世界の半導体ウェーハ研磨・研削装置市場予測2023年-2028年

【英語タイトル】Semiconductor Wafer Polishing and Grinding Equipment Market: Global Industry Trends, Share, Size, Growth, Opportunity and Forecast 2023-2028

IMARCが出版した調査資料(IMARC23NOV022)・商品コード:IMARC23NOV022
・発行会社(調査会社):IMARC
・発行日:2023年10月
   最新版(2025年又は2026年)版があります。お問い合わせください。
・ページ数:139
・レポート言語:英語
・レポート形式:PDF
・納品方法:Eメール
・調査対象地域:グローバル
・産業分野:半導体
◆販売価格オプション(消費税別)
Single UserUSD3,999 ⇒換算¥599,850見積依頼/購入/質問フォーム
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❖ レポートの概要 ❖

市場概要半導体ウェーハ研磨・研削装置の世界市場規模は2022年に410.1百万ドルに達しました。今後、IMARC Groupは、市場は2023年から2028年の間に5.1%の成長率(CAGR)を示し、2028年までに559.1百万ドルに達すると予測しています。

研磨・研削装置とは、半導体ウェーハを製造する際に一般的に使用されます高度で不可欠な部品を指します。これらの装置には、蒸着、リソグラフィ、イオン注入、エッチング、洗浄が含まれ、金属組織検査ツール、ディスク仕上げ、ラッピングマシンの助けを借りて実行されます標準的な方法の一部です。半導体ウェーハの研磨・研削装置は、平滑で損傷のない表面を確保しながら、膜から不要な物質を除去し、製品を薄くして精製するのに役立ちます。このような特性から、集積回路を構成するファウンドリーやメモリーメーカーに広く利用されています。

半導体ウェーハ研磨・研削装置の市場動向
エレクトロニクス産業の急速な拡大に伴い、スマートフォン、ノートパソコン、デスクトップパソコンなど、さまざまな消費者向け電子製品を製造するための微小電気機械システム(MEMS)、マイクロチップ、集積回路に対する需要が増加しています。このため、ウェーハの薄片化とダメージ軽減を目的とした先進的な半導体ウェーハ研削・研磨装置が広く採用されますようになり、これが現在の市場成長を牽引する主な要因の一つとなっています。これに伴い、生産工程でウェーハ表面形状を維持するための金属-酸化膜-半導体(MOS)ソリューションや化学-機械-研磨(CMP)ソリューションの採用など、大幅な技術進歩が他の成長促進要因として作用しています。また、モノのインターネット(IoT)や人工知能(AI)を含むワイヤレス技術の大規模な統合が市場を支えており、スマートデバイスの製造に役立っています。さらに、SoC(System on a Chip)サイコロを製造するためのウェーハ製造工場における研磨・研削装置の広範な利用が、市場の成長に寄与しています。その他にも、ウェーハの薄型化による電子デバイスの小型化ニーズの高まり、研究開発(R&D)活動への継続的な投資、高性能ウェーハ研磨・研削装置の導入に向けた主要企業間の戦略的提携などが、市場に明るい見通しを生み出しています。

主要市場セグメンテーション
IMARC Groupは、2023年から2028年にかけての世界、地域、国レベルでの予測とともに、世界の半導体ウェーハ研磨・研削装置市場レポートの各サブセグメントにおける主要動向の分析を提供しています。当レポートでは、市場をタイプ別、エンドユーザー別に分類しています。

タイプ別
半導体ウェーハ研磨装置
半導体ウェーハ研磨装置

エンドユーザー別
ファウンドリ
メモリメーカー
IDM
その他

地域別
北米
米国
カナダ
アジア太平洋
中国
日本
インド
韓国
オーストラリア
インドネシア
その他
ヨーロッパ
ドイツ
フランス
イギリス
イタリア
スペイン
ロシア
その他
ラテンアメリカ
ブラジル
メキシコ
その他
中東・アフリカ

