カテゴリー： 世界, IT/電子, LP Information

半導体装置用真空計の世界市場2023-2029：隔膜真空計、電離真空計、ピラニ真空計、その他

【英語タイトル】Global Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Market Growth 2023-2029

LP Informationが出版した調査資料（LP23JU2277）・商品コード：LP23JU2277
・発行会社（調査会社）：LP Information
・発行日：2023年5月（※2025年版があります。お問い合わせください。）
・ページ数：113
・レポート言語：英語
・レポート形式：PDF
・納品方法：Eメール（受注後2-3営業日）
・調査対象地域：グローバル、日本、アメリカ、ヨーロッパ、アジア、中国など
・産業分野：電子＆半導体
◆販売価格オプション（消費税別）
Single User（1名様閲覧用）USD3,660 ⇒換算￥527,040見積依頼/購入/質問フォーム
Multi User（20名様閲覧用）USD5,490 ⇒換算￥790,560見積依頼/購入/質問フォーム
Corporate User（閲覧人数制限なし）USD7,320 ⇒換算￥1,054,080見積依頼/購入/質問フォーム
※販売価格オプションの説明
※お支払金額：換算金額（日本円）＋消費税
※納期：即日〜2営業日（3日以上かかる場合は別途表記又はご連絡）
※お支払方法：納品日＋5日以内に請求書を発行・送付（請求書発行日より2ヶ月以内に銀行振込、振込先：三菱UFJ銀行/H&Iグローバルリサーチ株式会社、支払期限と方法は調整可能）
❖ レポートの概要 ❖

LPインフォメーション社の最新調査レポート「半導体装置用真空計の世界市場」は、過去の販売実績から2022年の世界の半導体装置用真空計の総販売量を検討し、2023年から2029年の予測される半導体装置用真空計の販売量を地域別・市場分野別に包括的に分析しています。本調査レポートでは、地域別、市場分野別、サブセクター別の半導体装置用真空計の市場規模を掲載し、XXX百万米ドル規模の世界の半導体装置用真空計市場の詳細な分析を提供します。本インサイトレポートは、世界の半導体装置用真空計業界を包括的に分析し、製品セグメント、企業情報、売上、市場シェア、最新動向、M&A活動に関する主要トレンドを明らかにしています。
また、本資料では、加速する世界の半導体装置用真空計市場における各社の独自のポジションをより深く理解するために、半導体装置用真空計製品ポートフォリオ、能力、市場参入戦略、市場でのポジション、海外展開に焦点を当て、主要なグローバル企業の戦略を分析しています。

世界の半導体装置用真空計市場規模は、2022年のXXX百万米ドルから2029年にはXXX百万米ドルに成長すると予測され、2023年から2029年までの年平均成長率は000%と予測されます。半導体装置用真空計の米国市場は、2022年のXXX百万米ドルから2029年にはXXX百万米ドルに増加し、2023年から2029年までのCAGRは000％と予測されています。半導体装置用真空計の中国市場は、2023年から2029年までの年平均000％成長率で、2022年のXXX百万米ドルから2029年にはXXX百万米ドルに増加すると推定されます。半導体装置用真空計の欧州市場は、2023年から2029年にかけて年平均000％成長率で、2022年のXXX百万米ドルから2029年にはXXX百万米ドルに増加すると推定されています。

半導体装置用真空計の世界主要メーカーとしては、MKS (Granville-Phillips)、 Inficon、 Canon ANELVA、 Atlas Copco (Leybold，and Edwards)、 Pfeiffer Vacuum GmbH、 Agilent、 ULVAC、 SATO VAC INC、 Azbil Corporation、 Arun Microelectronics、 Teledyne Hastings Instruments、 Kurt J. Lesker、 Setra Systems、 EBARA、 ATOVAC、 Rebornsなどを掲載しており、売上の面では、世界の2大企業が2022年にほぼ000％のシェアを占めています。

