世界のEUVマスクブランクス市場2025年:企業・地域・タイプ・用途別分析

【英語タイトル】Global EUV Mask Blanks Market 2025 by Manufacturers, Regions, Type and Application, Forecast to 2031

GlobalInfoResearchが出版した調査資料(GIR23SM2382)・商品コード:GIR23SM2382
・発行会社(調査会社):GlobalInfoResearch
・発行日:2025年7月
・ページ数:98
・レポート言語:英語
・レポート形式:PDF
・納品方法:Eメール(注文後2-3日)
・調査対象地域:グローバル
・産業分野:電子&半導体
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❖ レポートの概要 ❖

当社の(Global Info Research)最新の調査によると、2024年のグローバルEUVマスクブランク市場規模はUS$2億6,700万ドルと評価され、2031年までに年平均成長率(CAGR)13.6%で成長し、US$6億4,700万ドルに再調整された規模に達すると予測されています。グローバルなEUVマスクブランクスの主要メーカーには、AGC Inc.とHoyaなどが含まれ、上位2社のシェアは約93%を占めています。AGC Inc.は世界最大のEUVマスクブランクスのメーカーで、市場シェアは59%を超えています。APACは最大の市場で、シェアは73%を占めています。用途別では、半導体セグメントが最大のダウンストリームセグメントで、市場シェアは約90%を占めています。
本レポートは、世界の EUV マスクブランク市場について、詳細かつ包括的な分析を行っています。定量分析と定性分析は、メーカー別、地域別、国別、種類別、用途別に紹介されています。市場は絶えず変化しているため、本レポートでは、競争、需給動向、および多くの市場における需要の変化に寄与する主な要因について考察しています。選択された競合他社の企業プロファイルと製品例、および2025年時点での一部主要企業の市場シェア推定値が提供されています。

主要な特徴:
グローバルEUVマスクブランク市場規模と予測(消費価値:$百万、販売数量:Sq m、平均販売価格:K US$/Sq m)、2020-2031
グローバルEUVマスクブランク市場規模と予測(地域別・国別)、消費額($百万)、販売数量(Sq m)、平均販売価格(K US$/Sq m)、2020-2031
2020年から2031年までの、種類別および用途別のEUVマスクブランクの世界市場規模と予測(消費額(百万ドル)、販売数量(平方メートル)、平均販売価格(千米ドル/平方メートル)
グローバルEUVマスクブランク市場シェア(主要企業別)、出荷量(売上高:$百万)、販売数量(㎡)、および平均販売価格(K US$/㎡)、2020-2025

本レポートの主な目的は:
グローバルおよび主要国の総市場規模を推定すること
EUVマスクブランクスの成長ポテンシャルを評価すること
各製品および最終用途市場における将来の成長を予測すること
市場に影響を与える競争要因を評価すること
本報告書では、グローバルなEUVマスクブランク市場における主要なプレーヤーを、以下のパラメーターに基づいてプロファイルしています – 会社概要、販売量、売上高、価格、粗利益率、製品ポートフォリオ、地理的展開、および主要な動向。本調査の対象となる主要な企業には、AGC Inc、Hoya、S&S Tech、Applied Materials、Photronics Incなどが含まれます。
本報告書では、市場ドライバー、制約要因、機会、新製品発売または承認に関する重要な洞察も提供しています。

市場セグメンテーション
EUV マスクブランク市場は、種類別および用途別に分類されています。2020 年から 2031 年までの期間について、各セグメントの成長率から、種類別および用途別の消費額(数量および金額)の正確な予測と予測を算出しています。この分析は、有望なニッチ市場をターゲットに、ビジネスの拡大に役立てることができます。

種類別市場セグメント
タイプ 1
種類 2

市場セグメント(用途別)
半導体
IC(集積回路)
その他

主要な企業
AGC株式会社
ホヤ
S&S Tech
アプライド マテリアルズ
フォトロニクス株式会社

地域別市場セグメント、地域別分析には以下の地域が含まれます
北米(アメリカ合衆国、カナダ、メキシコ)
ヨーロッパ(ドイツ、フランス、イギリス、ロシア、イタリア、およびその他のヨーロッパ)
アジア太平洋地域(中国、日本、韓国、インド、東南アジア、およびオーストラリア)
南米(ブラジル、アルゼンチン、コロンビア、および南米のその他)
中東・アフリカ(サウジアラビア、アラブ首長国連邦、エジプト、南アフリカ、および中東・アフリカその他)