競争環境:
業界の競争環境は、Accretech (Europe) Gmbh (Tokyo Seimitsu Co. Ltd.)、Amtech Systems Inc.、Axus Technology、BBS Kinmei Co Ltd.、Disco Corporation、Dynavest Pte Ltd.、Ebara Corporation、Gigamat Technologies Inc.、Lapmaster Wolters GmbH (Lapmaster International LLC)、Logitech International S.A.、Okamoto Machine Tool Works Ltd.、Revasum Inc.などの主要企業のプロフィールとともに調査されています。

本レポートで扱う主な質問
世界の半導体ウェーハ研磨・研削装置市場はこれまでどのように推移し、今後数年間はどのように推移するのか?
COVID-19が世界の半導体ウェーハ研磨・研削装置市場に与えた影響は?
主要な地域市場は?
タイプ別市場内訳は?
エンドユーザーに基づく市場内訳は?
業界のバリューチェーンにおける様々な段階とは?
業界の主要な推進要因と課題は何か?
世界の半導体ウェーハ研磨・研削装置市場の構造と主要プレーヤーは?
業界における競争の度合いは?

1. 序論
2. 範囲・調査手法
3. エグゼクティブサマリー
4. イントロダクション
5. 世界の半導体ウェーハ研磨・研削装置市場
6. 半導体ウェーハ研磨・研削装置の世界市場:種類別
7. 半導体ウェーハ研磨・研削装置の世界市場:エンドユーザー別
8. 半導体ウェーハ研磨・研削装置の世界市場:地域別
9. SWOT分析
10. バリューチェーン分析
11. ファイブフォース分析
12. 価格分析
13. 競争状況