本調査資料では、製品タイプ、用途、主要メーカー、主要地域、国別の半導体装置用真空計市場の包括的な概要、市場シェア、成長機会などの情報を提供しています。

【市場細分化】

本調査では半導体装置用真空計市場をセグメンテーションし、種類別 (隔膜真空計、電離真空計、ピラニ真空計、その他)、用途別 (蒸着、エッチング・洗浄、イオン注入、その他)、および地域別 (アジア太平洋、南北アメリカ、欧州、および中東・アフリカ) の市場規模を予測しています。

・種類別区分：隔膜真空計、電離真空計、ピラニ真空計、その他

・用途別区分：蒸着、エッチング・洗浄、イオン注入、その他

・地域別区分
南北アメリカ（アメリカ、カナダ、メキシコ、ブラジル）
アジア太平洋（中国、日本、韓国、東南アジア、インド、オーストラリア）
欧州（ドイツ、フランス、イギリス、イタリア、ロシア）
中東・アフリカ（エジプト、南アフリカ、イスラエル、トルコ、GCC諸国）

【本レポートで扱う主な質問】

・世界の半導体装置用真空計市場の10年間の市場状況・展望は？
・世界および地域別に見た半導体装置用真空計市場成長の要因は何か？
・半導体装置用真空計の市場機会はエンドマーケットの規模によってどのように変化するのか？
・半導体装置用真空計のタイプ別、用途別の内訳は？
・新型コロナウイルス感染症とロシア・ウクライナ戦争の影響は？

********* 目次 *********

レポートの範囲
・市場の紹介
・分析対象期間
・調査の目的
・調査手法
・調査プロセスおよびデータソース
・経済指標
・通貨

エグゼクティブサマリー
・世界市場の概要：半導体装置用真空計の年間販売量2018-2029、地域別現状・将来分析
・半導体装置用真空計の種類別セグメント：隔膜真空計、電離真空計、ピラニ真空計、その他
・半導体装置用真空計の種類別販売量：2018-2023年の販売量、売上、市場シェア、販売価格
・半導体装置用真空計の用途別セグメント：蒸着、エッチング・洗浄、イオン注入、その他
・半導体装置用真空計の用途別販売量：2018-2023年の販売量、売上、市場シェア、販売価格

企業別世界の半導体装置用真空計市場
・企業別のグローバル半導体装置用真空計市場データ：2018-2023年の年間販売量、市場シェア
・企業別の半導体装置用真空計の年間売上：2018-2023年の売上、市場シェア
・企業別の半導体装置用真空計販売価格
・主要企業の半導体装置用真空計生産地域、販売地域、製品タイプ
・市場集中度分析
・新製品および潜在的な参加者
・合併と買収、拡大

半導体装置用真空計の地域別レビュー
・地域別の半導体装置用真空計市場規模2018-2023：年間販売量、売上
・主要国別の半導体装置用真空計市場規模2018-2023：年間販売量、売上
・南北アメリカの半導体装置用真空計販売の成長
・アジア太平洋の半導体装置用真空計販売の成長
・欧州の半導体装置用真空計販売の成長
・中東・アフリカの半導体装置用真空計販売の成長

南北アメリカ市場
・南北アメリカの国別の半導体装置用真空計販売量、売上（2018-2023）
・南北アメリカの半導体装置用真空計の種類別販売量
・南北アメリカの半導体装置用真空計の用途別販売量
・アメリカ市場
・カナダ市場
・メキシコ市場
・ブラジル市場

アジア太平洋市場
・アジア太平洋の国別の半導体装置用真空計販売量、売上（2018-2023）
・アジア太平洋の半導体装置用真空計の種類別販売量
・アジア太平洋の半導体装置用真空計の用途別販売量
・中国市場
・日本市場
・韓国市場
・東南アジア市場
・インド市場
・オーストラリア市場
・台湾市場

欧州市場
・欧州の国別の半導体装置用真空計販売量、売上（2018-2023）
・欧州の半導体装置用真空計の種類別販売量
・欧州の半導体装置用真空計の用途別販売量
・ドイツ市場
・フランス市場
・イギリス市場
・イタリア市場
・ロシア市場

