1 Introduction to Research & Analysis Reports
1.1 EUV Light Sources Market Definition
1.2 Market Segments
1.2.1 Market by Type
1.2.2 Market by Application
1.3 Global EUV Light Sources Market Overview
1.4 Features & Benefits of This Report
1.5 Methodology & Sources of Information
1.5.1 Research Methodology
1.5.2 Research Process
1.5.3 Base Year
1.5.4 Report Assumptions & Caveats
2 Global EUV Light Sources Overall Market Size
2.1 Global EUV Light Sources Market Size: 2022 VS 2029
2.2 Global EUV Light Sources Revenue, Prospects & Forecasts: 2018-2029
2.3 Global EUV Light Sources Sales: 2018-2029
3 Company Landscape
3.1 Top EUV Light Sources Players in Global Market
3.2 Top Global EUV Light Sources Companies Ranked by Revenue
3.3 Global EUV Light Sources Revenue by Companies
3.4 Global EUV Light Sources Sales by Companies
3.5 Global EUV Light Sources Price by Manufacturer (2018-2023)
3.6 Top 3 and Top 5 EUV Light Sources Companies in Global Market, by Revenue in 2022
3.7 Global Manufacturers EUV Light Sources Product Type
3.8 Tier 1, Tier 2 and Tier 3 EUV Light Sources Players in Global Market
3.8.1 List of Global Tier 1 EUV Light Sources Companies
3.8.2 List of Global Tier 2 and Tier 3 EUV Light Sources Companies
4 Sights by Product
4.1 Overview
4.1.1 By Type – Global EUV Light Sources Market Size Markets, 2022 & 2029
4.1.2 Energetic Plasma
4.1.3 Synchrotron Radiation
4.2 By Type – Global EUV Light Sources Revenue & Forecasts
4.2.1 By Type – Global EUV Light Sources Revenue, 2018-2023
4.2.2 By Type – Global EUV Light Sources Revenue, 2024-2029
4.2.3 By Type – Global EUV Light Sources Revenue Market Share, 2018-2029
4.3 By Type – Global EUV Light Sources Sales & Forecasts
4.3.1 By Type – Global EUV Light Sources Sales, 2018-2023
4.3.2 By Type – Global EUV Light Sources Sales, 2024-2029
4.3.3 By Type – Global EUV Light Sources Sales Market Share, 2018-2029
4.4 By Type – Global EUV Light Sources Price (Manufacturers Selling Prices), 2018-2029
5 Sights by Application
5.1 Overview
5.1.1 By Application – Global EUV Light Sources Market Size, 2022 & 2029
5.1.2 Lithography
5.1.3 Other
5.2 By Application – Global EUV Light Sources Revenue & Forecasts
5.2.1 By Application – Global EUV Light Sources Revenue, 2018-2023
5.2.2 By Application – Global EUV Light Sources Revenue, 2024-2029
5.2.3 By Application – Global EUV Light Sources Revenue Market Share, 2018-2029
5.3 By Application – Global EUV Light Sources Sales & Forecasts
5.3.1 By Application – Global EUV Light Sources Sales, 2018-2023
5.3.2 By Application – Global EUV Light Sources Sales, 2024-2029
5.3.3 By Application – Global EUV Light Sources Sales Market Share, 2018-2029