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❖ レポートの目次 ❖

1 はじめに
2 調査範囲と方法論
2.1 調査目的
2.2 関係者
2.3 データソース
2.3.1 一次情報源
2.3.2 二次情報源
2.4 市場推定手法
2.4.1 ボトムアップアプローチ
2.4.2 トップダウンアプローチ
2.5 予測方法論
3 エグゼクティブサマリー
4 はじめに
4.1 概要
4.2 主要な業界動向
5 世界の半導体ウエハー研磨・研削装置市場
5.1 市場概要
5.2 市場実績
5.3 COVID-19の影響
5.4 市場予測
6 タイプ別市場分析
6.1 半導体ウエハー研磨装置
6.1.1 市場動向
6.1.2 市場予測
6.2 半導体ウエハー研削装置
6.2.1 市場動向
6.2.2 市場予測
7 エンドユーザー別市場分析
7.1 ファウンドリ
7.1.1 市場動向
7.1.2 市場予測
7.2 メモリメーカー
7.2.1 市場動向
7.2.2 市場予測
7.3 IDMメーカー
7.3.1 市場動向
7.3.2 市場予測
7.4 その他
7.4.1 市場動向
7.4.2 市場予測
8 地域別市場分析
8.1 北米
8.1.1 アメリカ合衆国
8.1.1.1 市場動向
8.1.1.2 市場予測
8.1.2 カナダ
8.1.2.1 市場動向
8.1.2.2 市場予測
8.2 アジア太平洋
8.2.1 中国
8.2.1.1 市場動向
8.2.1.2 市場予測
8.2.2 日本
8.2.2.1 市場動向
8.2.2.2 市場予測
8.2.3 インド
8.2.3.1 市場動向
8.2.3.2 市場予測
8.2.4 韓国
8.2.4.1 市場動向
8.2.4.2 市場予測
8.2.5 オーストラリア
8.2.5.1 市場動向
8.2.5.2 市場予測
8.2.6 インドネシア
8.2.6.1 市場動向
8.2.6.2 市場予測
8.2.7 その他
8.2.7.1 市場動向
8.2.7.2 市場予測
8.3 欧州
8.3.1 ドイツ
8.3.1.1 市場動向
8.3.1.2 市場予測
8.3.2 フランス
8.3.2.1 市場動向
8.3.2.2 市場予測
8.3.3 イギリス
8.3.3.1 市場動向
8.3.3.2 市場予測
8.3.4 イタリア
8.3.4.1 市場動向
8.3.4.2 市場予測
8.3.5 スペイン
8.3.5.1 市場動向
8.3.5.2 市場予測
8.3.6 ロシア
8.3.6.1 市場動向
8.3.6.2 市場予測
8.3.7 その他
8.3.7.1 市場動向
8.3.7.2 市場予測
8.4 ラテンアメリカ
8.4.1 ブラジル
8.4.1.1 市場動向
8.4.1.2 市場予測
8.4.2 メキシコ
8.4.2.1 市場動向
8.4.2.2 市場予測
8.4.3 その他
8.4.3.1 市場動向
8.4.3.2 市場予測
8.5 中東・アフリカ
8.5.1 市場動向
8.5.2 国別市場分析
8.5.3 市場予測
9 SWOT分析
9.1 概要
9.2 強み
9.3 弱み
9.4 機会
9.5 脅威
10 バリューチェーン分析
11 ポーターの5つの力分析
11.1 概要
11.2 買い手の交渉力
11.3 供給者の交渉力
11.4 競争の激しさ
11.5 新規参入の脅威
11.6 代替品の脅威
12 価格分析
13 競争環境
13.1 市場構造
13.2 主要プレイヤー
13.3 主要プレイヤーのプロファイル
13.3.1 アクレテック(ヨーロッパ)GmbH(東京精密株式会社)
13.3.1.1 会社概要
13.3.1.2 製品ポートフォリオ
13.3.2 アムテック・システムズ株式会社
13.3.2.1 会社概要
13.3.2.2 製品ポートフォリオ
13.3.2.3 財務状況
13.3.3 アクサス・テクノロジー
13.3.3.1 会社概要
13.3.3.2 製品ポートフォリオ
13.3.4 BBSキンメイ株式会社
13.3.4.1 会社概要
13.3.4.2 製品ポートフォリオ
13.3.5 ディスコ株式会社
13.3.5.1 会社概要
13.3.5.2 製品ポートフォリオ
13.3.5.3 財務状況
13.3.6 ダイナベスト株式会社
13.3.6.1 会社概要
13.3.6.2 製品ポートフォリオ
13.3.7 荏原製作所
13.3.7.1 会社概要
13.3.7.2 製品ポートフォリオ
13.3.7.3 財務状況
13.3.7.4 SWOT分析
13.3.8 ギガマット・テクノロジーズ株式会社
13.3.8.1 会社概要
13.3.8.2 製品ポートフォリオ
13.3.9 ラップマスター・ウォルターズ社(ラップマスター・インターナショナル合同会社)
13.3.9.1 会社概要
13.3.9.2 製品ポートフォリオ
13.3.10 ロジテック・インターナショナルS.A.
13.3.10.1 会社概要
13.3.10.2 製品ポートフォリオ
13.3.11 岡本工作機械株式会社
13.3.11.1 会社概要
13.3.11.2 製品ポートフォリオ
13.3.11.3 財務状況
13.3.12 レバサム株式会社
13.3.12.1 会社概要
13.3.12.2 製品ポートフォリオ
13.3.12.3 財務状況