本研究の対象内容は、合計15章から構成されています:
第1章:EUVマスクブランクスの製品範囲、市場概要、市場予測の注意点、および基準年を説明します。
第2章:EUVマスクブランクスの主要メーカーをプロファイルし、2020年から2025年までの価格、販売数量、売上高、およびグローバル市場シェアを分析します。
第3章では、EUVマスクブランクスの競争状況、販売数量、売上高、および主要メーカーのグローバル市場シェアを、ランドスケープ比較により重点的に分析します。
第4章では、EUVマスクブランクスの地域別詳細データを示し、2020年から2031年までの地域別の販売数量、消費価値、および成長率を分析します。
第 5 章と第 6 章では、種類別および用途別の売上高を、2020 年から 2031 年までの種類別、用途別の売上高シェアおよび成長率とともに分類しています。
第7章、第8章、第9章、第10章、および第11章では、2020年から2025年までの世界の主要国の販売数量、消費額、市場シェアなど、国別の販売データを分析しています。また、2026年から2031年までのEUVマスクブランクの市場予測を、地域別、種類別、用途別に、売上高と収益とともに示しています。
第12章では、市場動向、成長要因、制約要因、トレンド、およびポーターの5つの力分析を分析しています。
第13章:EUVマスクブランクスの主要原材料、主要サプライヤー、および産業チェーン。
第14章と第15章:EUVマスクブランクの販売チャネル、ディストリビューター、顧客、研究結果、および結論を説明します。
第12章:市場動向、成長要因、制約要因、トレンド、およびポーターの5つの力分析。

