1 市場概要
1.1 半導体用マスフローコントローラーの定義
1.2 グローバル半導体用マスフローコントローラーの市場規模と予測
1.2.1 売上別のグローバル半導体用マスフローコントローラーの市場規模（2019-2030）
1.2.2 販売量別のグローバル半導体用マスフローコントローラーの市場規模（2019-2030）
1.2.3 グローバル半導体用マスフローコントローラーの平均販売価格（ASP）（2019-2030）
1.3 中国半導体用マスフローコントローラーの市場規模・予測
1.3.1 売上別の中国半導体用マスフローコントローラー市場規模（2019-2030）
1.3.2 販売量別の中国半導体用マスフローコントローラー市場規模（2019-2030）
1.3.3 中国半導体用マスフローコントローラーの平均販売価格（ASP）（2019-2030）
1.4 世界における中国半導体用マスフローコントローラーの市場シェア
1.4.1 世界における売上別の中国半導体用マスフローコントローラー市場シェア（2019～2030）
1.4.2 世界市場における販売量別の中国半導体用マスフローコントローラー市場シェア（2019～2030）
1.4.3 半導体用マスフローコントローラーの市場規模、中国VS世界（2019-2030）
1.5 半導体用マスフローコントローラー市場ダイナミックス
1.5.1 半導体用マスフローコントローラーの市場ドライバ
1.5.2 半導体用マスフローコントローラー市場の制約
1.5.3 半導体用マスフローコントローラー業界動向
1.5.4 半導体用マスフローコントローラー産業政策
2 世界主要会社市場シェアとランキング
2.1 会社別の世界半導体用マスフローコントローラー売上の市場シェア（2019～2024）
2.2 会社別の世界半導体用マスフローコントローラー販売量の市場シェア（2019～2024）
2.3 会社別の半導体用マスフローコントローラーの平均販売価格（ASP）、2019～2024
2.4 グローバル半導体用マスフローコントローラーのトップ会社、マーケットポジション（ティア1、ティア2、ティア3）
2.5 グローバル半導体用マスフローコントローラーの市場集中度
2.6 グローバル半導体用マスフローコントローラーの合併と買収、拡張計画
2.7 主要会社の半導体用マスフローコントローラー製品タイプ
2.8 主要会社の本社と生産拠点
2.9 主要会社の生産能力の推移と今後の計画
3 中国主要会社市場シェアとランキング
3.1 会社別の中国半導体用マスフローコントローラー売上の市場シェア（2019-2024年）
3.2 半導体用マスフローコントローラーの販売量における中国の主要会社市場シェア（2019～2024）
3.3 中国半導体用マスフローコントローラーのトップ会社、マーケットポジション（ティア1、ティア2、ティア3）
4 世界の生産地域
4.1 グローバル半導体用マスフローコントローラーの生産能力、生産量、稼働率（2019～2030）
4.2 地域別のグローバル半導体用マスフローコントローラーの生産能力
4.3 地域別のグローバル半導体用マスフローコントローラーの生産量と予測、2019年 VS 2023年 VS 2030年
4.4 地域別のグローバル半導体用マスフローコントローラーの生産量（2019～2030）
4.5 地域別のグローバル半導体用マスフローコントローラーの生産量市場シェアと予測（2019-2030）
5 産業チェーン分析
5.1 半導体用マスフローコントローラー産業チェーン
5.2 上流産業分析
5.2.1 半導体用マスフローコントローラーの主な原材料
5.2.2 主な原材料の主要サプライヤー
5.3 中流産業分析
5.4 下流産業分析
5.5 生産モード
5.6 半導体用マスフローコントローラー調達モデル
5.7 半導体用マスフローコントローラー業界の販売モデルと販売チャネル
5.7.1 半導体用マスフローコントローラー販売モデル
5.7.2 半導体用マスフローコントローラー代表的なディストリビューター
6 製品別の半導体用マスフローコントローラー一覧
6.1 半導体用マスフローコントローラー分類
6.1.1 Thermal Type
6.1.2 Pressure Type
6.2 製品別のグローバル半導体用マスフローコントローラーの売上とCAGR、2019年 VS 2023年 VS 2030年
