体装置用真空計は、測定精度、応答性、用途の広さなど、多くの面で要求される高度な性能を備えています。その技術の進展は、半導体産業の発展に直結し、今後も多くの技術革新が期待される分野であると言えるでしょう。 |