グローバル市場調査レポート販売サイトのwww.marketreport.jpです。

❖ レポートの目次 ❖

1 市場概要
1.1 製品概要と範囲
1.2 市場推定の注意点と基準年
1.3 種類別市場分析
1.3.1 概要:種類別 EUV マスクブランクの消費額:2020 年、2024 年、2031 年
1.3.2 タイプ 1
1.3.3 タイプ 2
1.4 用途別市場分析
1.4.1 概要:グローバルEUVマスクブランクの消費価値(用途別):2020年対2024年対2031年
1.4.2 半導体
1.4.3 IC(集積回路)
1.4.4 その他
1.5 グローバルEUVマスクブランク市場規模と予測
1.5.1 グローバルEUVマスクブランクの消費額(2020年、2024年、2031年)
1.5.2 グローバルEUVマスクブランク販売数量(2020年~2031年)
1.5.3 グローバルEUVマスクブランク平均価格(2020-2031)
2 主要メーカーのプロファイル
2.1 AGC株式会社
2.1.1 AGC株式会社の詳細
2.1.2 AGC株式会社の主要事業
2.1.3 AGC株式会社のEUVマスクブランク製品とサービス
2.1.4 AGC株式会社 EUVマスクブランクの販売数量、平均価格、売上高、粗利益率、市場シェア(2020-2025)
2.1.5 AGC株式会社の最近の動向/更新
2.2 ホーヤ
2.2.1 ホヤの概要
2.2.2 ホーヤの主要事業
2.2.3 Hoya EUVマスクブランク製品およびサービス
2.2.4 Hoya EUVマスクブランクの販売数量、平均価格、売上高、粗利益率、市場シェア(2020-2025)
2.2.5 ホヤの最近の動向/更新情報
2.3 S&S Tech
2.3.1 S&S Techの詳細
2.3.2 S&S Tech 主な事業
2.3.3 S&S Tech EUVマスクブランク製品およびサービス
2.3.4 S&S Tech EUVマスクブランクの販売数量、平均価格、売上高、粗利益率、市場シェア(2020-2025)
2.3.5 S&S Techの最近の動向/更新
2.4 応用材料
2.4.1 Applied Materialsの詳細
2.4.2 Applied Materials 主力事業
2.4.3 Applied Materials EUVマスクブランク製品およびサービス
2.4.4 応用材料 EUVマスクブランクの販売数量、平均価格、売上高、粗利益率、市場シェア(2020-2025)
2.4.5 応用材料の最近の動向/更新
2.5 フォトニクス・インク
2.5.1 フォトロニクス・インクの詳細
2.5.2 フォトニクス株式会社の主要事業
2.5.3 フォトロニクス・インク EUVマスクブランク製品およびサービス
2.5.4 フォトニクス株式会社 EUVマスクブランクの販売数量、平均価格、売上高、粗利益率、市場シェア(2020-2025)
2.5.5 フォトニクス株式会社の最近の動向/更新
3 競争環境:EUVマスクブランク(メーカー別)
3.1 グローバルEUVマスクブランク販売数量(メーカー別)(2020-2025)
3.2 グローバルEUVマスクブランクの売上高(メーカー別)(2020-2025)
3.3 グローバルEUVマスクブランク平均価格(メーカー別)(2020-2025)
3.4 市場シェア分析(2024年)
3.4.1 メーカー別EUVマスクブランク出荷量(売上高:$MM)と市場シェア(%):2024年
3.4.2 2024年のEUVマスクブランク上位3メーカーの市場シェア
3.4.3 2024年のEUVマスクブランク上位6社メーカーの市場シェア
3.5 EUVマスクブランク市場:全体的な企業足跡分析
3.5.1 EUVマスクブランク市場:地域別足跡
3.5.2 EUV マスクブランク市場:企業製品タイプ別フットプリント
3.5.3 EUVマスクブランク市場:企業製品用途別足跡
3.6 新規参入企業と市場参入障壁
3.7 合併、買収、合意、および協力関係
4 地域別消費分析
4.1 地域別グローバルEUVマスクブランク市場規模
4.1.1 地域別グローバルEUVマスクブランク販売数量(2020-2031)
4.1.2 地域別グローバルEUVマスクブランク消費額(2020-2031)
4.1.3 地域別グローバルEUVマスクブランク平均価格(2020-2031)
4.2 北米EUVマスクブランクの消費額(2020-2031)
4.3 欧州 EUVマスクブランク消費額(2020-2031)
4.4 アジア太平洋地域 EUVマスクブランクの消費額(2020-2031)
4.5 南米のEUVマスクブランク消費額(2020-2031)
4.6 中東・アフリカ EUVマスクブランク消費額(2020-2031)
5 種類別市場セグメント
5.1 種類別 EUV マスクブランクの世界販売数量(2020-2031
5.2 種類別 EUV マスクブランクの消費額(2020-2031)
5.3 種類別グローバル EUV マスクブランク平均価格(2020-2031
