世界のEUV光源市場展望2025年-2031年

【英語タイトル】EUV Light Sources Market, Global Outlook and Forecast 2025-2031

Market Monitor Globalが出版した調査資料(MMG23JU2267)・商品コード:MMG23JU2267
・発行会社(調査会社):Market Monitor Global
・発行日:2025年9月
・ページ数:71
・レポート言語:英語
・レポート形式:PDF
・納品方法:Eメール(受注後2-3営業日)
・調査対象地域:グローバル、北米、アメリカ、ヨーロッパ、アジア、日本、中国、東南アジア、インド、南米、中東・アフリカなど
・産業分野:電子&半導体
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❖ レポートの概要 ❖

世界のEUV光源市場は2024年に1億9600万ドルと評価され、予測期間中に年平均成長率(CAGR)9.3%で推移し、2031年までに3億6100万ドルに達すると予測されている。
EUV光源はEUVリソグラフィ装置の中核部品であり、EUVマスク検査装置にも使用される。EUV光源とは波長10~14ナノメートルの極端紫外線を指し、一般的に使用される特定波長は13.5ナノメートルである。EUV(極端紫外線)光源システムは、発光、集光、スペクトル浄化・均質化の3つのコアユニットで構成される。システムの主要構成要素には、光源として高性能CO2レーザー、多層コーティングミラー、負荷装置、高効率集光器、精密マスク、投影光学系(XeまたはSnを用いたプラズマ形成)が含まれる。このプロセスにおいて、プラズマは多層膜ミラーの多重反射機構を通じてエネルギースペクトルを効果的に浄化し、最終的に波長13.5nmのEUV光を生成する。

EUV光源

世界のEUV光源市場は2024年に1億9600万米ドルと評価され、予測期間中に年平均成長率(CAGR)9.3%で推移し、2031年までに3億6100万米ドルに達すると予測されている。

EUV光源の主要サプライヤーは主にCymer、Gigaphotonなどである。ウシオのEUV光源はLasertecのACTISマスク欠陥検出装置に採用されている。半導体リソグラフィ工程では、異なるマスクに対応する光源が必要となる。各種マスクの用途は大きく異なり、主にバイナリマスク、位相シフトマスク、EUVマスクに分類される。EUVマスクはEUV(極端紫外線)露光技術向けに新たに設計されたマスクである。EUVの極短波長特性と各種材料による吸収の容易さを考慮すると、レンズなどの従来の屈折素子は使用できない。代わりにブラッグの法則に基づき、多層膜(ML)構造による光ビームの反射を実現する(EUVとは異なり、DUVは透過光を使用)。EUVは主に7nm、5nm、3nm、2nm(TSMCは2025年に量産予定)といった先端製造プロセスで採用される。

MARKET MONITOR GLOBAL, INC(MMG)は、EUV光源メーカー、サプライヤー、ディストリビューター、業界専門家を対象に、販売量、収益、需要、価格変動、製品タイプ、最新動向と計画、業界トレンド、推進要因、課題、障壁、潜在リスクに関する調査を実施した。
本レポートは、定量的・定性的分析を併せ持つEUV光源の世界市場に関する包括的な提示を提供し、読者がEUV光源に関する事業/成長戦略の策定、市場競争状況の評価、現行市場における自社の位置付け分析、情報に基づいた事業判断を行うことを支援することを目的としています。本レポートには、以下の市場情報を含む、EUV光源の世界市場規模と予測が含まれています:
グローバルEUV光源市場収益(2020-2025年、2026-2031年、単位:百万ドル)
グローバルEUV光源市場販売台数、2020-2025年、2026-2031年(台数)
2024年における世界のEUV光源トップ5企業(%)
セグメント別市場規模合計:
タイプ別グローバルEUV光源市場規模(2020-2025年、2026-2031年)(百万ドル)&(台数)
グローバルEUV光源市場セグメント別割合(タイプ別、2024年)(%)
低出力
高出力