図1:世界:半導体ウエハー研磨・研削装置市場:主要推進要因と課題
図2:世界:半導体ウエハー研磨・研削装置市場:売上高(百万米ドル)、2017-2022年
図3:世界:半導体ウエハー研磨・研削装置市場予測:売上高(百万米ドル)、2023-2028年
図4:世界:半導体ウエハー研磨・研削装置市場:タイプ別内訳(%)、2022年
図5:世界:半導体ウエハー研磨・研削装置市場:エンドユーザー別内訳(%)、2022年
図6:世界:半導体ウエハー研磨・研削装置市場:地域別内訳(%)、2022年
図7:世界:半導体ウエハー研磨・研削装置(半導体ウエハー研磨装置)市場:売上高(百万米ドル)、2017年及び2022年
図8:世界:半導体ウエハー研磨・研削装置(半導体ウエハー研磨装置)市場予測:売上高(百万米ドル)、2023年~2028年
図9:世界:半導体ウエハー研磨・研削装置(半導体ウエハー研削装置)市場:売上高(百万米ドル)、2017年及び2022年
図10:世界:半導体ウエハー研磨・研削装置(半導体ウエハー研削装置)市場予測:売上高(百万米ドル)、2023-2028年
図11:世界:半導体ウエハー研磨・研削装置(ファウンドリ)市場:売上高(百万米ドル)、2017年及び2022年
図12:世界:半導体ウエハー研磨・研削装置(ファウンドリ)市場予測:売上高(百万米ドル)、2023-2028年
図13:世界:半導体ウエハー研磨・研削装置(メモリメーカー)市場:売上高(百万米ドル)、2017年及び2022年
図14:世界:半導体ウエハー研磨・研削装置(メモリメーカー)市場予測:売上高(百万米ドル)、2023-2028年
図15:世界:半導体ウエハー研磨・研削装置(IDM)市場:売上高(百万米ドル)、2017年及び2022年
図16:世界:半導体ウエハー研磨・研削装置(IDM向け)市場予測:売上高(百万米ドル)、2023-2028年
図17:世界:半導体ウエハー研磨・研削装置(その他エンドユーザー向け)市場:売上高(百万米ドル)、2017年及び2022年
図18:世界:半導体ウエハー研磨・研削装置(その他エンドユーザー)市場予測:売上高(百万米ドル)、2023-2028年
図19:北米:半導体ウエハー研磨・研削装置市場:売上高(百万米ドル)、2017年及び2022年
図20:北米:半導体ウエハー研磨・研削装置市場予測:売上高(百万米ドル)、2023-2028年
図21:米国:半導体ウエハー研磨・研削装置市場:売上高(百万米ドル)、2017年及び2022年
図22:米国:半導体ウエハー研磨・研削装置市場予測:売上高(百万米ドル)、2023-2028年
図23:カナダ:半導体ウエハー研磨・研削装置市場:売上高(百万米ドル)、2017年及び2022年
図24:カナダ:半導体ウエハー研磨・研削装置市場予測:売上高(百万米ドル)、2023-2028年
図25:アジア太平洋地域:半導体ウエハー研磨・研削装置市場:売上高(百万米ドル)、2017年及び2022年
図26:アジア太平洋地域:半導体ウエハー研磨・研削装置市場予測:売上高(百万米ドル)、2023-2028年
図27:中国:半導体ウエハー研磨・研削装置市場:売上高(百万米ドル)、2017年及び2022年
図28:中国:半導体ウエハー研磨・研削装置市場予測:売上高(百万米ドル)、2023-2028年
図29:日本:半導体ウエハー研磨・研削装置市場:売上高(百万米ドル)、2017年及び2022年
図30:日本:半導体ウエハー研磨・研削装置市場予測:売上高(百万米ドル)、2023-2028年
図31:インド:半導体ウエハー研磨・研削装置市場:売上高(百万米ドル)、2017年及び2022年
図32:インド:半導体ウエハー研磨・研削装置市場予測:売上高(百万米ドル)、2023-2028年
図33:韓国:半導体ウエハー研磨・研削装置市場:売上高(百万米ドル)、2017年及び2022年
図34:韓国:半導体ウエハー研磨・研削装置市場予測:売上高(百万米ドル)、2023-2028年