6.3 製品別のグローバル半導体用マスフローコントローラーの売上（2019～2030）
6.4 製品別のグローバル半導体用マスフローコントローラーの販売量（2019～2030）
6.5 製品別のグローバル半導体用マスフローコントローラーの平均販売価格（ASP）（2019～2030）
7 アプリケーション別の半導体用マスフローコントローラー一覧
7.1 半導体用マスフローコントローラーアプリケーション
7.1.1 Semiconductor Processing Furnace
7.1.2 PVD&CVD Equipment
7.1.3 Etching Equipment
7.1.4 Others
7.2 アプリケーション別のグローバル半導体用マスフローコントローラーの売上とCAGR、2019 VS 2023 VS 2030
7.3 アプリケーション別のグローバル半導体用マスフローコントローラーの売上（2019～2030）
7.4 アプリケーション別のグローバル半導体用マスフローコントローラー販売量（2019～2030）
7.5 アプリケーション別のグローバル半導体用マスフローコントローラー価格（2019～2030）
8 地域別の半導体用マスフローコントローラー市場規模一覧
8.1 地域別のグローバル半導体用マスフローコントローラーの売上、2019 VS 2023 VS 2030
8.2 地域別のグローバル半導体用マスフローコントローラーの売上（2019～2030）
8.3 地域別のグローバル半導体用マスフローコントローラーの販売量（2019～2030）
8.4 北米
8.4.1 北米半導体用マスフローコントローラーの市場規模・予測（2019～2030）
8.4.2 国別の北米半導体用マスフローコントローラー市場規模シェア
8.5 ヨーロッパ
8.5.1 ヨーロッパ半導体用マスフローコントローラー市場規模・予測（2019～2030）
8.5.2 国別のヨーロッパ半導体用マスフローコントローラー市場規模シェア
8.6 アジア太平洋地域
8.6.1 アジア太平洋地域半導体用マスフローコントローラー市場規模・予測（2019～2030）
8.6.2 国・地域別のアジア太平洋地域半導体用マスフローコントローラー市場規模シェア
8.7 南米
8.7.1 南米半導体用マスフローコントローラーの市場規模・予測（2019～2030）
8.7.2 国別の南米半導体用マスフローコントローラー市場規模シェア
8.8 中東・アフリカ
9 国別の半導体用マスフローコントローラー市場規模一覧
9.1 国別のグローバル半導体用マスフローコントローラーの市場規模＆CAGR、2019年 VS 2023年 VS 2030年
9.2 国別のグローバル半導体用マスフローコントローラーの売上（2019～2030）
9.3 国別のグローバル半導体用マスフローコントローラーの販売量（2019～2030）
9.4 米国
9.4.1 米国半導体用マスフローコントローラー市場規模（2019～2030）
9.4.2 製品別の米国販売量の市場シェア、2023年 VS 2030年
9.4.3 “アプリケーション別の米国販売量市場のシェア、2023年 VS 2030年
9.5 ヨーロッパ
9.5.1 ヨーロッパ半導体用マスフローコントローラー市場規模（2019～2030）
9.5.2 製品別のヨーロッパ半導体用マスフローコントローラー販売量の市場シェア、2023年 VS 2030年
9.5.3 アプリケーション別のヨーロッパ半導体用マスフローコントローラー販売量の市場シェア、2023年 VS 2030年
9.6 中国
9.6.1 中国半導体用マスフローコントローラー市場規模（2019～2030）
9.6.2 製品別の中国半導体用マスフローコントローラー販売量の市場シェア、2023年 VS 2030年
9.6.3 アプリケーション別の中国半導体用マスフローコントローラー販売量の市場シェア、2023年 VS 2030年
9.7 日本
9.7.1 日本半導体用マスフローコントローラー市場規模（2019～2030）
9.7.2 製品別の日本半導体用マスフローコントローラー販売量の市場シェア、2023年 VS 2030年
9.7.3 アプリケーション別の日本半導体用マスフローコントローラー販売量の市場シェア、2023年 VS 2030年