グローバルEUV光源市場、用途別、2020-2025年、2026-2031年(百万ドル)&(台数)
用途別グローバルEUV光源市場セグメント割合、2024年(%)
装置メーカー
ファブ

地域・国別グローバルEUV光源市場、2020-2025年、2026-2031年(百万ドル)&(台数)
地域・国別グローバルEUV光源市場セグメント割合、2024年(%)
北米
米国
カナダ
メキシコ
欧州
ドイツ
フランス
イギリス
イタリア
ロシア
北欧諸国
ベネルクス
その他のヨーロッパ諸国
アジア
中国
日本
韓国
東南アジア
インド
アジアその他
南アメリカ
ブラジル
アルゼンチン
南米その他
中東・アフリカ
トルコ
イスラエル
サウジアラビア
アラブ首長国連邦
その他中東・アフリカ

競合分析
本レポートでは、主要市場参加者の分析も提供しています。
主要企業のEUV光源の世界市場における収益(2020-2025年、推定)、(百万ドル)
主要企業 EUV光源の世界市場における売上高シェア、2024年(%)
主要企業 EUV光源の世界市場における販売台数、2020-2025年(推定)、(台)
主要企業 EUV光源の世界市場における販売シェア、2024年(%)
さらに、本レポートでは市場における競合他社のプロファイルを提示しており、主要プレイヤーには以下が含まれます:
Cymer
ギガフォトン
ウシオ
ISTEQ BV

主要章の概要:
第1章:EUV光源の定義と市場概要を紹介。
第2章:収益と数量におけるグローバルEUV光源市場規模。
第3章:EUV光源メーカーの競争環境、価格、販売量・収益シェア、最新開発計画、合併・買収情報などの詳細分析。
第4章:タイプ別市場セグメント分析を提供。各セグメントの市場規模と成長可能性をカバーし、異なる市場セグメントにおけるブルーオーシャン市場の発見を支援。
第5章:用途別市場セグメント分析。各セグメントの市場規模と成長可能性を網羅し、異なる下流市場におけるブルーオーシャン市場の発見を支援。
第6章:EUV光源の地域別・国別販売状況。各地域及び主要国の市場規模と発展可能性の定量分析を提供し、世界の各国の市場発展、将来の発展見通し、市場規模を紹介する。
第7章:主要企業のプロファイルを提供し、市場における主要企業の基本状況を詳細に紹介。製品販売、収益、価格、粗利益率、製品紹介、最近の開発状況などを含む。
第8章:地域・国別グローバルEUV光源生産能力。
第9章:市場動向、最新動向、市場の推進要因と制約要因、業界メーカーが直面する課題とリスク、関連政策の分析を紹介。
第10章:産業チェーン分析(産業の上流・下流を含む)。
第11章:報告書の要点と結論。

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❖ レポートの目次 ❖

1 研究・分析レポートの概要
1.1 EUV光源市場の定義
1.2 市場セグメント
1.2.1 タイプ別セグメント
1.2.2 用途別セグメント
1.3 グローバルEUV光源市場概要
1.4 本レポートの特徴と利点
1.5 調査方法と情報源
1.5.1 調査方法論
1.5.2 調査プロセス
1.5.3 基準年
1.5.4 レポートの前提条件と注意事項

2 グローバルEUV光源市場規模
2.1 グローバルEUV光源市場規模:2024年対2031年
2.2 世界のEUV光源市場規模、見通し及び予測:2020-2031年
2.3 世界のEUV光源販売:2020-2031年

3 企業動向
3.1 グローバル市場における主要EUV光源メーカー
3.2 収益別グローバルEUV光源トップ企業ランキング
3.3 企業別グローバルEUV光源収益
3.4 グローバルEUV光源企業別販売台数
3.5 メーカー別グローバルEUV光源価格(2020-2025年)
3.6 2024年売上高ベースの世界市場におけるEUV光源トップ3社およびトップ5社
3.7 グローバルメーカー別EUV光源製品タイプ
3.8 グローバル市場におけるTier 1、Tier 2、Tier 3 EUV光源プレーヤー
3.8.1 グローバルティア1 EUV光源企業リスト
3.8.2 グローバルティア2およびティア3EUV光源企業一覧