図35:オーストラリア:半導体ウエハー研磨・研削装置市場:売上高(百万米ドル)、2017年及び2022年
図36:オーストラリア:半導体ウエハー研磨・研削装置市場予測:売上高(百万米ドル)、2023-2028年
図37:インドネシア:半導体ウエハー研磨・研削装置市場:売上高(百万米ドル)、2017年及び2022年
図38:インドネシア:半導体ウエハー研磨・研削装置市場予測:売上高(百万米ドル)、2023-2028年
図39:その他地域:半導体ウエハー研磨・研削装置市場:売上高(百万米ドル)、2017年及び2022年
図40:その他地域:半導体ウエハー研磨・研削装置市場予測:売上高(百万米ドル)、2023-2028年
図41:欧州:半導体ウエハー研磨・研削装置市場:売上高(百万米ドル)、2017年及び2022年
図42:欧州:半導体ウエハー研磨・研削装置市場予測:売上高(百万米ドル)、2023-2028年
図43:ドイツ:半導体ウエハー研磨・研削装置市場:売上高(百万米ドル)、2017年及び2022年
図44:ドイツ:半導体ウエハー研磨・研削装置市場予測:売上高(百万米ドル)、2023-2028年
図45:フランス:半導体ウエハー研磨・研削装置市場:売上高(百万米ドル)、2017年及び2022年
図46:フランス:半導体ウエハー研磨・研削装置市場予測:売上高(百万米ドル)、2023-2028年
図47:イギリス:半導体ウエハー研磨・研削装置市場:売上高(百万米ドル)、2017年及び2022年
図48:英国:半導体ウエハー研磨・研削装置市場予測:売上高(百万米ドル)、2023-2028年
図49:イタリア:半導体ウエハー研磨・研削装置市場:売上高(百万米ドル)、2017年及び2022年
図50:イタリア:半導体ウエハー研磨・研削装置市場予測:売上高(百万米ドル)、2023-2028年
図51:スペイン:半導体ウエハー研磨・研削装置市場:売上高(百万米ドル)、2017年及び2022年
図52:スペイン:半導体ウエハー研磨・研削装置市場予測:売上高(百万米ドル)、2023-2028年
図53:ロシア:半導体ウエハー研磨・研削装置市場:売上高(百万米ドル)、2017年及び2022年
図54:ロシア:半導体ウエハー研磨・研削装置市場予測:売上高(百万米ドル)、2023-2028年
図55:その他地域:半導体ウエハー研磨・研削装置市場:売上高(百万米ドル)、2017年及び2022年
図56:その他地域:半導体ウエハー研磨・研削装置市場予測:売上高(百万米ドル)、2023-2028年
図57:ラテンアメリカ:半導体ウエハー研磨・研削装置市場:売上高(百万米ドル)、2017年及び2022年
図58:ラテンアメリカ:半導体ウエハー研磨・研削装置市場予測:売上高(百万米ドル)、2023-2028年
図59:ブラジル:半導体ウエハー研磨・研削装置市場:売上高(百万米ドル)、2017年及び2022年
図60:ブラジル:半導体ウエハー研磨・研削装置市場予測:売上高(百万米ドル)、2023-2028年
図61:メキシコ:半導体ウエハー研磨・研削装置市場:売上高(百万米ドル)、2017年及び2022年
図62:メキシコ:半導体ウエハー研磨・研削装置市場予測:売上高(百万米ドル)、2023-2028年
図63:その他地域:半導体ウエハー研磨・研削装置市場:売上高(百万米ドル)、2017年及び2022年
図64:その他地域:半導体ウエハー研磨・研削装置市場予測:売上高(百万米ドル)、2023-2028年
図65:中東・アフリカ:半導体ウエハー研磨・研削装置市場:売上高(百万米ドル)、2017年及び2022年
図66:中東・アフリカ地域:半導体ウエハー研磨・研削装置市場:国別内訳(%)、2022年
図67:中東・アフリカ地域:半導体ウエハー研磨・研削装置市場予測:売上高(百万米ドル)、2023-2028年
図68:グローバル:半導体ウエハー研磨・研削装置産業:SWOT分析
図69:グローバル:半導体ウエハー研磨・研削装置産業:バリューチェーン分析
図70:グローバル:半導体ウエハー研磨・研削装置産業:ポーターの5つの力分析