中東・アフリカ市場
・中東・アフリカの国別の半導体装置用真空計販売量、売上（2018-2023）
・中東・アフリカの半導体装置用真空計の種類別販売量
・中東・アフリカの半導体装置用真空計の用途別販売量
・エジプト市場
・南アフリカ市場
・イスラエル市場
・トルコ市場
・GCC諸国市場

市場の成長要因、課題、動向
・市場の成長要因および成長機会分析
・市場の課題およびリスク
・市場動向

製造コスト構造分析
・原材料とサプライヤー
・半導体装置用真空計の製造コスト構造分析
・半導体装置用真空計の製造プロセス分析
・半導体装置用真空計の産業チェーン構造

マーケティング、販売業者および顧客
・販売チャンネル：直接販売チャンネル、間接販売チャンネル
・半導体装置用真空計の主要なグローバル販売業者
・半導体装置用真空計の主要なグローバル顧客

地域別の半導体装置用真空計市場予測レビュー
・地域別の半導体装置用真空計市場規模予測（2024-2029）
・南北アメリカの国別予測
・アジア太平洋の国別予測
・欧州の国別予測
・半導体装置用真空計の種類別市場規模予測
・半導体装置用真空計の用途別市場規模予測

主要企業分析
MKS (Granville-Phillips)、 Inficon、 Canon ANELVA、 Atlas Copco (Leybold，and Edwards)、 Pfeiffer Vacuum GmbH、 Agilent、 ULVAC、 SATO VAC INC、 Azbil Corporation、 Arun Microelectronics、 Teledyne Hastings Instruments、 Kurt J. Lesker、 Setra Systems、 EBARA、 ATOVAC、 Reborns
・企業情報
・半導体装置用真空計製品
・半導体装置用真空計販売量、売上、価格、粗利益（2018-2023）
・主要ビジネス概要
・最新動向

調査結果および結論

Vacuum measurement is the measurement of vacuum degree, and vacuum degree refers to the thinness of gas below atmospheric pressure. The pressure to express the degree of vacuum is not very reasonable because it has been used in history. High pressure means low vacuum; conversely, low pressure corresponds to high vacuum. Vacuum gauge (Vacuum Gauge), also known as vacuum gauge, is a vacuum sensor made according to various principles to measure the pressure in a vacuum state. It consists of a grid, a filament, and a collector. It is characterized by a mouse with upper and lower end grids. The cage grid, the ring filament, and the coaxial combination structure of the short collector inside the grid with the length of the Xiaoziyang grid, and the use of a vacuum connection tube.
LPI (LP Information)’ newest research report, the “Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Industry Forecast” looks at past sales and reviews total world Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment sales in 2022, providing a comprehensive analysis by region and market sector of projected Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment sales for 2023 through 2029. With Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment sales broken down by region, market sector and sub-sector, this report provides a detailed analysis in US$ millions of the world Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment industry.
This Insight Report provides a comprehensive analysis of the global Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment landscape and highlights key trends related to product segmentation, company formation, revenue, and market share, latest development, and M&A activity. This report also analyzes the strategies of leading global companies with a focus on Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment portfolios and capabilities, market entry strategies, market positions, and geographic footprints, to better understand these firms’ unique position in an accelerating global Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment market.
This Insight Report evaluates the key market trends, drivers, and affecting factors shaping the global outlook for Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment and breaks down the forecast by type, by application, geography, and market size to highlight emerging pockets of opportunity. With a transparent methodology based on hundreds of bottom-up qualitative and quantitative market inputs, this study forecast offers a highly nuanced view of the current state and future trajectory in the global Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment.
The global Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment market size is projected to grow from US$ 97.7 million in 2022 to US$ 185 million in 2029; it is expected to grow at a CAGR of 185 from 2023 to 2029.
Global Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment key players include Inficon, MKS (Granville-Phillips), Canon ANELVA, Atlas Copco (Leybold and Edwards), Pfeiffer Vacuum GmbH, etc. Global top 4 manufacturers hold a share over 60%.
This report presents a comprehensive overview, market shares, and growth opportunities of Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment market by product type, application, key manufacturers and key regions and countries.
Market Segmentation:
Segmentation by type
Capacitance Diaphragm Gauge
Ionization Vacuum Gauge
Pirani Vacuum Gauge
Others
Segmentation by application
Deposition
Etching and Cleaning
Ion Implantation
Others
This report also splits the market by region:
Americas
United States
Canada
Mexico
Brazil
APAC
China
Japan
Korea
Southeast Asia
India
Australia
Europe
Germany
France
UK
Italy
Russia
Middle East & Africa
Egypt
South Africa
Israel
Turkey
GCC Countries
The below companies that are profiled have been selected based on inputs gathered from primary experts and analyzing the company’s coverage, product portfolio, its market penetration.
MKS (Granville-Phillips)
Inficon
Canon ANELVA
Atlas Copco (Leybold，and Edwards)
Pfeiffer Vacuum GmbH
Agilent
ULVAC
SATO VAC INC
Azbil Corporation
Arun Microelectronics
Teledyne Hastings Instruments
Kurt J. Lesker
Setra Systems
EBARA
ATOVAC
Reborns
Key Questions Addressed in this Report
What is the 10-year outlook for the global Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment market?
What factors are driving Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment market growth, globally and by region?
Which technologies are poised for the fastest growth by market and region?
How do Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment market opportunities vary by end market size?
How does Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment break out type, application?
What are the influences of COVID-19 and Russia-Ukraine war?