9.8 韓国
9.8.1 韓国半導体用マスフローコントローラー市場規模（2019～2030）
9.8.2 製品別の韓国半導体用マスフローコントローラー販売量の市場シェア、2023年 VS 2030年
9.8.3 アプリケーション別の韓国半導体用マスフローコントローラー販売量の市場シェア、2023年 VS 2030年
9.9 東南アジア
9.9.1 東南アジア半導体用マスフローコントローラー市場規模（2019～2030）
9.9.2 製品別の東南アジア半導体用マスフローコントローラー販売量の市場シェア、2023年 VS 2030年
9.9.3 アプリケーション別の東南アジア半導体用マスフローコントローラー販売量の市場シェア、2023年 VS 2030年
9.10 インド
9.10.1 インド半導体用マスフローコントローラー市場規模（2019～2030）
9.10.2 製品別のインド半導体用マスフローコントローラー販売量の市場シェア、2023 VS 2030年
9.10.3 アプリケーション別のインド半導体用マスフローコントローラー販売量の市場シェア、2023 VS 2030年
9.11 中東・アフリカ
9.11.1 中東・アフリカ半導体用マスフローコントローラー市場規模（2019～2030）
9.11.2 製品別の中東・アフリカ半導体用マスフローコントローラー販売量の市場シェア、2023年 VS 2030年
9.11.3 アプリケーション別の中東・アフリカ半導体用マスフローコントローラー販売量の市場シェア、2023 VS 2030年
10 会社概要
10.1 HORIBA
10.1.1 HORIBA 企業情報、本社、販売地域、市場地位
10.1.2 HORIBA 半導体用マスフローコントローラー製品モデル、仕様、アプリケーション
10.1.3 HORIBA 半導体用マスフローコントローラー販売量、売上、価格、粗利益率、2019～2024
10.1.4 HORIBA 会社紹介と事業概要
10.1.5 HORIBA 最近の開発状況
10.2 Fujikin
10.2.1 Fujikin 企業情報、本社、販売地域、市場地位
10.2.2 Fujikin 半導体用マスフローコントローラー製品モデル、仕様、アプリケーション
10.2.3 Fujikin 半導体用マスフローコントローラー販売量、売上、価格、粗利益率、2019～2024
10.2.4 Fujikin 会社紹介と事業概要
10.2.5 Fujikin 最近の開発状況
10.3 MKS Instruments
10.3.1 MKS Instruments 企業情報、本社、販売地域、市場地位
10.3.2 MKS Instruments 半導体用マスフローコントローラー製品モデル、仕様、アプリケーション
10.3.3 MKS Instruments 半導体用マスフローコントローラー販売量、売上、価格、粗利益率、2019～2024
10.3.4 MKS Instruments 会社紹介と事業概要
10.3.5 MKS Instruments 最近の開発状況
10.4 Sevenstar
10.4.1 Sevenstar 企業情報、本社、販売地域、市場地位
10.4.2 Sevenstar 半導体用マスフローコントローラー製品モデル、仕様、アプリケーション
10.4.3 Sevenstar 半導体用マスフローコントローラー販売量、売上、価格、粗利益率、2019～2024
10.4.4 Sevenstar 会社紹介と事業概要
10.4.5 Sevenstar 最近の開発状況
10.5 Hitachi Metals, Ltd
10.5.1 Hitachi Metals, Ltd 企業情報、本社、販売地域、市場地位
10.5.2 Hitachi Metals, Ltd 半導体用マスフローコントローラー製品モデル、仕様、アプリケーション
10.5.3 Hitachi Metals, Ltd 半導体用マスフローコントローラー販売量、売上、価格、粗利益率、2019～2024
10.5.4 Hitachi Metals, Ltd 会社紹介と事業概要
10.5.5 Hitachi Metals, Ltd 最近の開発状況
10.6 Pivotal Systems
10.6.1 Pivotal Systems 企業情報、本社、販売地域、市場地位