5.4 By Application – Global EUV Light Sources Price (Manufacturers Selling Prices), 2018-2029
6 Sights by Region
6.1 By Region – Global EUV Light Sources Market Size, 2022 & 2029
6.2 By Region – Global EUV Light Sources Revenue & Forecasts
6.2.1 By Region – Global EUV Light Sources Revenue, 2018-2023
6.2.2 By Region – Global EUV Light Sources Revenue, 2024-2029
6.2.3 By Region – Global EUV Light Sources Revenue Market Share, 2018-2029
6.3 By Region – Global EUV Light Sources Sales & Forecasts
6.3.1 By Region – Global EUV Light Sources Sales, 2018-2023
6.3.2 By Region – Global EUV Light Sources Sales, 2024-2029
6.3.3 By Region – Global EUV Light Sources Sales Market Share, 2018-2029
6.4 North America
6.4.1 By Country – North America EUV Light Sources Revenue, 2018-2029
6.4.2 By Country – North America EUV Light Sources Sales, 2018-2029
6.4.3 US EUV Light Sources Market Size, 2018-2029
6.4.4 Canada EUV Light Sources Market Size, 2018-2029
6.4.5 Mexico EUV Light Sources Market Size, 2018-2029
6.5 Europe
6.5.1 By Country – Europe EUV Light Sources Revenue, 2018-2029
6.5.2 By Country – Europe EUV Light Sources Sales, 2018-2029
6.5.3 Germany EUV Light Sources Market Size, 2018-2029
6.5.4 France EUV Light Sources Market Size, 2018-2029
6.5.5 U.K. EUV Light Sources Market Size, 2018-2029
6.5.6 Italy EUV Light Sources Market Size, 2018-2029
6.5.7 Russia EUV Light Sources Market Size, 2018-2029
6.5.8 Nordic Countries EUV Light Sources Market Size, 2018-2029
6.5.9 Benelux EUV Light Sources Market Size, 2018-2029
6.6 Asia
6.6.1 By Region – Asia EUV Light Sources Revenue, 2018-2029
6.6.2 By Region – Asia EUV Light Sources Sales, 2018-2029
6.6.3 China EUV Light Sources Market Size, 2018-2029
6.6.4 Japan EUV Light Sources Market Size, 2018-2029
6.6.5 South Korea EUV Light Sources Market Size, 2018-2029
6.6.6 Southeast Asia EUV Light Sources Market Size, 2018-2029
6.6.7 India EUV Light Sources Market Size, 2018-2029
6.7 South America
6.7.1 By Country – South America EUV Light Sources Revenue, 2018-2029
6.7.2 By Country – South America EUV Light Sources Sales, 2018-2029
6.7.3 Brazil EUV Light Sources Market Size, 2018-2029
6.7.4 Argentina EUV Light Sources Market Size, 2018-2029
6.8 Middle East & Africa
6.8.1 By Country – Middle East & Africa EUV Light Sources Revenue, 2018-2029
6.8.2 By Country – Middle East & Africa EUV Light Sources Sales, 2018-2029
6.8.3 Turkey EUV Light Sources Market Size, 2018-2029
6.8.4 Israel EUV Light Sources Market Size, 2018-2029
6.8.5 Saudi Arabia EUV Light Sources Market Size, 2018-2029
6.8.6 UAE EUV Light Sources Market Size, 2018-2029
7 Manufacturers & Brands Profiles
7.1 Cymer
7.1.1 Cymer Company Summary
7.1.2 Cymer Business Overview
7.1.3 Cymer EUV Light Sources Major Product Offerings