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❖ レポートの目次 ❖

1 Scope of the Report
1.1 Market Introduction
1.2 Years Considered
1.3 Research Objectives
1.4 Market Research Methodology
1.5 Research Process and Data Source
1.6 Economic Indicators
1.7 Currency Considered
1.8 Market Estimation Caveats
2 Executive Summary
2.1 World Market Overview
2.1.1 Global Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Annual Sales 2018-2029
2.1.2 World Current & Future Analysis for Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment by Geographic Region, 2018, 2022 & 2029
2.1.3 World Current & Future Analysis for Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment by Country/Region, 2018, 2022 & 2029
2.2 Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Segment by Type
2.2.1 Capacitance Diaphragm Gauge
2.2.2 Ionization Vacuum Gauge
2.2.3 Pirani Vacuum Gauge
2.2.4 Others
2.3 Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Sales by Type
2.3.1 Global Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Sales Market Share by Type (2018-2023)
2.3.2 Global Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Revenue and Market Share by Type (2018-2023)
2.3.3 Global Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Sale Price by Type (2018-2023)
2.4 Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Segment by Application
2.4.1 Deposition
2.4.2 Etching and Cleaning
2.4.3 Ion Implantation
2.4.4 Others
2.5 Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Sales by Application
2.5.1 Global Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Sale Market Share by Application (2018-2023)
2.5.2 Global Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Revenue and Market Share by Application (2018-2023)
2.5.3 Global Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Sale Price by Application (2018-2023)
3 Global Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment by Company
3.1 Global Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Breakdown Data by Company
3.1.1 Global Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Annual Sales by Company (2018-2023)
3.1.2 Global Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Sales Market Share by Company (2018-2023)
3.2 Global Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Annual Revenue by Company (2018-2023)
3.2.1 Global Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Revenue by Company (2018-2023)
3.2.2 Global Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Revenue Market Share by Company (2018-2023)
3.3 Global Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Sale Price by Company
3.4 Key Manufacturers Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Producing Area Distribution, Sales Area, Product Type
3.4.1 Key Manufacturers Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Product Location Distribution
3.4.2 Players Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Products Offered
3.5 Market Concentration Rate Analysis
3.5.1 Competition Landscape Analysis
3.5.2 Concentration Ratio (CR3, CR5 and CR10) & (2018-2023)
3.6 New Products and Potential Entrants
3.7 Mergers & Acquisitions, Expansion
4 World Historic Review for Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment by Geographic Region
4.1 World Historic Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Market Size by Geographic Region (2018-2023)
4.1.1 Global Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Annual Sales by Geographic Region (2018-2023)
4.1.2 Global Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Annual Revenue by Geographic Region (2018-2023)
4.2 World Historic Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Market Size by Country/Region (2018-2023)
4.2.1 Global Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Annual Sales by Country/Region (2018-2023)
4.2.2 Global Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Annual Revenue by Country/Region (2018-2023)
4.3 Americas Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Sales Growth
4.4 APAC Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Sales Growth
4.5 Europe Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Sales Growth
4.6 Middle East & Africa Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Sales Growth
5 Americas
5.1 Americas Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Sales by Country
5.1.1 Americas Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Sales by Country (2018-2023)
5.1.2 Americas Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Revenue by Country (2018-2023)