6 市場セグメント(用途別)
6.1 グローバルEUVマスクブランクの販売数量(用途別)(2020-2031)
6.2 グローバルEUVマスクブランクの用途別消費額(2020-2031)
6.3 グローバルEUVマスクブランクの用途別平均価格(2020-2031)
7 北米
7.1 北米 EUV マスクブランクの種類別販売数量(2020-2031
7.2 北米 EUVマスクブランクの販売数量(用途別)(2020-2031)
7.3 北米EUVマスクブランク市場規模(国別)
7.3.1 北米 EUVマスクブランクの販売数量(国別)(2020-2031)
7.3.2 北米EUVマスクブランクスの国別消費額(2020-2031)
7.3.3 アメリカ市場規模と予測(2020-2031)
7.3.4 カナダ市場規模と予測(2020-2031)
7.3.5 メキシコ市場規模と予測(2020-2031)
8 ヨーロッパ
8.1 ヨーロッパ EUV マスクブランクの種類別販売数量(2020-2031)
8.2 欧州 EUVマスクブランクの販売数量(用途別)(2020-2031)
8.3 欧州 EUVマスクブランク市場規模(国別)
8.3.1 欧州 EUVマスクブランクの販売数量(国別)(2020-2031)
8.3.2 欧州EUVマスクブランクの消費額(国別)(2020-2031)
8.3.3 ドイツ市場規模と予測(2020-2031)
8.3.4 フランス市場規模と予測(2020-2031)
8.3.5 イギリス市場規模と予測(2020-2031)
8.3.6 ロシア市場規模と予測(2020-2031)
8.3.7 イタリア市場規模と予測(2020-2031)
9 アジア太平洋
9.1 アジア太平洋地域の EUV マスクブランクの販売数量(種類別)(2020 年~2031 年
9.2 アジア太平洋地域 EUVマスクブランクの販売数量(用途別)(2020-2031)
9.3 アジア太平洋地域 EUVマスクブランク市場規模(地域別)
9.3.1 アジア太平洋地域 EUVマスクブランクの販売数量(地域別)(2020-2031)
9.3.2 アジア太平洋地域 EUVマスクブランクの地域別消費額(2020-2031)
9.3.3 中国市場規模と予測(2020-2031)
9.3.4 日本市場規模と予測(2020-2031)
9.3.5 韓国市場規模と予測(2020-2031)
9.3.6 インド市場規模と予測(2020-2031)
9.3.7 東南アジア市場規模と予測(2020-2031)
9.3.8 オーストラリア市場規模と予測(2020-2031)
10 南米
10.1 南米 EUV マスクブランクの販売数量(種類別)(2020-2031)
10.2 南米 EUVマスクブランクの販売数量(用途別)(2020-2031)
10.3 南米 EUVマスクブランク市場規模(国別)
10.3.1 南米 EUVマスクブランクの販売数量(国別)(2020-2031)
10.3.2 南米 EUVマスクブランクの消費額(国別)(2020-2031)
10.3.3 ブラジル市場規模と予測(2020-2031)
10.3.4 アルゼンチン市場規模と予測(2020-2031)
11 中東・アフリカ
11.1 中東およびアフリカ EUV マスクブランクの種類別販売数量(2020-2031)
11.2 中東・アフリカ EUVマスクブランクの販売数量(用途別)(2020-2031)
11.3 中東・アフリカ EUVマスクブランク市場規模(国別)
11.3.1 中東・アフリカ EUVマスクブランクの販売数量(国別)(2020-2031)
11.3.2 中東・アフリカ EUVマスクブランクの消費額(国別)(2020-2031)
11.3.3 トルコ市場規模と予測(2020-2031)
11.3.4 エジプト市場規模と予測(2020-2031)
11.3.5 サウジアラビア市場規模と予測(2020-2031)
11.3.6 南アフリカ市場規模と予測(2020-2031)
12 市場動向
12.1 EUVマスクブランク市場ドライバー
12.2 EUVマスクブランク市場阻害要因
12.3 EUVマスクブランクスの動向分析
12.4 ポーターの5つの力分析
12.4.1 新規参入の脅威
12.4.2 供給者の交渉力
12.4.3 購入者の交渉力
12.4.4 代替品の脅威
12.4.5 競争の激化
13 原材料と産業チェーン
13.1 EUVマスクブランクの原材料と主要メーカー
13.2 EUVマスクブランクの製造コストの割合
13.3 EUVマスクブランクの製造プロセス
13.4 産業バリューチェーン分析
14 流通チャネル別出荷量
14.1 販売チャネル
14.1.1 直接エンドユーザー向け
14.1.2 卸売業者
14.2 EUVマスクブランクの主要な販売代理店
14.3 EUVマスクブランクの主要な顧客
15 研究結果と結論
16 付録
16.1 方法論
16.2 研究プロセスとデータソース
16.3 免責事項