4 製品別展望
4.1 概要
4.1.1 タイプ別セグメント – 世界のEUV光源市場規模、2024年および2031年
4.1.2 低電力
4.1.3 高出力
4.2 タイプ別セグメント – 世界のEUV光源収益と予測
4.2.1 タイプ別セグメント – 世界のEUV光源収益、2020-2025年
4.2.2 タイプ別セグメント – 世界のEUV光源収益、2026-2031年
4.2.3 タイプ別セグメント – 世界のEUV光源収益市場シェア、2020-2031年
4.3 タイプ別セグメント – 世界のEUV光源の販売量と予測
4.3.1 タイプ別セグメント – 世界のEUV光源販売量、2020-2025年
4.3.2 タイプ別セグメント – 世界のEUV光源販売量、2026-2031年
4.3.3 タイプ別セグメント – 世界のEUV光源販売市場シェア、2020-2031年
4.4 タイプ別セグメント – グローバルEUV光源価格(メーカー販売価格)、2020-2031年

5 用途別展望
5.1 概要
5.1.1 用途別セグメント – 世界のEUV光源市場規模、2024年及び2031年
5.1.2 装置メーカー
5.1.3 ファブ
5.2 用途別セグメント – 世界のEUV光源収益と予測
5.2.1 用途別セグメント – 世界のEUV光源収益、2020-2025年
5.2.2 用途別セグメント – 世界のEUV光源収益、2026-2031年
5.2.3 用途別セグメント – 世界のEUV光源収益市場シェア、2020-2031年
5.3 用途別セグメント – 世界のEUV光源販売量と予測
5.3.1 用途別セグメント – 世界のEUV光源販売量、2020-2025年
5.3.2 用途別セグメント – 世界のEUV光源販売量、2026-2031年
5.3.3 用途別セグメント – 世界のEUV光源販売市場シェア、2020-2031年
5.4 用途別セグメント – 世界のEUV光源価格(メーカー販売価格)、2020-2031年

6 地域別展望
6.1 地域別 – 世界のEUV光源市場規模、2024年及び2031年
6.2 地域別 – 世界のEUV光源収益と予測
6.2.1 地域別 – 世界のEUV光源収益、2020-2025年
6.2.2 地域別 – 世界のEUV光源収益、2026-2031年
6.2.3 地域別 – 世界のEUV光源収益市場シェア、2020-2031年
6.3 地域別 – 世界のEUV光源販売量と予測
6.3.1 地域別 – 世界のEUV光源販売量、2020-2025年
6.3.2 地域別 – 世界のEUV光源販売量、2026-2031年
6.3.3 地域別 – 世界のEUV光源販売市場シェア、2020-2031年
6.4 北米
6.4.1 国別 – 北米EUV光源収益、2020-2031年
6.4.2 国別 – 北米EUV光源販売量、2020-2031年
6.4.3 米国EUV光源市場規模、2020-2031年
6.4.4 カナダEUV光源市場規模、2020-2031年
6.4.5 メキシコ EUV光源市場規模、2020-2031年
6.5 欧州
6.5.1 国別 – 欧州 EUV光源収益、2020-2031年
6.5.2 国別 – 欧州EUV光源販売台数、2020-2031年
6.5.3 ドイツ EUV光源市場規模、2020-2031年
6.5.4 フランスEUV光源市場規模、2020-2031年
6.5.5 イギリス EUV光源市場規模、2020-2031年
6.5.6 イタリア EUV光源市場規模、2020-2031年
6.5.7 ロシア EUV光源市場規模、2020-2031年
6.5.8 北欧諸国 EUV光源市場規模、2020-2031年
6.5.9 ベネルクスEUV光源市場規模、2020-2031年
6.6 アジア
6.6.1 地域別 – アジア EUV光源収益、2020-2031年
6.6.2 地域別 – アジア EUV光源販売量、2020-2031年
6.6.3 中国EUV光源市場規模、2020-2031年
6.6.4 日本EUV光源市場規模、2020-2031年
6.6.5 韓国EUV光源市場規模、2020-2031年
6.6.6 東南アジア EUV光源市場規模、2020-2031年
6.6.7 インドEUV光源市場規模、2020-2031
6.7 南米
6.7.1 国別 – 南米EUV光源収益、2020-2031年
6.7.2 国別 – 南米EUV光源販売台数、2020-2031年
6.7.3 ブラジルEUV光源市場規模、2020-2031年
6.7.4 アルゼンチンEUV光源市場規模、2020-2031年
6.8 中東・アフリカ
6.8.1 国別 – 中東・アフリカ EUV光源収益、2020-2031年
6.8.2 国別 – 中東・アフリカ EUV光源売上高、2020-2031年
6.8.3 トルコ EUV光源市場規模、2020-2031年
6.8.4 イスラエル EUV光源市場規模、2020-2031
6.8.5 サウジアラビア EUV光源市場規模、2020-2031年
6.8.6 アラブ首長国連邦(UAE)におけるEUV光源市場規模、2020-2031年