5.2 Americas Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Sales by Type
5.3 Americas Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Sales by Application
5.4 United States
5.5 Canada
5.6 Mexico
5.7 Brazil
6 APAC
6.1 APAC Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Sales by Region
6.1.1 APAC Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Sales by Region (2018-2023)
6.1.2 APAC Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Revenue by Region (2018-2023)
6.2 APAC Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Sales by Type
6.3 APAC Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Sales by Application
6.4 China
6.5 Japan
6.6 South Korea
6.7 Southeast Asia
6.8 India
6.9 Australia
6.10 China Taiwan
7 Europe
7.1 Europe Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment by Country
7.1.1 Europe Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Sales by Country (2018-2023)
7.1.2 Europe Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Revenue by Country (2018-2023)
7.2 Europe Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Sales by Type
7.3 Europe Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Sales by Application
7.4 Germany
7.5 France
7.6 UK
7.7 Italy
7.8 Russia
8 Middle East & Africa
8.1 Middle East & Africa Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment by Country
8.1.1 Middle East & Africa Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Sales by Country (2018-2023)
8.1.2 Middle East & Africa Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Revenue by Country (2018-2023)
8.2 Middle East & Africa Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Sales by Type
8.3 Middle East & Africa Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Sales by Application
8.4 Egypt
8.5 South Africa
8.6 Israel
8.7 Turkey
8.8 GCC Countries
9 Market Drivers, Challenges and Trends
9.1 Market Drivers & Growth Opportunities
9.2 Market Challenges & Risks
9.3 Industry Trends
10 Manufacturing Cost Structure Analysis
10.1 Raw Material and Suppliers
10.2 Manufacturing Cost Structure Analysis of Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment
10.3 Manufacturing Process Analysis of Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment
10.4 Industry Chain Structure of Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment
11 Marketing, Distributors and Customer
11.1 Sales Channel
11.1.1 Direct Channels
11.1.2 Indirect Channels
11.2 Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Distributors
11.3 Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Customer
12 World Forecast Review for Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment by Geographic Region
12.1 Global Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Market Size Forecast by Region
12.1.1 Global Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Forecast by Region (2024-2029)
12.1.2 Global Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Annual Revenue Forecast by Region (2024-2029)
12.2 Americas Forecast by Country
12.3 APAC Forecast by Region
12.4 Europe Forecast by Country
12.5 Middle East & Africa Forecast by Country
12.6 Global Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Forecast by Type
12.7 Global Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Forecast by Application
13 Key Players Analysis
13.1 MKS (Granville-Phillips)
13.1.1 MKS (Granville-Phillips) Company Information
13.1.2 MKS (Granville-Phillips) Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Product Portfolios and Specifications
13.1.3 MKS (Granville-Phillips) Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2018-2023)
13.1.4 MKS (Granville-Phillips) Main Business Overview
13.1.5 MKS (Granville-Phillips) Latest Developments
13.2 Inficon
13.2.1 Inficon Company Information
13.2.2 Inficon Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Product Portfolios and Specifications
13.2.3 Inficon Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2018-2023)
13.2.4 Inficon Main Business Overview
13.2.5 Inficon Latest Developments
13.3 Canon ANELVA
13.3.1 Canon ANELVA Company Information
13.3.2 Canon ANELVA Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Product Portfolios and Specifications
13.3.3 Canon ANELVA Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2018-2023)
13.3.4 Canon ANELVA Main Business Overview
13.3.5 Canon ANELVA Latest Developments
13.4 Atlas Copco (Leybold，and Edwards)
13.4.1 Atlas Copco (Leybold，and Edwards) Company Information
