1 Scope of the Report
1.1 Market Introduction
1.2 Years Considered
1.3 Research Objectives
1.4 Market Research Methodology
1.5 Research Process and Data Source
1.6 Economic Indicators
1.7 Currency Considered
1.8 Market Estimation Caveats
2 Executive Summary
2.1 World Market Overview
2.1.1 Global Wafer Dry Etch System Annual Sales 2018-2029
2.1.2 World Current & Future Analysis for Wafer Dry Etch System by Geographic Region, 2018, 2022 & 2029
2.1.3 World Current & Future Analysis for Wafer Dry Etch System by Country/Region, 2018, 2022 & 2029
2.2 Wafer Dry Etch System Segment by Type
2.2.1 Chemical Etching (Vapor Phase Etching)
2.2.2 Physical Etching (Sputter Etching)
2.2.3 Chemical & Physical Etching (Reactive Ion Etching-RIE)
2.3 Wafer Dry Etch System Sales by Type
2.3.1 Global Wafer Dry Etch System Sales Market Share by Type (2018-2023)
2.3.2 Global Wafer Dry Etch System Revenue and Market Share by Type (2018-2023)
2.3.3 Global Wafer Dry Etch System Sale Price by Type (2018-2023)
2.4 Wafer Dry Etch System Segment by Application
2.4.1 MEMS
2.4.2 Photonic Device
2.4.3 Power Devices
2.4.4 RF-IC
2.4.5 Others
2.5 Wafer Dry Etch System Sales by Application
2.5.1 Global Wafer Dry Etch System Sale Market Share by Application (2018-2023)
2.5.2 Global Wafer Dry Etch System Revenue and Market Share by Application (2018-2023)
2.5.3 Global Wafer Dry Etch System Sale Price by Application (2018-2023)
3 Global Wafer Dry Etch System by Company
3.1 Global Wafer Dry Etch System Breakdown Data by Company
3.1.1 Global Wafer Dry Etch System Annual Sales by Company (2018-2023)
3.1.2 Global Wafer Dry Etch System Sales Market Share by Company (2018-2023)
3.2 Global Wafer Dry Etch System Annual Revenue by Company (2018-2023)
3.2.1 Global Wafer Dry Etch System Revenue by Company (2018-2023)
3.2.2 Global Wafer Dry Etch System Revenue Market Share by Company (2018-2023)
3.3 Global Wafer Dry Etch System Sale Price by Company
3.4 Key Manufacturers Wafer Dry Etch System Producing Area Distribution, Sales Area, Product Type
3.4.1 Key Manufacturers Wafer Dry Etch System Product Location Distribution
3.4.2 Players Wafer Dry Etch System Products Offered
3.5 Market Concentration Rate Analysis
3.5.1 Competition Landscape Analysis
3.5.2 Concentration Ratio (CR3, CR5 and CR10) & (2018-2023)
3.6 New Products and Potential Entrants
3.7 Mergers & Acquisitions, Expansion
4 World Historic Review for Wafer Dry Etch System by Geographic Region
4.1 World Historic Wafer Dry Etch System Market Size by Geographic Region (2018-2023)
4.1.1 Global Wafer Dry Etch System Annual Sales by Geographic Region (2018-2023)
4.1.2 Global Wafer Dry Etch System Annual Revenue by Geographic Region (2018-2023)
4.2 World Historic Wafer Dry Etch System Market Size by Country/Region (2018-2023)
4.2.1 Global Wafer Dry Etch System Annual Sales by Country/Region (2018-2023)
4.2.2 Global Wafer Dry Etch System Annual Revenue by Country/Region (2018-2023)
4.3 Americas Wafer Dry Etch System Sales Growth
4.4 APAC Wafer Dry Etch System Sales Growth