1 Market Overview
1.1 Product Overview and Scope
1.2 Market Estimation Caveats and Base Year
1.3 Market Analysis by Type
1.3.1 Overview: Global EUV Mask Blanks Consumption Value by Type: 2020 Versus 2024 Versus 2031
1.3.2 Type 1
1.3.3 Type 2
1.4 Market Analysis by Application
1.4.1 Overview: Global EUV Mask Blanks Consumption Value by Application: 2020 Versus 2024 Versus 2031
1.4.2 Semiconductor
1.4.3 IC (integrated circuit)
1.4.4 Others
1.5 Global EUV Mask Blanks Market Size & Forecast
1.5.1 Global EUV Mask Blanks Consumption Value (2020 & 2024 & 2031)
1.5.2 Global EUV Mask Blanks Sales Quantity (2020-2031)
1.5.3 Global EUV Mask Blanks Average Price (2020-2031)
2 Manufacturers Profiles
2.1 AGC Inc
2.1.1 AGC Inc Details
2.1.2 AGC Inc Major Business
2.1.3 AGC Inc EUV Mask Blanks Product and Services
2.1.4 AGC Inc EUV Mask Blanks Sales Quantity, Average Price, Revenue, Gross Margin and Market Share (2020-2025)
2.1.5 AGC Inc Recent Developments/Updates
2.2 Hoya
2.2.1 Hoya Details
2.2.2 Hoya Major Business
2.2.3 Hoya EUV Mask Blanks Product and Services
2.2.4 Hoya EUV Mask Blanks Sales Quantity, Average Price, Revenue, Gross Margin and Market Share (2020-2025)
2.2.5 Hoya Recent Developments/Updates
2.3 S&S Tech
2.3.1 S&S Tech Details
2.3.2 S&S Tech Major Business
2.3.3 S&S Tech EUV Mask Blanks Product and Services
2.3.4 S&S Tech EUV Mask Blanks Sales Quantity, Average Price, Revenue, Gross Margin and Market Share (2020-2025)
2.3.5 S&S Tech Recent Developments/Updates
2.4 Applied Materials
2.4.1 Applied Materials Details
2.4.2 Applied Materials Major Business
2.4.3 Applied Materials EUV Mask Blanks Product and Services
2.4.4 Applied Materials EUV Mask Blanks Sales Quantity, Average Price, Revenue, Gross Margin and Market Share (2020-2025)
2.4.5 Applied Materials Recent Developments/Updates
2.5 Photronics Inc
2.5.1 Photronics Inc Details
2.5.2 Photronics Inc Major Business
2.5.3 Photronics Inc EUV Mask Blanks Product and Services
2.5.4 Photronics Inc EUV Mask Blanks Sales Quantity, Average Price, Revenue, Gross Margin and Market Share (2020-2025)
2.5.5 Photronics Inc Recent Developments/Updates
3 Competitive Environment: EUV Mask Blanks by Manufacturer
3.1 Global EUV Mask Blanks Sales Quantity by Manufacturer (2020-2025)
3.2 Global EUV Mask Blanks Revenue by Manufacturer (2020-2025)
3.3 Global EUV Mask Blanks Average Price by Manufacturer (2020-2025)
3.4 Market Share Analysis (2024)
3.4.1 Producer Shipments of EUV Mask Blanks by Manufacturer Revenue ($MM) and Market Share (%): 2024
3.4.2 Top 3 EUV Mask Blanks Manufacturer Market Share in 2024
3.4.3 Top 6 EUV Mask Blanks Manufacturer Market Share in 2024
3.5 EUV Mask Blanks Market: Overall Company Footprint Analysis
3.5.1 EUV Mask Blanks Market: Region Footprint
3.5.2 EUV Mask Blanks Market: Company Product Type Footprint
3.5.3 EUV Mask Blanks Market: Company Product Application Footprint
3.6 New Market Entrants and Barriers to Market Entry
3.7 Mergers, Acquisition, Agreements, and Collaborations
4 Consumption Analysis by Region
4.1 Global EUV Mask Blanks Market Size by Region
4.1.1 Global EUV Mask Blanks Sales Quantity by Region (2020-2031)
4.1.2 Global EUV Mask Blanks Consumption Value by Region (2020-2031)
4.1.3 Global EUV Mask Blanks Average Price by Region (2020-2031)
4.2 North America EUV Mask Blanks Consumption Value (2020-2031)
4.3 Europe EUV Mask Blanks Consumption Value (2020-2031)
4.4 Asia-Pacific EUV Mask Blanks Consumption Value (2020-2031)
4.5 South America EUV Mask Blanks Consumption Value (2020-2031)
4.6 Middle East & Africa EUV Mask Blanks Consumption Value (2020-2031)
5 Market Segment by Type
5.1 Global EUV Mask Blanks Sales Quantity by Type (2020-2031)
5.2 Global EUV Mask Blanks Consumption Value by Type (2020-2031)
5.3 Global EUV Mask Blanks Average Price by Type (2020-2031)
6 Market Segment by Application
6.1 Global EUV Mask Blanks Sales Quantity by Application (2020-2031)