13.4.2 Atlas Copco (Leybold，and Edwards) Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Product Portfolios and Specifications
13.4.3 Atlas Copco (Leybold，and Edwards) Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2018-2023)
13.4.4 Atlas Copco (Leybold，and Edwards) Main Business Overview
13.4.5 Atlas Copco (Leybold，and Edwards) Latest Developments
13.5 Pfeiffer Vacuum GmbH
13.5.1 Pfeiffer Vacuum GmbH Company Information
13.5.2 Pfeiffer Vacuum GmbH Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Product Portfolios and Specifications
13.5.3 Pfeiffer Vacuum GmbH Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2018-2023)
13.5.4 Pfeiffer Vacuum GmbH Main Business Overview
13.5.5 Pfeiffer Vacuum GmbH Latest Developments
13.6 Agilent
13.6.1 Agilent Company Information
13.6.2 Agilent Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Product Portfolios and Specifications
13.6.3 Agilent Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2018-2023)
13.6.4 Agilent Main Business Overview
13.6.5 Agilent Latest Developments
13.7 ULVAC
13.7.1 ULVAC Company Information
13.7.2 ULVAC Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Product Portfolios and Specifications
13.7.3 ULVAC Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2018-2023)
13.7.4 ULVAC Main Business Overview
13.7.5 ULVAC Latest Developments
13.8 SATO VAC INC
13.8.1 SATO VAC INC Company Information
13.8.2 SATO VAC INC Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Product Portfolios and Specifications
13.8.3 SATO VAC INC Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2018-2023)
13.8.4 SATO VAC INC Main Business Overview
13.8.5 SATO VAC INC Latest Developments
13.9 Azbil Corporation
13.9.1 Azbil Corporation Company Information
13.9.2 Azbil Corporation Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Product Portfolios and Specifications
13.9.3 Azbil Corporation Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2018-2023)
13.9.4 Azbil Corporation Main Business Overview
13.9.5 Azbil Corporation Latest Developments
13.10 Arun Microelectronics
13.10.1 Arun Microelectronics Company Information
13.10.2 Arun Microelectronics Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Product Portfolios and Specifications
13.10.3 Arun Microelectronics Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2018-2023)
13.10.4 Arun Microelectronics Main Business Overview
13.10.5 Arun Microelectronics Latest Developments
13.11 Teledyne Hastings Instruments
13.11.1 Teledyne Hastings Instruments Company Information
13.11.2 Teledyne Hastings Instruments Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Product Portfolios and Specifications
13.11.3 Teledyne Hastings Instruments Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2018-2023)
13.11.4 Teledyne Hastings Instruments Main Business Overview
13.11.5 Teledyne Hastings Instruments Latest Developments
13.12 Kurt J. Lesker
13.12.1 Kurt J. Lesker Company Information
13.12.2 Kurt J. Lesker Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Product Portfolios and Specifications
13.12.3 Kurt J. Lesker Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2018-2023)
13.12.4 Kurt J. Lesker Main Business Overview
13.12.5 Kurt J. Lesker Latest Developments
13.13 Setra Systems
13.13.1 Setra Systems Company Information
13.13.2 Setra Systems Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Product Portfolios and Specifications
13.13.3 Setra Systems Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2018-2023)
13.13.4 Setra Systems Main Business Overview
13.13.5 Setra Systems Latest Developments
13.14 EBARA
13.14.1 EBARA Company Information
13.14.2 EBARA Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Product Portfolios and Specifications
13.14.3 EBARA Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2018-2023)
13.14.4 EBARA Main Business Overview
13.14.5 EBARA Latest Developments
13.15 ATOVAC
13.15.1 ATOVAC Company Information
13.15.2 ATOVAC Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Product Portfolios and Specifications
13.15.3 ATOVAC Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2018-2023)
13.15.4 ATOVAC Main Business Overview
13.15.5 ATOVAC Latest Developments
13.16 Reborns
13.16.1 Reborns Company Information
13.16.2 Reborns Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Product Portfolios and Specifications
13.16.3 Reborns Vacuum Gauges for Semiconductor Equipment Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2018-2023)
13.16.4 Reborns Main Business Overview
13.16.5 Reborns Latest Developments
14 Research Findings and Conclusion


