1 研究・分析レポートの概要
1.1 EUVリソグラフィ装置市場定義
1.2 市場セグメント
1.2.1 タイプ別セグメント
1.2.2 用途別セグメント
1.3 グローバルEUVリソグラフィシステム装置市場概要
1.4 本レポートの特徴と利点
1.5 調査方法論と情報源
1.5.1 調査方法論
1.5.2 調査プロセス
1.5.3 基準年
1.5.4 レポートの前提条件と注意事項
2 グローバルEUVリソグラフィシステム装置市場規模
2.1 グローバルEUVリソグラフィ装置市場規模：2024年対2031年
2.2 世界のEUVリソグラフィ装置市場規模、見通し及び予測：2020-2031年
2.3 世界のEUVリソグラフィ装置販売：2020-2031年
3 企業動向
3.1 グローバル市場における主要EUVリソグラフィ装置メーカー
3.2 売上高別グローバルEUVリソグラフィシステム機器トップ企業
3.3 企業別グローバルEUVリソグラフィ装置売上高
3.4 企業別グローバルEUVリソグラフィ装置販売台数
3.5 メーカー別グローバルEUVリソグラフィ装置価格（2020-2025年）
3.6 2024年売上高ベースの世界市場におけるEUVリソグラフィ装置メーカー上位3社および上位5社
3.7 グローバルメーカー別EUVリソグラフィ装置の製品タイプ
3.8 グローバル市場におけるTier 1、Tier 2、Tier 3 EUVリソグラフィ装置メーカー
3.8.1 グローバルティア1 EUVリソグラフィシステム装置メーカー一覧
3.8.2 グローバルティア2およびティア3 EUVリソグラフィシステム装置メーカー一覧
4 製品別展望
4.1 概要
4.1.1 タイプ別セグメント – 世界のEUVリソグラフィシステム装置市場規模、2024年および2031年
4.1.2 8インチウェーハ
4.1.3 12インチウェーハ
4.1.4 その他
4.2 タイプ別セグメント – 世界のEUVリソグラフィシステム装置の収益と予測
4.2.1 タイプ別セグメント – 世界のEUVリソグラフィシステム装置収益、2020-2025年
4.2.2 タイプ別セグメント – 世界のEUVリソグラフィシステム装置収益、2026-2031年
4.2.3 タイプ別セグメント – 世界のEUVリソグラフィシステム装置の収益市場シェア、2020-2031年
4.3 タイプ別セグメント – グローバルEUVリソグラフィシステム装置販売台数と予測
4.3.1 タイプ別セグメント – 世界のEUVリソグラフィシステム装置販売台数、2020-2025年
4.3.2 タイプ別セグメント – 世界のEUVリソグラフィシステム装置販売台数、2026-2031年
4.3.3 タイプ別セグメント – 世界のEUVリソグラフィシステム装置販売市場シェア、2020-2031年
4.4 タイプ別セグメント – グローバルEUVリソグラフィシステム装置価格（メーカー販売価格）、2020-2031年
5 用途別市場動向
5.1 概要
5.1.1 用途別セグメント – 世界のEUVリソグラフィシステム装置市場規模、2024年及び2031年
5.1.2 先進パッケージング
5.1.3 MEMSデバイス
5.1.4 LEDデバイス
5.1.5 その他
5.2 用途別セグメント – 世界のEUVリソグラフィシステム装置の収益と予測
5.2.1 用途別セグメント – 世界のEUVリソグラフィシステム装置収益、2020-2025年
5.2.2 用途別セグメント – 世界のEUVリソグラフィシステム装置収益、2026-2031年
5.2.3 用途別セグメント – 世界のEUVリソグラフィシステム装置収益市場シェア、2020-2031年
5.3 用途別セグメント – グローバルEUVリソグラフィシステム装置販売台数と予測
5.3.1 用途別セグメント – 世界のEUVリソグラフィシステム装置販売台数、2020-2025年
5.3.2 用途別セグメント – 世界のEUVリソグラフィシステム装置販売台数、2026-2031年
5.3.3 用途別セグメント – 世界のEUVリソグラフィシステム装置販売市場シェア、2020-2031年