7 メーカー及びブランドプロファイル
7.1 Cymer
7.1.1 Cymer 会社概要
7.1.2 Cymerの事業概要
7.1.3 Cymer EUV光源の主要製品ラインアップ
7.1.4 サイマーEUV光源の世界売上高と収益(2020-2025年)
7.1.5 Cymerの主なニュースと最新動向
7.2 ギガフォトン
7.2.1 ギガフォトン 会社概要
7.2.2 ギガフォトン事業概要
7.2.3 ギガフォトン EUV光源の主要製品ラインアップ
7.2.4 ギガフォトン EUV光源の世界販売実績と収益(2020-2025年)
7.2.5 ギガフォトン 主要ニュースと最新動向
7.3 ウシオ
7.3.1 ウシオの概要
7.3.2 ウシオの事業概要
7.3.3 ウシオのEUV光源主要製品ラインアップ
7.3.4 ウシオ EUV 光源の世界における売上高および収益 (2020-2025)
7.3.5 ウシオの主なニュースと最新動向
7.4 ISTEQ BV
7.4.1 ISTEQ BV 会社概要
7.4.2 ISTEQ BV 事業概要
7.4.3 ISTEQ BV EUV光源の主要製品ラインアップ
7.4.4 ISTEQ BV EUV光源の世界売上高と収益(2020-2025年)
7.4.5 ISTEQ BVの主要ニュースと最新動向

8 世界のEUV光源生産能力、分析
8.1 世界のEUV光源生産能力(2020-2031年)
8.2 グローバル市場における主要メーカーのEUV光源生産能力
8.3 地域別グローバルEUV光源生産量

9 主要市場動向、機会、推進要因および抑制要因
9.1 市場機会と動向
9.2 市場推進要因
9.3 市場の制約要因

10 EUV光源のサプライチェーン分析
10.1 EUV光源産業バリューチェーン
10.2 EUV光源上流市場
10.3 EUV光源の下流市場と顧客
10.4 マーケティングチャネル分析
10.4.1 マーケティングチャネル
10.4.2 グローバルにおけるEUV光源のディストリビューターおよび販売代理店

11 結論

12 付録
12.1 注記
12.2 クライアントの例
12.3 免責事項

1 Introduction to Research & Analysis Reports
1.1 EUV Light Sources Market Definition
1.2 Market Segments
1.2.1 Segment by Type
1.2.2 Segment by Application
1.3 Global EUV Light Sources Market Overview
1.4 Features & Benefits of This Report
1.5 Methodology & Sources of Information
1.5.1 Research Methodology
1.5.2 Research Process
1.5.3 Base Year
1.5.4 Report Assumptions & Caveats

2 Global EUV Light Sources Overall Market Size
2.1 Global EUV Light Sources Market Size: 2024 VS 2031
2.2 Global EUV Light Sources Market Size, Prospects & Forecasts: 2020-2031
2.3 Global EUV Light Sources Sales: 2020-2031