※参考情報

半導体装置用真空計は、半導体製造プロセスにおいて不可欠な測定機器であり、真空環境の品質を確保するための重要な役割を果たしています。半導体製造では、高度な真空環境が求められ、これを正確に測定するための装置が使用されます。真空計は、真空度を測定し、プロセス制御や装置の安全運転に寄与します。

真空計の定義は、特定の圧力範囲での真空度を測定する装置であり、一般的には単位としてパスカル（Pa）やトール（Torr）が用いられます。半導体製造プロセスは非常に精密な条件下で行われるため、真空計は非常に高精度である必要があります。これには、感度、高い応答性、安定性などの特徴が求められます。

真空計の種類には、主に機械式真空計、熱伝導型真空計、イオン化真空計、光学型真空計、そしてマスフロー型真空計などが存在します。機械式真空計は、圧力を機械的な変化として測定するもので、ダイアフラムやボロメトリック式が代表的です。これらの装置は、比較的広い圧力範囲に対応できるものが多いですが、真空度が非常に低い場合には適さないことがあります。

熱伝導型真空計は、気体の熱伝導率に基づいて真空度を測定します。この方式は、比較的低い真空度の範囲で高い精度を持ち、主に半導体製造プロセス中の異常気体の検出に役立つことがあります。イオン化真空計は、真空中に存在する気体分子をイオン化し、そのイオンを検出することで真空度を測定します。この方式は、高真空度の測定に特に適しており、反応性ガスや不純物の影響を受けにくいため、半導体製造において非常に重要です。

光学型真空計は、光学的手法を用いて気体の圧力を測定します。特にレーザーを使用したタイプは、非接触で測定できるため、プロセス中の影響を受けにくい特性があります。マスフロー型真空計は、流量を測定することで真空度を間接的に測定します。この方式は、特定のガスについて非常に高い精度を提供しますが、変化するガスの種類に対しては応答が遅れる場合があります。

半導体装置用真空計の用途は多岐にわたります。例えば、薄膜形成やエッチングプロセス、イオン注入、化学気相成長（CVD）、物理気相成長（PVD）など、さまざまな工程において真空環境が必須です。これらのプロセスでは、圧力が過剰であれば素材の品質に影響を及ぼすため、適切な真空度が求められます。特に、エッチングや薄膜成長時には、均一かつ高い真空度が製品の性能や信頼性に直結します。

また、半導体製造工程においては、真空環境が不安定になると、製品の歩留まりや品質に悪影響を及ぼすため、リアルタイムでのモニタリングが重要です。ここで真空計の高解像度および高応答性が求められます。これにより、プロセスの変動を早期に検知し、迅速に調整を行うことが可能となります。

さらに、関連技術としては、真空ポンプ技術やガス分析装置、温度センサーなどが挙げられます。真空ポンプは、対象とする真空度に応じて選択され、真空計と共に使用されることで、プロセス全体の性能を向上させます。ガス分析装置は、プロセス中に発生する気体成分の変化を測定し、真空計と連携することで、製品の安定した品質を保証します。温度センサーも同様に、真空状態と温度の関係を把握するために重要な役割を果たします。

このように、半導体装置用真空計は、真空環境を維持しつつ高品質な半導体製品を製造するために、極めて重要な機器です。その精度や応答性、安定性は、製造プロセスの成否に大きな影響を及ぼすため、進化し続ける技術と共に今後も進展が期待されています。半導体業界において真空計の重要性はますます高まっており、効率的かつ高品質な製品を求めるニーズに応じて、これらの技術の更なる発展が不可欠であると言えるでしょう。


★調査レポート[半導体装置用真空計の世界市場2023-2029：隔膜真空計、電離真空計、ピラニ真空計、その他] (コード：LP23JU2277)販売に関する免責事項を必ずご確認ください。
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