4.5 Europe Wafer Dry Etch System Sales Growth
4.6 Middle East & Africa Wafer Dry Etch System Sales Growth
5 Americas
5.1 Americas Wafer Dry Etch System Sales by Country
5.1.1 Americas Wafer Dry Etch System Sales by Country (2018-2023)
5.1.2 Americas Wafer Dry Etch System Revenue by Country (2018-2023)
5.2 Americas Wafer Dry Etch System Sales by Type
5.3 Americas Wafer Dry Etch System Sales by Application
5.4 United States
5.5 Canada
5.6 Mexico
5.7 Brazil
6 APAC
6.1 APAC Wafer Dry Etch System Sales by Region
6.1.1 APAC Wafer Dry Etch System Sales by Region (2018-2023)
6.1.2 APAC Wafer Dry Etch System Revenue by Region (2018-2023)
6.2 APAC Wafer Dry Etch System Sales by Type
6.3 APAC Wafer Dry Etch System Sales by Application
6.4 China
6.5 Japan
6.6 South Korea
6.7 Southeast Asia
6.8 India
6.9 Australia
6.10 China Taiwan
7 Europe
7.1 Europe Wafer Dry Etch System by Country
7.1.1 Europe Wafer Dry Etch System Sales by Country (2018-2023)
7.1.2 Europe Wafer Dry Etch System Revenue by Country (2018-2023)
7.2 Europe Wafer Dry Etch System Sales by Type
7.3 Europe Wafer Dry Etch System Sales by Application
7.4 Germany
7.5 France
7.6 UK
7.7 Italy
7.8 Russia
8 Middle East & Africa
8.1 Middle East & Africa Wafer Dry Etch System by Country
8.1.1 Middle East & Africa Wafer Dry Etch System Sales by Country (2018-2023)
8.1.2 Middle East & Africa Wafer Dry Etch System Revenue by Country (2018-2023)
8.2 Middle East & Africa Wafer Dry Etch System Sales by Type
8.3 Middle East & Africa Wafer Dry Etch System Sales by Application
8.4 Egypt
8.5 South Africa
8.6 Israel
8.7 Turkey
8.8 GCC Countries
9 Market Drivers, Challenges and Trends
9.1 Market Drivers & Growth Opportunities
9.2 Market Challenges & Risks
9.3 Industry Trends
10 Manufacturing Cost Structure Analysis
10.1 Raw Material and Suppliers
10.2 Manufacturing Cost Structure Analysis of Wafer Dry Etch System
10.3 Manufacturing Process Analysis of Wafer Dry Etch System
10.4 Industry Chain Structure of Wafer Dry Etch System
11 Marketing, Distributors and Customer
11.1 Sales Channel
11.1.1 Direct Channels
11.1.2 Indirect Channels
11.2 Wafer Dry Etch System Distributors
11.3 Wafer Dry Etch System Customer
12 World Forecast Review for Wafer Dry Etch System by Geographic Region
12.1 Global Wafer Dry Etch System Market Size Forecast by Region
12.1.1 Global Wafer Dry Etch System Forecast by Region (2024-2029)
12.1.2 Global Wafer Dry Etch System Annual Revenue Forecast by Region (2024-2029)
12.2 Americas Forecast by Country
12.3 APAC Forecast by Region
12.4 Europe Forecast by Country
12.5 Middle East & Africa Forecast by Country
12.6 Global Wafer Dry Etch System Forecast by Type
12.7 Global Wafer Dry Etch System Forecast by Application
13 Key Players Analysis
13.1 Lam Research
13.1.1 Lam Research Company Information
13.1.2 Lam Research Wafer Dry Etch System Product Portfolios and Specifications
13.1.3 Lam Research Wafer Dry Etch System Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2018-2023)
13.1.4 Lam Research Main Business Overview