10.6.2 Pivotal Systems 半導体用マスフローコントローラー製品モデル、仕様、アプリケーション
10.6.3 Pivotal Systems 半導体用マスフローコントローラー販売量、売上、価格、粗利益率、2019～2024
10.6.4 Pivotal Systems 会社紹介と事業概要
10.6.5 Pivotal Systems 最近の開発状況
10.7 MKP
10.7.1 MKP 企業情報、本社、販売地域、市場地位
10.7.2 MKP 半導体用マスフローコントローラー製品モデル、仕様、アプリケーション
10.7.3 MKP 半導体用マスフローコントローラー販売量、売上、価格、粗利益率、2019～2024
10.7.4 MKP 会社紹介と事業概要
10.7.5 MKP 最近の開発状況
10.8 AZBIL
10.8.1 AZBIL 企業情報、本社、販売地域、市場地位
10.8.2 AZBIL 半導体用マスフローコントローラー製品モデル、仕様、アプリケーション
10.8.3 AZBIL 半導体用マスフローコントローラー販売量、売上、価格、粗利益率、2019～2024
10.8.4 AZBIL 会社紹介と事業概要
10.8.5 AZBIL 最近の開発状況
10.9 Bronkhorst
10.9.1 Bronkhorst 企業情報、本社、販売地域、市場地位
10.9.2 Bronkhorst 半導体用マスフローコントローラー製品モデル、仕様、アプリケーション
10.9.3 Bronkhorst 半導体用マスフローコントローラー販売量、売上、価格、粗利益率、2019～2024
10.9.4 Bronkhorst 会社紹介と事業概要
10.9.5 Bronkhorst 最近の開発状況
10.10 Lintec
10.10.1 Lintec 企業情報、本社、販売地域、市場地位
10.10.2 Lintec 半導体用マスフローコントローラー製品モデル、仕様、アプリケーション
10.10.3 Lintec 半導体用マスフローコントローラー販売量、売上、価格、粗利益率、2019～2024
10.10.4 Lintec 会社紹介と事業概要
10.10.5 Lintec 最近の開発状況
10.11 Kofloc
10.11.1 Kofloc 企業情報、本社、販売地域、市場地位
10.11.2 Kofloc 半導体用マスフローコントローラー製品モデル、仕様、アプリケーション
10.11.3 Kofloc 半導体用マスフローコントローラー販売量、売上、価格、粗利益率、2019～2024
10.11.4 Kofloc 会社紹介と事業概要
10.11.5 Kofloc 最近の開発状況
10.12 Brooks
10.12.1 Brooks 企業情報、本社、販売地域、市場地位
10.12.2 Brooks 半導体用マスフローコントローラー製品モデル、仕様、アプリケーション
10.12.3 Brooks 半導体用マスフローコントローラー販売量、売上、価格、粗利益率、2019～2024
10.12.4 Brooks 会社紹介と事業概要
10.12.5 Brooks 最近の開発状況
10.13 Sensirion
10.13.1 Sensirion 企業情報、本社、販売地域、市場地位
10.13.2 Sensirion 半導体用マスフローコントローラー製品モデル、仕様、アプリケーション
10.13.3 Sensirion 半導体用マスフローコントローラー販売量、売上、価格、粗利益率、2019～2024
10.13.4 Sensirion 会社紹介と事業概要
10.13.5 Sensirion 最近の開発状況
10.14 ACCU
10.14.1 ACCU 企業情報、本社、販売地域、市場地位
10.14.2 ACCU 半導体用マスフローコントローラー製品モデル、仕様、アプリケーション
10.14.3 ACCU 半導体用マスフローコントローラー販売量、売上、価格、粗利益率、2019～2024
10.14.4 ACCU 会社紹介と事業概要
10.14.5 ACCU 最近の開発状況
10.15 Sierra Instruments
10.15.1 Sierra Instruments 企業情報、本社、販売地域、市場地位
10.15.2 Sierra Instruments 半導体用マスフローコントローラー製品モデル、仕様、アプリケーション