6.2 Global EUV Mask Blanks Consumption Value by Application (2020-2031)
6.3 Global EUV Mask Blanks Average Price by Application (2020-2031)
7 North America
7.1 North America EUV Mask Blanks Sales Quantity by Type (2020-2031)
7.2 North America EUV Mask Blanks Sales Quantity by Application (2020-2031)
7.3 North America EUV Mask Blanks Market Size by Country
7.3.1 North America EUV Mask Blanks Sales Quantity by Country (2020-2031)
7.3.2 North America EUV Mask Blanks Consumption Value by Country (2020-2031)
7.3.3 United States Market Size and Forecast (2020-2031)
7.3.4 Canada Market Size and Forecast (2020-2031)
7.3.5 Mexico Market Size and Forecast (2020-2031)
8 Europe
8.1 Europe EUV Mask Blanks Sales Quantity by Type (2020-2031)
8.2 Europe EUV Mask Blanks Sales Quantity by Application (2020-2031)
8.3 Europe EUV Mask Blanks Market Size by Country
8.3.1 Europe EUV Mask Blanks Sales Quantity by Country (2020-2031)
8.3.2 Europe EUV Mask Blanks Consumption Value by Country (2020-2031)
8.3.3 Germany Market Size and Forecast (2020-2031)
8.3.4 France Market Size and Forecast (2020-2031)
8.3.5 United Kingdom Market Size and Forecast (2020-2031)
8.3.6 Russia Market Size and Forecast (2020-2031)
8.3.7 Italy Market Size and Forecast (2020-2031)
9 Asia-Pacific
9.1 Asia-Pacific EUV Mask Blanks Sales Quantity by Type (2020-2031)
9.2 Asia-Pacific EUV Mask Blanks Sales Quantity by Application (2020-2031)
9.3 Asia-Pacific EUV Mask Blanks Market Size by Region
9.3.1 Asia-Pacific EUV Mask Blanks Sales Quantity by Region (2020-2031)
9.3.2 Asia-Pacific EUV Mask Blanks Consumption Value by Region (2020-2031)
9.3.3 China Market Size and Forecast (2020-2031)
9.3.4 Japan Market Size and Forecast (2020-2031)
9.3.5 South Korea Market Size and Forecast (2020-2031)
9.3.6 India Market Size and Forecast (2020-2031)
9.3.7 Southeast Asia Market Size and Forecast (2020-2031)
9.3.8 Australia Market Size and Forecast (2020-2031)
10 South America
10.1 South America EUV Mask Blanks Sales Quantity by Type (2020-2031)
10.2 South America EUV Mask Blanks Sales Quantity by Application (2020-2031)
10.3 South America EUV Mask Blanks Market Size by Country
10.3.1 South America EUV Mask Blanks Sales Quantity by Country (2020-2031)
10.3.2 South America EUV Mask Blanks Consumption Value by Country (2020-2031)
10.3.3 Brazil Market Size and Forecast (2020-2031)
10.3.4 Argentina Market Size and Forecast (2020-2031)
11 Middle East & Africa
11.1 Middle East & Africa EUV Mask Blanks Sales Quantity by Type (2020-2031)
11.2 Middle East & Africa EUV Mask Blanks Sales Quantity by Application (2020-2031)
11.3 Middle East & Africa EUV Mask Blanks Market Size by Country
11.3.1 Middle East & Africa EUV Mask Blanks Sales Quantity by Country (2020-2031)
11.3.2 Middle East & Africa EUV Mask Blanks Consumption Value by Country (2020-2031)
11.3.3 Turkey Market Size and Forecast (2020-2031)
11.3.4 Egypt Market Size and Forecast (2020-2031)
11.3.5 Saudi Arabia Market Size and Forecast (2020-2031)
11.3.6 South Africa Market Size and Forecast (2020-2031)
12 Market Dynamics
12.1 EUV Mask Blanks Market Drivers
12.2 EUV Mask Blanks Market Restraints
12.3 EUV Mask Blanks Trends Analysis
12.4 Porters Five Forces Analysis
12.4.1 Threat of New Entrants
12.4.2 Bargaining Power of Suppliers
12.4.3 Bargaining Power of Buyers
12.4.4 Threat of Substitutes
12.4.5 Competitive Rivalry
13 Raw Material and Industry Chain
13.1 Raw Material of EUV Mask Blanks and Key Manufacturers
13.2 Manufacturing Costs Percentage of EUV Mask Blanks
13.3 EUV Mask Blanks Production Process
13.4 Industry Value Chain Analysis
14 Shipments by Distribution Channel
14.1 Sales Channel
14.1.1 Direct to End-User
14.1.2 Distributors
14.2 EUV Mask Blanks Typical Distributors
14.3 EUV Mask Blanks Typical Customers
15 Research Findings and Conclusion
16 Appendix
16.1 Methodology
16.2 Research Process and Data Source
16.3 Disclaimer