13.1.5 Lam Research Latest Developments
13.2 TEL
13.2.1 TEL Company Information
13.2.2 TEL Wafer Dry Etch System Product Portfolios and Specifications
13.2.3 TEL Wafer Dry Etch System Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2018-2023)
13.2.4 TEL Main Business Overview
13.2.5 TEL Latest Developments
13.3 Applied Materials
13.3.1 Applied Materials Company Information
13.3.2 Applied Materials Wafer Dry Etch System Product Portfolios and Specifications
13.3.3 Applied Materials Wafer Dry Etch System Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2018-2023)
13.3.4 Applied Materials Main Business Overview
13.3.5 Applied Materials Latest Developments
13.4 Hitachi High-Technologies
13.4.1 Hitachi High-Technologies Company Information
13.4.2 Hitachi High-Technologies Wafer Dry Etch System Product Portfolios and Specifications
13.4.3 Hitachi High-Technologies Wafer Dry Etch System Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2018-2023)
13.4.4 Hitachi High-Technologies Main Business Overview
13.4.5 Hitachi High-Technologies Latest Developments
13.5 Oxford Instruments
13.5.1 Oxford Instruments Company Information
13.5.2 Oxford Instruments Wafer Dry Etch System Product Portfolios and Specifications
13.5.3 Oxford Instruments Wafer Dry Etch System Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2018-2023)
13.5.4 Oxford Instruments Main Business Overview
13.5.5 Oxford Instruments Latest Developments
13.6 SPTS Technologies
13.6.1 SPTS Technologies Company Information
13.6.2 SPTS Technologies Wafer Dry Etch System Product Portfolios and Specifications
13.6.3 SPTS Technologies Wafer Dry Etch System Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2018-2023)
13.6.4 SPTS Technologies Main Business Overview
13.6.5 SPTS Technologies Latest Developments
13.7 Plasma-Therm
13.7.1 Plasma-Therm Company Information
13.7.2 Plasma-Therm Wafer Dry Etch System Product Portfolios and Specifications
13.7.3 Plasma-Therm Wafer Dry Etch System Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2018-2023)
13.7.4 Plasma-Therm Main Business Overview
13.7.5 Plasma-Therm Latest Developments
13.8 GigaLane
13.8.1 GigaLane Company Information
13.8.2 GigaLane Wafer Dry Etch System Product Portfolios and Specifications
13.8.3 GigaLane Wafer Dry Etch System Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2018-2023)
13.8.4 GigaLane Main Business Overview
13.8.5 GigaLane Latest Developments
13.9 SAMCO
13.9.1 SAMCO Company Information
13.9.2 SAMCO Wafer Dry Etch System Product Portfolios and Specifications
13.9.3 SAMCO Wafer Dry Etch System Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2018-2023)
13.9.4 SAMCO Main Business Overview
13.9.5 SAMCO Latest Developments
13.10 ULVAC, Inc.
13.10.1 ULVAC, Inc. Company Information
13.10.2 ULVAC, Inc. Wafer Dry Etch System Product Portfolios and Specifications
13.10.3 ULVAC, Inc. Wafer Dry Etch System Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2018-2023)
13.10.4 ULVAC, Inc. Main Business Overview
13.10.5 ULVAC, Inc. Latest Developments