1 Preface
2 Scope and Methodology
2.1 Objectives of the Study
2.2 Stakeholders
2.3 Data Sources
2.3.1 Primary Sources
2.3.2 Secondary Sources
2.4 Market Estimation
2.4.1 Bottom-Up Approach
2.4.2 Top-Down Approach
2.5 Forecasting Methodology
3 Executive Summary
4 Introduction
4.1 Overview
4.2 Key Industry Trends
5 Global Semiconductor Wafer Polishing and Grinding Equipment Market
5.1 Market Overview
5.2 Market Performance
5.3 Impact of COVID-19
5.4 Market Forecast
6 Market Breakup by Type
6.1 Semiconductor Wafer Polishing Equipment
6.1.1 Market Trends
6.1.2 Market Forecast
6.2 Semiconductor Wafer Grinding Equipment
6.2.1 Market Trends
6.2.2 Market Forecast
7 Market Breakup by End User
7.1 Foundries
7.1.1 Market Trends
7.1.2 Market Forecast
7.2 Memory Manufacturers
7.2.1 Market Trends
7.2.2 Market Forecast
7.3 IDMs
7.3.1 Market Trends
7.3.2 Market Forecast
7.4 Others
7.4.1 Market Trends
7.4.2 Market Forecast
8 Market Breakup by Region
8.1 North America
8.1.1 United States
8.1.1.1 Market Trends
8.1.1.2 Market Forecast
8.1.2 Canada
8.1.2.1 Market Trends
8.1.2.2 Market Forecast
8.2 Asia-Pacific
8.2.1 China
8.2.1.1 Market Trends
8.2.1.2 Market Forecast
8.2.2 Japan
8.2.2.1 Market Trends
8.2.2.2 Market Forecast
8.2.3 India
8.2.3.1 Market Trends
8.2.3.2 Market Forecast
8.2.4 South Korea
8.2.4.1 Market Trends
8.2.4.2 Market Forecast
8.2.5 Australia
8.2.5.1 Market Trends
8.2.5.2 Market Forecast
8.2.6 Indonesia
8.2.6.1 Market Trends
8.2.6.2 Market Forecast
8.2.7 Others
8.2.7.1 Market Trends
8.2.7.2 Market Forecast
8.3 Europe
8.3.1 Germany
8.3.1.1 Market Trends
8.3.1.2 Market Forecast
8.3.2 France
8.3.2.1 Market Trends
8.3.2.2 Market Forecast
8.3.3 United Kingdom
8.3.3.1 Market Trends
8.3.3.2 Market Forecast
8.3.4 Italy
8.3.4.1 Market Trends
8.3.4.2 Market Forecast
8.3.5 Spain
8.3.5.1 Market Trends
8.3.5.2 Market Forecast
8.3.6 Russia
8.3.6.1 Market Trends
8.3.6.2 Market Forecast
8.3.7 Others
8.3.7.1 Market Trends
8.3.7.2 Market Forecast
8.4 Latin America
8.4.1 Brazil
8.4.1.1 Market Trends
8.4.1.2 Market Forecast
8.4.2 Mexico
8.4.2.1 Market Trends
8.4.2.2 Market Forecast
8.4.3 Others
8.4.3.1 Market Trends
8.4.3.2 Market Forecast
8.5 Middle East and Africa
8.5.1 Market Trends
8.5.2 Market Breakup by Country
8.5.3 Market Forecast
9 SWOT Analysis
9.1 Overview
9.2 Strengths
9.3 Weaknesses
9.4 Opportunities
9.5 Threats
10 Value Chain Analysis
11 Porters Five Forces Analysis
11.1 Overview
11.2 Bargaining Power of Buyers
11.3 Bargaining Power of Suppliers
11.4 Degree of Competition
11.5 Threat of New Entrants
11.6 Threat of Substitutes
12 Price Analysis
13 Competitive Landscape
13.1 Market Structure
13.2 Key Players
13.3 Profiles of Key Players
13.3.1 Accretech (Europe) Gmbh (Tokyo Seimitsu Co. Ltd.)
13.3.1.1 Company Overview
13.3.1.2 Product Portfolio
13.3.2 Amtech Systems Inc.
13.3.2.1 Company Overview
13.3.2.2 Product Portfolio
13.3.2.3 Financials
13.3.3 Axus Technology
13.3.3.1 Company Overview
13.3.3.2 Product Portfolio
13.3.4 BBS Kinmei Co Ltd
13.3.4.1 Company Overview
13.3.4.2 Product Portfolio
13.3.5 Disco Corporation
13.3.5.1 Company Overview
13.3.5.2 Product Portfolio
13.3.5.3 Financials
13.3.6 Dynavest Pte Ltd
13.3.6.1 Company Overview
13.3.6.2 Product Portfolio
13.3.7 Ebara Corporation
13.3.7.1 Company Overview
13.3.7.2 Product Portfolio
13.3.7.3 Financials
13.3.7.4 SWOT Analysis
13.3.8 Gigamat Technologies Inc.
13.3.8.1 Company Overview
13.3.8.2 Product Portfolio
13.3.9 Lapmaster Wolters GmbH (Lapmaster International LLC)
13.3.9.1 Company Overview
13.3.9.2 Product Portfolio
13.3.10 Logitech International S.A.
13.3.10.1 Company Overview
13.3.10.2 Product Portfolio
13.3.11 Okamoto Machine Tool Works Ltd
13.3.11.1 Company Overview
13.3.11.2 Product Portfolio
13.3.11.3 Financials
13.3.12 Revasum Inc.
13.3.12.1 Company Overview
13.3.12.2 Product Portfolio
13.3.12.3 Financials
※参考情報