3 Company Landscape
3.1 Top EUV Light Sources Players in Global Market
3.2 Top Global EUV Light Sources Companies Ranked by Revenue
3.3 Global EUV Light Sources Revenue by Companies
3.4 Global EUV Light Sources Sales by Companies
3.5 Global EUV Light Sources Price by Manufacturer (2020-2025)
3.6 Top 3 and Top 5 EUV Light Sources Companies in Global Market, by Revenue in 2024
3.7 Global Manufacturers EUV Light Sources Product Type
3.8 Tier 1, Tier 2, and Tier 3 EUV Light Sources Players in Global Market
3.8.1 List of Global Tier 1 EUV Light Sources Companies
3.8.2 List of Global Tier 2 and Tier 3 EUV Light Sources Companies

4 Sights by Product
4.1 Overview
4.1.1 Segment by Type - Global EUV Light Sources Market Size Markets, 2024 & 2031
4.1.2 Low Power
4.1.3 High Power
4.2 Segment by Type - Global EUV Light Sources Revenue & Forecasts
4.2.1 Segment by Type - Global EUV Light Sources Revenue, 2020-2025
4.2.2 Segment by Type - Global EUV Light Sources Revenue, 2026-2031
4.2.3 Segment by Type - Global EUV Light Sources Revenue Market Share, 2020-2031
4.3 Segment by Type - Global EUV Light Sources Sales & Forecasts
4.3.1 Segment by Type - Global EUV Light Sources Sales, 2020-2025
4.3.2 Segment by Type - Global EUV Light Sources Sales, 2026-2031
4.3.3 Segment by Type - Global EUV Light Sources Sales Market Share, 2020-2031
4.4 Segment by Type - Global EUV Light Sources Price (Manufacturers Selling Prices), 2020-2031

5 Sights by Application
5.1 Overview
5.1.1 Segment by Application - Global EUV Light Sources Market Size, 2024 & 2031
5.1.2 Equipment Factory
5.1.3 Fab
5.2 Segment by Application - Global EUV Light Sources Revenue & Forecasts
5.2.1 Segment by Application - Global EUV Light Sources Revenue, 2020-2025
5.2.2 Segment by Application - Global EUV Light Sources Revenue, 2026-2031
5.2.3 Segment by Application - Global EUV Light Sources Revenue Market Share, 2020-2031
5.3 Segment by Application - Global EUV Light Sources Sales & Forecasts
5.3.1 Segment by Application - Global EUV Light Sources Sales, 2020-2025
5.3.2 Segment by Application - Global EUV Light Sources Sales, 2026-2031
5.3.3 Segment by Application - Global EUV Light Sources Sales Market Share, 2020-2031
5.4 Segment by Application - Global EUV Light Sources Price (Manufacturers Selling Prices), 2020-2031