13.11 SENTECH Instruments GmbH
13.11.1 SENTECH Instruments GmbH Company Information
13.11.2 SENTECH Instruments GmbH Wafer Dry Etch System Product Portfolios and Specifications
13.11.3 SENTECH Instruments GmbH Wafer Dry Etch System Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2018-2023)
13.11.4 SENTECH Instruments GmbH Main Business Overview
13.11.5 SENTECH Instruments GmbH Latest Developments
13.12 Trion Technology
13.12.1 Trion Technology Company Information
13.12.2 Trion Technology Wafer Dry Etch System Product Portfolios and Specifications
13.12.3 Trion Technology Wafer Dry Etch System Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2018-2023)
13.12.4 Trion Technology Main Business Overview
13.12.5 Trion Technology Latest Developments
13.13 AMEC
13.13.1 AMEC Company Information
13.13.2 AMEC Wafer Dry Etch System Product Portfolios and Specifications
13.13.3 AMEC Wafer Dry Etch System Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2018-2023)
13.13.4 AMEC Main Business Overview
13.13.5 AMEC Latest Developments
13.14 NAURA
13.14.1 NAURA Company Information
13.14.2 NAURA Wafer Dry Etch System Product Portfolios and Specifications
13.14.3 NAURA Wafer Dry Etch System Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2018-2023)
13.14.4 NAURA Main Business Overview
13.14.5 NAURA Latest Developments
14 Research Findings and Conclusion
| ※参考情報 ウェーハドライエッチング装置（Wafer Dry Etch System）は、半導体製造プロセスにおける重要な装置であり、特にマスクパターンを基にしたエッチング工程において使用されます。この装置は、ウェーハ表面に施された保護膜や材料を選択的に除去するために利用され、微細な構造を形成するための不可欠なステップです。 ウェーハドライエッチング装置の基本的な定義は、気体状の化学物質を用いて固体材料をエッチング（削ること）する装置です。一般的に、ドライエッチングと呼ばれるためには、エッチングプロセスが湿潤（液体）化学薬品ではなく、気体（ガス）を用いて行われる必要があります。これに対して、ウエットエッチングは化学薬品を液体で使用して行うため、プロセスの性質が異なります。ドライエッチングは、その精度や選択性において非常に優れており、微細なパターンを実現するために広く用いられています。 ウェーハドライエッチング装置の特徴としては、次の事項が挙げられます。まず、非常に高いエッチング精度があります。ナノメートルスケールのパターン形成が可能であるため、次世代チップ製造には欠かせない技術です。また、高い選択性も特徴の一つです。これは、特定の材料を選択的にエッチングできる能力を意味します。すなわち、マスクされた部分はエッチングされず、露出した部分のみが除去されるという特性があります。さらに、低温プロセスが可能なため、熱に敏感な材料でも加工が可能です。 ウェーハドライエッチング装置の種類には、主にプラズマエッチング、反応性イオンエッチング（RIE）、および深部エッチング（Deep Reactive Ion Etching, DRIE）が含まれます。プラズマエッチングは、プラズマを用いて化学反応を促進し、材料を除去します。一方、RIEは、プラズマとイオンビームを組み合わせて材料をエッチングする方法で、高いアスペクト比を持つ微細構造を形成する際によく用いられます。DRIEは、非常に深い穴や溝をエッチングするための技術で、高アスペクト比のパターン形成に特化しています。 これらのエッチング手法は、半導体産業における多数の用途に対応しています。例えば、トランジスタや集積回路の製造、マイクロエレクトロメカニカルシステム（MEMS）、バイオセンサー、光学デバイスなどの微細パターン形成に使用されます。特に、トランジスタの構造はナノメートルスケールまで微細化されているため、高精度なドライエッチング技術が求められます。また、ウェーハドライエッチングは、表面改質や薄膜形成のプロセスにおいても重要な役割を果たします。 関連技術としては、エッチングプロセスのモニタリングや制御技術、さらにはシミュレーション技術が挙げられます。これらは、エッチングプロセスの最適化や、品質管理に必要不可欠であり、高い精度でのパターン形成を実現します。また、マスク材料やエッチングガスの改良も進められており、より高性能な装置開発に貢献しています。 さらに、近年ではインダストリー4.0に対応したスマートファクトリーの概念が普及し、ウェーハドライエッチング装置もデジタル化が進んでいます。リアルタイムでのデータ分析や機械学習を活用したプロセスの最適化が模索されています。これにより、不良品の減少や生産効率の向上が期待されるとともに、工場全体の自動化が進んでいます。 総じて、ウェーハドライエッチング装置は、半導体製造の根幹を支える装置であり、その重要性は増すばかりです。技術の進化とともに、より高精度で効率的なエッチングが可能になり、次世代の半導体素子やデバイスの実現を支える基盤となっています。したがって、今後の技術革新に対する期待は大きく、持続的な研究と開発が求められます。このように、ウェーハドライエッチング装置は、半導体産業の進展に不可欠な要素であり、未来の技術革新の源泉であるといえます。 |