10.15.3 Sierra Instruments 半導体用マスフローコントローラー販売量、売上、価格、粗利益率、2019～2024
10.15.4 Sierra Instruments 会社紹介と事業概要
10.15.5 Sierra Instruments 最近の開発状況
11 結論
12 付録
12.1 研究方法論
12.2 データソース
12.2.1 二次資料
12.2.2 一次資料
12.3 データ クロスバリデーション
12.4 免責事項
| ※参考情報 半導体用マスフローコントローラー（Mass Flow Controller、以下MFC）は、半導体製造プロセスにおいて特定のガスの流量を精密に制御するための装置です。この装置は、半導体デバイスの製造過程において非常に重要な役割を果たしています。MFCは、半導体製造に使用される各種ガスの流量を正確に測定し、必要に応じて調整することができるため、製品の品質や生産効率を向上させることができます。 MFCの基本的な概念は、流体の流量を質量単位で測定し、制御することです。これは、流体の温度や圧力の影響を受けにくく、より正確な計測が可能であるため、半導体製造に最適です。一般的な流量計は体積流量を測定することが多いですが、MFCは質量流量であるため、より一貫した性能を実現します。 MFCにはいくつかの特徴があります。第一に、高精度であることです。半導体プロセスにおいては、極めて微細な製品が製造されるため、ガス流量のわずかな変化が最終製品の品質に大きな影響を与えます。したがって、MFCは高精度な流量制御を提供する必要があります。一般的には、±1%未満の精度が求められます。 第二に、迅速な応答時間です。製造プロセスの中では、流量を瞬時に変化させる必要がある場面が多々あります。MFCは、数千分の一秒単位で流量を調整できるため、プロセスにおけるダイナミックな変化にも柔軟に対応することが可能です。 さらに、耐薬品性や耐腐食性も重要な特性として挙げられます。半導体製造に使用されるガスは、しばしば腐食性が高いものや毒性のあるものです。そのため、MFCの素材選定は非常に重要で、フッ素樹脂やステンレススチールなど、耐腐食性に優れた材料が使用されます。 MFCの種類には、熱式、圧力式、質量式などがあります。熱式MFCは、熱を使った原理に基づいており、流体の流量によって異なる熱の伝導特性を利用しています。この方式は、シンプルで広範囲のガスに対応できる一方、温度や圧力の変動に敏感なため、補正が必要になることがあります。 圧力式MFCは、流体の圧力差を利用して流量を測定する方式です。この方式は高濃度のガスや高圧条件下でも使用できるメリットがありますが、精度は熱式に劣ることがあります。 質量式MFCは、コリオリ効果を利用した測定方式で、流体の質量を直接測定します。この技術は非常に高い精度を誇り、さまざまな気体や液体に適用可能ですが、価格が高くなる傾向があります。 MFCの用途は極めて多岐にわたります。主な用途としては、半導体製造におけるエッチングやデポジションプロセスでのガス供給があります。また、CVD（Chemical Vapor Deposition）やPVD（Physical Vapor Deposition）等の材料形成プロセスでも広く使用されています。さらに、試薬ガスの供給や検査装置へのガス供給など、研究開発や品質管理の分野でも重要な役割を果たしています。 関連技術としては、センサー技術や制御アルゴリズムが挙げられます。MFCはセンサーを用いて流量を測定し、そのデータを基に制御システムが流量を調整します。この際、高速なデータ処理可能な制御アルゴリズムが求められます。場合によっては、フィードバック制御と呼ばれる方式を採用し、リアルタイムでの流量調整を行うこともあります。 近年では、IoT（Internet of Things）技術の進展により、MFCの遠隔監視・制御が可能になるなど、さらなる利便性が向上しています。これにより、製造プロセスの効率化やリアルタイムでの品質管理の実現が可能となります。 以上のように、半導体用マスフローコントローラーは、半導体製造に不可欠なデバイスであり、その技術革新は今後も続いていくことでしょう。高精度、高速応答、耐薬品性といった特徴を持つMFCは、半導体業界の発展に寄与し、さらなる高性能デバイスの開発をサポートしていくことが期待されています。 |