6 Sights by Region
6.1 By Region - Global EUV Light Sources Market Size, 2024 & 2031
6.2 By Region - Global EUV Light Sources Revenue & Forecasts
6.2.1 By Region - Global EUV Light Sources Revenue, 2020-2025
6.2.2 By Region - Global EUV Light Sources Revenue, 2026-2031
6.2.3 By Region - Global EUV Light Sources Revenue Market Share, 2020-2031
6.3 By Region - Global EUV Light Sources Sales & Forecasts
6.3.1 By Region - Global EUV Light Sources Sales, 2020-2025
6.3.2 By Region - Global EUV Light Sources Sales, 2026-2031
6.3.3 By Region - Global EUV Light Sources Sales Market Share, 2020-2031
6.4 North America
6.4.1 By Country - North America EUV Light Sources Revenue, 2020-2031
6.4.2 By Country - North America EUV Light Sources Sales, 2020-2031
6.4.3 United States EUV Light Sources Market Size, 2020-2031
6.4.4 Canada EUV Light Sources Market Size, 2020-2031
6.4.5 Mexico EUV Light Sources Market Size, 2020-2031
6.5 Europe
6.5.1 By Country - Europe EUV Light Sources Revenue, 2020-2031
6.5.2 By Country - Europe EUV Light Sources Sales, 2020-2031
6.5.3 Germany EUV Light Sources Market Size, 2020-2031
6.5.4 France EUV Light Sources Market Size, 2020-2031
6.5.5 U.K. EUV Light Sources Market Size, 2020-2031
6.5.6 Italy EUV Light Sources Market Size, 2020-2031
6.5.7 Russia EUV Light Sources Market Size, 2020-2031
6.5.8 Nordic Countries EUV Light Sources Market Size, 2020-2031
6.5.9 Benelux EUV Light Sources Market Size, 2020-2031
6.6 Asia
6.6.1 By Region - Asia EUV Light Sources Revenue, 2020-2031
6.6.2 By Region - Asia EUV Light Sources Sales, 2020-2031
6.6.3 China EUV Light Sources Market Size, 2020-2031
6.6.4 Japan EUV Light Sources Market Size, 2020-2031
6.6.5 South Korea EUV Light Sources Market Size, 2020-2031
6.6.6 Southeast Asia EUV Light Sources Market Size, 2020-2031
6.6.7 India EUV Light Sources Market Size, 2020-2031
6.7 South America
6.7.1 By Country - South America EUV Light Sources Revenue, 2020-2031
6.7.2 By Country - South America EUV Light Sources Sales, 2020-2031
6.7.3 Brazil EUV Light Sources Market Size, 2020-2031
6.7.4 Argentina EUV Light Sources Market Size, 2020-2031
6.8 Middle East & Africa
6.8.1 By Country - Middle East & Africa EUV Light Sources Revenue, 2020-2031
6.8.2 By Country - Middle East & Africa EUV Light Sources Sales, 2020-2031
6.8.3 Turkey EUV Light Sources Market Size, 2020-2031
6.8.4 Israel EUV Light Sources Market Size, 2020-2031
6.8.5 Saudi Arabia EUV Light Sources Market Size, 2020-2031
6.8.6 UAE EUV Light Sources Market Size, 2020-2031

7 Manufacturers & Brands Profiles
7.1 Cymer
7.1.1 Cymer Company Summary
7.1.2 Cymer Business Overview
7.1.3 Cymer EUV Light Sources Major Product Offerings
7.1.4 Cymer EUV Light Sources Sales and Revenue in Global (2020-2025)
7.1.5 Cymer Key News & Latest Developments
7.2 Gigaphoton
7.2.1 Gigaphoton Company Summary
7.2.2 Gigaphoton Business Overview
7.2.3 Gigaphoton EUV Light Sources Major Product Offerings
7.2.4 Gigaphoton EUV Light Sources Sales and Revenue in Global (2020-2025)
7.2.5 Gigaphoton Key News & Latest Developments
7.3 Ushio
7.3.1 Ushio Company Summary
7.3.2 Ushio Business Overview
7.3.3 Ushio EUV Light Sources Major Product Offerings
7.3.4 Ushio EUV Light Sources Sales and Revenue in Global (2020-2025)
7.3.5 Ushio Key News & Latest Developments
7.4 ISTEQ BV
7.4.1 ISTEQ BV Company Summary
7.4.2 ISTEQ BV Business Overview
7.4.3 ISTEQ BV EUV Light Sources Major Product Offerings
7.4.4 ISTEQ BV EUV Light Sources Sales and Revenue in Global (2020-2025)
7.4.5 ISTEQ BV Key News & Latest Developments

8 Global EUV Light Sources Production Capacity, Analysis
8.1 Global EUV Light Sources Production Capacity, 2020-2031
8.2 EUV Light Sources Production Capacity of Key Manufacturers in Global Market
8.3 Global EUV Light Sources Production by Region

9 Key Market Trends, Opportunity, Drivers and Restraints
9.1 Market Opportunities & Trends
9.2 Market Drivers
9.3 Market Restraints