※参考情報

EUVマスクブランクスは、極端紫外線(EUV)リソグラフィにおいて使用される、高精度な製造プロセスの重要な要素です。ここでは、EUVマスクブランクスについての概念、特徴、種類、用途、関連技術などを詳しく説明します。

EUVリソグラフィは、半導体製造において、微細なパターンを基板上に転写するための先進的な技術です。従来の光リソグラフィと比較して、より短い波長の光を使用することで、より細かいパターンを形成することが可能となりました。この技術を実現するためには、高い精度と安定性を持つマスクが必要ですが、EUVマスクブランクスはこのマスクのベースとなる材料です。

EUVマスクブランクスは、基本的に基板と膜層から構成されています。基板は通常、シリコンやサファイアなどの高純度の素材で作られています。この基板の上に、パターン転写を行うための薄膜が形成されます。この薄膜は、高い透過率を持ち、パターンを正確に反映する能力が求められます。また、EUVリソグラフィでは、マスクが非常に高温になりやすいため、耐熱性や耐腐食性も重要な要素となります。

EUVマスクブランクスの特徴の一つは、極めて高い平坦性です。マスクの表面が平坦であることは、高い解像度を実現するために不可欠です。わずかな表面の凹凸があると、それによって形成されるパターンが歪む可能性があるため、精密な製造が要求されます。また、EUVの波長は非常に短いため、マスク自体に含まれる粒子や不純物による影響も考慮する必要があります。

EUVマスクブランクスの種類には主に、リードフレームマスクブランクスや反射型マスクブランクスがあります。リードフレームマスクブランクスは、パターンを直接転写するために特化した設計がされており、実際のプロセスに合わせた特性を持たせています。一方、反射型マスクブランクスは、パターンを反射させることによって、より高い解像度を実現することを目的としています。これらのマスクは、それぞれ異なる用途や製造プロセスに応じて設計されています。

用途としては、主に半導体製造における回路パターンの形成が挙げられます。EUVリソグラフィは、先端の半導体プロセス、特に7nm以下のプロセス技術で活用されており、高性能なマイクロプロセッサやメモリデバイスの製造に欠かせない技術として位置づけられています。また、EUV技術は今後の半導体技術の進展においても重要な役割を果たすと考えられています。

関連技術としては、EUV光源技術、EUVリソグラフィ装置、そしてマスク検査技術などがあります。EUVマスクブランクスは、これら関連技術全体の性能に直接影響を与えるため、継続的な技術革新が求められています。特に、EUV光源の高出力化や安定性の向上は、EUVマスクブランクスの性能を最大限に引き出すために重要です。

また、EUVマスクブランクスの製造には、非常に高い精度が要求されるため、品質管理や検査技術も重要な要素となります。最新の検査装置を用いてマスクブランクスの表面や内部の欠陥を検出し、製品が高い品質基準を満たしているかを確認します。このプロセスは、最終的な半導体デバイスの性能や信頼性に直接影響するため、非常に重要となります。

今後の展望としては、EUVマスクブランクスのさらなる進化が期待されます。微細化が進むにつれて、マスクの性能向上や新素材の開発が不可欠です。また、EUV技術の普及が進む中で、コスト削減や製造プロセスの省力化も重要な課題となるでしょう。そのため、EUVマスクブランクスの研究開発は、半導体業界において引き続き注目されるテーマであり、新たな技術革新が求められています。

最終的に、EUVマスクブランクスは、半導体製造における非常に重要な要素であり、その定義、特徴、種類、用途、関連技術について理解することは、半導体技術の最前線を理解するうえで必須の知識となります。この領域での技術革新は、持続可能な社会の構築やデジタル社会の進展に貢献するものと期待されています。


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