7.1.4 Cymer EUV Light Sources Sales and Revenue in Global (2018-2023)
7.1.5 Cymer Key News & Latest Developments
7.2 Gigaphoton
7.2.1 Gigaphoton Company Summary
7.2.2 Gigaphoton Business Overview
7.2.3 Gigaphoton EUV Light Sources Major Product Offerings
7.2.4 Gigaphoton EUV Light Sources Sales and Revenue in Global (2018-2023)
7.2.5 Gigaphoton Key News & Latest Developments
8 Global EUV Light Sources Production Capacity, Analysis
8.1 Global EUV Light Sources Production Capacity, 2018-2029
8.2 EUV Light Sources Production Capacity of Key Manufacturers in Global Market
8.3 Global EUV Light Sources Production by Region
9 Key Market Trends, Opportunity, Drivers and Restraints
9.1 Market Opportunities & Trends
9.2 Market Drivers
9.3 Market Restraints
10 EUV Light Sources Supply Chain Analysis
10.1 EUV Light Sources Industry Value Chain
10.2 EUV Light Sources Upstream Market
10.3 EUV Light Sources Downstream and Clients
10.4 Marketing Channels Analysis
10.4.1 Marketing Channels
10.4.2 EUV Light Sources Distributors and Sales Agents in Global
11 Conclusion
12 Appendix
12.1 Note
12.2 Examples of Clients
12.3 Disclaimer
※参考情報 EUV光源(Extreme Ultraviolet Light Source)は、極端紫外線(EUV)領域の光を生成する装置であり、主に半導体製造プロセスにおいて重要な役割を果たしています。EUV光は波長が約13.5ナノメートルに位置し、この短い波長は微細構造のパターンを高解像度で描画するのに適しています。ここでは、EUV光源の概念、特徴、種類、用途、関連技術について詳述します。 EUV光源の定義は、主に半導体チップを製造するためのリソグラフィー装置に使用される非常に短い波長の光を生成する装置を指します。リソグラフィーは、微細回路をウエハに転写する工程であり、その解像度は使用する光の波長に依存します。EUV光源は従来の光源に比べてはるかに短い波長を持ち、これによりより小さいトランジスタやパターンを実現することが可能です。 EUV光源の特徴として、まず第一に高いエネルギー密度が挙げられます。EUVの波長は短く、そのため光子のエネルギーが大きいため、リソグラフィーにおいて必要とされる解像度を達成できるのです。また、EUV光は非常に高い空間的コヒーレンスを持ち、これにより微細なパターンの描画が可能になります。さらに、化学的・物理的に安定した光源が求められるため、EUV光源は特別な真空環境下で動作します。一般的に、EUV光は空気中では吸収されてしまうため、生成した光は真空容器内で使用されます。 EUV光源には主に二つの種類があります。一つは、従来のレーザーを用いてプラズマを生成し、そのプラズマからEUV光を発生させる方式で、例えば、氷結状態のガスを用いたレーザーイオン化による発生方式があります。もう一つは、電気アーク放電を利用するもので、主にTin(スズ)を用いた方法が広く知られています。スズ粒子を高速で衝突させ、プラズマ環境を生成してその中でEUV光を発生させるというメカニズムです。この手法は、特に半導体業界での商業的成功を収めており、現代のEUV光源の主流となっています。 EUV光源の用途は多岐にわたりますが、主に半導体製造において重要な役割を果たします。高解像度の微細加工が求められる対称メタル配線やトランジスタの製造において、EUVリソグラフィー技術が導入されています。これにより、さらなる微細化が進み、処理能力が向上したチップが生産されます。この技術は、現在の電子機器に不可欠なものであり、スマートフォンやコンピュータ、さらには自動運転車やIoTデバイスなど多岐にわたる電子機器に利用されています。 関連技術については、EUVリソグラフィー技術そのものが進化を続けており、今後の半導体製造プロセスにおいてますます重要性が増すと考えられています。また、EUV光源を効率的に使用するための光学系の設計や、適切なマスク技術の開発も不可欠です。これにより、EUV光源の特性を最大限引き出し、より精密な露光が実現されるのです。 さらに、EUV光源の発展には、リソグラフィー用材料の研究開発も重要です。これには、EUV波長に最適化された感光性材料(レジスト)が含まれます。これらの材料は、EUV光に対する感度や解像度、耐久性を持ち、効率的に回路パターンを形成する役割を果たしています。 最後に、EUV光源の開発は非常に高い技術的なハードルを持つため、参入障壁も高いといえます。現在市場には数社しか存在せず、その中でアプライドマテリアルズやASMLなどが代表的なメーカーです。これらの企業は、EUV光源だけでなく、その周辺技術全般にわたってリーダーシップを発揮しており、グローバルな競争が繰り広げられています。今後もEUV光源の技術革新が期待されており、半導体産業全体における更なる進化が期待されます。 |