10 EUV Light Sources Supply Chain Analysis
10.1 EUV Light Sources Industry Value Chain
10.2 EUV Light Sources Upstream Market
10.3 EUV Light Sources Downstream and Clients
10.4 Marketing Channels Analysis
10.4.1 Marketing Channels
10.4.2 EUV Light Sources Distributors and Sales Agents in Global

11 Conclusion

12 Appendix
12.1 Note
12.2 Examples of Clients
12.3 Disclaimer
※参考情報

EUV光源(Extreme Ultraviolet Light Source)は、極端紫外線(EUV)領域の光を生成する装置であり、主に半導体製造プロセスにおいて重要な役割を果たしています。EUV光は波長が約13.5ナノメートルに位置し、この短い波長は微細構造のパターンを高解像度で描画するのに適しています。ここでは、EUV光源の概念、特徴、種類、用途、関連技術について詳述します。

EUV光源の定義は、主に半導体チップを製造するためのリソグラフィー装置に使用される非常に短い波長の光を生成する装置を指します。リソグラフィーは、微細回路をウエハに転写する工程であり、その解像度は使用する光の波長に依存します。EUV光源は従来の光源に比べてはるかに短い波長を持ち、これによりより小さいトランジスタやパターンを実現することが可能です。

EUV光源の特徴として、まず第一に高いエネルギー密度が挙げられます。EUVの波長は短く、そのため光子のエネルギーが大きいため、リソグラフィーにおいて必要とされる解像度を達成できるのです。また、EUV光は非常に高い空間的コヒーレンスを持ち、これにより微細なパターンの描画が可能になります。さらに、化学的・物理的に安定した光源が求められるため、EUV光源は特別な真空環境下で動作します。一般的に、EUV光は空気中では吸収されてしまうため、生成した光は真空容器内で使用されます。

EUV光源には主に二つの種類があります。一つは、従来のレーザーを用いてプラズマを生成し、そのプラズマからEUV光を発生させる方式で、例えば、氷結状態のガスを用いたレーザーイオン化による発生方式があります。もう一つは、電気アーク放電を利用するもので、主にTin(スズ)を用いた方法が広く知られています。スズ粒子を高速で衝突させ、プラズマ環境を生成してその中でEUV光を発生させるというメカニズムです。この手法は、特に半導体業界での商業的成功を収めており、現代のEUV光源の主流となっています。

EUV光源の用途は多岐にわたりますが、主に半導体製造において重要な役割を果たします。高解像度の微細加工が求められる対称メタル配線やトランジスタの製造において、EUVリソグラフィー技術が導入されています。これにより、さらなる微細化が進み、処理能力が向上したチップが生産されます。この技術は、現在の電子機器に不可欠なものであり、スマートフォンやコンピュータ、さらには自動運転車やIoTデバイスなど多岐にわたる電子機器に利用されています。

関連技術については、EUVリソグラフィー技術そのものが進化を続けており、今後の半導体製造プロセスにおいてますます重要性が増すと考えられています。また、EUV光源を効率的に使用するための光学系の設計や、適切なマスク技術の開発も不可欠です。これにより、EUV光源の特性を最大限引き出し、より精密な露光が実現されるのです。

さらに、EUV光源の発展には、リソグラフィー用材料の研究開発も重要です。これには、EUV波長に最適化された感光性材料(レジスト)が含まれます。これらの材料は、EUV光に対する感度や解像度、耐久性を持ち、効率的に回路パターンを形成する役割を果たしています。

最後に、EUV光源の開発は非常に高い技術的なハードルを持つため、参入障壁も高いといえます。現在市場には数社しか存在せず、その中でアプライドマテリアルズやASMLなどが代表的なメーカーです。これらの企業は、EUV光源だけでなく、その周辺技術全般にわたってリーダーシップを発揮しており、グローバルな競争が繰り広げられています。今後もEUV光源の技術革新が期待されており、半導体産業全体における更なる進化が期待されます。


★調査レポート[世界のEUV光源市場展望2025年-2031年] (コード:MMG23JU2267)販売に関する免責事項を必ずご確認ください。
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