半導体ウェーハ研磨・研削装置は、半導体デバイスの製造過程において重要な役割を果たしています。これらの装置は、基本的にシリコンウェーハを精密に加工し、表面を滑らかにしたり、所定の厚さに削ったりするために使用されます。半導体業界は、集積回路や各種電子部品の製造において、高度な精度と品質が求められるため、この研磨・研削プロセスは必須です。
半導体ウェーハ研磨の主な目的は、ウェーハ表面の平坦化や光学的特性の改善、さらにはデバイス特性の向上にあります。ウェーハの表面が粗いと、後の工程でのエッチングや成膜時に問題が生じ、デバイスの性能に悪影響を及ぼす可能性があります。そのため、ウェーハの表面は非常に高精度で平坦に仕上げる必要があります。

研磨および研削装置は、大きく分けて「ダイヤモンド研磨装置」「化学機械的研磨装置」「磁気研磨装置」などに分類されます。ダイヤモンド研磨装置は、高硬度のダイヤモンド粒子を使用してウェーハを研削するため、非常に高い加工精度を実現します。化学機械的研磨(CMP)装置は、機械的な力だけでなく化学的作用を利用してウェーハの表面を平滑化します。この方法は、特に微細加工において重要で、凹凸がある表面でも均一に仕上げることが可能です。

磁気研磨装置は、磁場を利用して研磨剤の流動を調整し、ウェーハ表面の微細な特性を改善する手法です。これは、特定の材質や形状を持つウェーハに対する高精度な加工が可能となり、需要が高まっています。

用途については、半導体製品の生産工程全般にわたっています。集積回路、メモリーチップ、パワーデバイスなど、多様な半導体デバイスの製造において、これらの研磨・研削装置が使用されます。特に、微細化が進む半導体製品においては、より高精度な研磨技術が求められています。また、表面の平坦性や均一性は、デバイスの性能にも直結するため、非常に重要です。

関連技術としては、ウェーハの前処理工程や後処理工程が挙げられます。例えば、研磨前のウェーハの洗浄は、汚れや不純物を取り除くために欠かせないプロセスです。また、研磨後には、表面粗さの測定や切削面の検査を行い、一定の品質基準を満たしていることを確認します。これにより、デバイスの生産における歩留まりの向上が図れます。

最近では、IoTやAI技術の進展により、研磨・研削プロセスの自動化や効率化が進められています。センサーを使ったリアルタイム監視やデータ分析によって、工程の最適化ができるようになり、より高精度で効率的な製造が可能になっています。

加えて、半導体ウェーハ研磨・研削装置は、環境への配慮も必要な分野です。研磨剤や使用する化学薬品の管理、安全性の確保はもちろん、廃棄物の処理やリサイクルの観点からも最新の技術が導入されています。

今後も、半導体市場の拡大に伴い、ウェーハ研磨・研削装置の重要性は増していくことが予想されます。高性能化、効率化を追求する中で、新たな技術の開発や既存技術の改善が求められています。これにより、さらなる革新が期待され、半導体産業全体の成長を支える基盤となるでしょう。


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