5.4 用途別セグメント – グローバルEUVリソグラフィ装置価格（メーカー販売価格）、2020-2031年
6 地域別展望
6.1 地域別 – 世界のEUVリソグラフィシステム装置市場規模、2024年及び2031年
6.2 地域別 – 世界のEUVリソグラフィシステム装置の収益と予測
6.2.1 地域別 – 世界のEUVリソグラフィシステム装置収益、2020-2025年
6.2.2 地域別 – 世界のEUVリソグラフィシステム装置収益、2026-2031年
6.2.3 地域別 – 世界のEUVリソグラフィシステム装置収益市場シェア、2020-2031年
6.3 地域別 – 世界のEUVリソグラフィシステム装置の販売台数と予測
6.3.1 地域別 – 世界のEUVリソグラフィシステム装置販売台数、2020-2025年
6.3.2 地域別 – 世界のEUVリソグラフィシステム装置販売台数、2026-2031年
6.3.3 地域別 – 世界のEUVリソグラフィシステム装置販売市場シェア、2020-2031年
6.4 北米
6.4.1 国別 – 北米EUVリソグラフィシステム装置収益、2020-2031年
6.4.2 国別 – 北米EUVリソグラフィシステム装置販売台数、2020-2031年
6.4.3 米国EUVリソグラフィシステム装置市場規模、2020-2031年
6.4.4 カナダ EUVリソグラフィシステム装置市場規模、2020-2031年
6.4.5 メキシコにおけるEUVリソグラフィシステム装置の市場規模、2020-2031年
6.5 欧州
6.5.1 国別 – 欧州EUVリソグラフィシステム装置収益、2020-2031年
6.5.2 国別 – 欧州 EUVリソグラフィシステム装置販売台数、2020-2031年
6.5.3 ドイツ EUVリソグラフィシステム装置市場規模、2020-2031年
6.5.4 フランスEUVリソグラフィシステム装置市場規模、2020-2031年
6.5.5 イギリスにおけるEUVリソグラフィシステム装置市場規模、2020-2031年
6.5.6 イタリア EUVリソグラフィシステム装置市場規模、2020-2031年
6.5.7 ロシア EUVリソグラフィシステム装置市場規模、2020-2031年
6.5.8 北欧諸国におけるEUVリソグラフィシステム装置市場規模（2020-2031年）
6.5.9 ベネルクスEUVリソグラフィ装置市場規模、2020-2031年
6.6 アジア
6.6.1 地域別 – アジア EUVリソグラフィシステム装置収益、2020-2031
6.6.2 地域別 – アジア EUVリソグラフィシステム装置販売台数、2020-2031年
6.6.3 中国EUVリソグラフィシステム装置市場規模、2020-2031年
6.6.4 日本EUVリソグラフィシステム装置市場規模、2020-2031年
6.6.5 韓国EUVリソグラフィシステム装置市場規模、2020-2031年
6.6.6 東南アジアにおけるEUVリソグラフィシステム装置市場規模、2020-2031年
6.6.7 インド EUVリソグラフィ装置市場規模、2020-2031年
6.7 南米
6.7.1 国別 – 南米EUVリソグラフィシステム装置収益、2020-2031年
6.7.2 国別 – 南米EUVリソグラフィシステム装置販売台数、2020-2031年
6.7.3 ブラジルEUVリソグラフィシステム装置市場規模、2020-2031年
6.7.4 アルゼンチン EUVリソグラフィシステム装置市場規模、2020-2031年
6.8 中東・アフリカ
6.8.1 国別 – 中東・アフリカ EUVリソグラフィシステム装置収益、2020-2031年
6.8.2 国別 – 中東・アフリカ EUVリソグラフィシステム装置販売台数、2020-2031
6.8.3 トルコにおけるEUVリソグラフィシステム装置市場規模、2020-2031年
6.8.4 イスラエル EUVリソグラフィシステム装置市場規模、2020-2031年
6.8.5 サウジアラビア EUVリソグラフィシステム装置市場規模、2020-2031年
6.8.6 アラブ首長国連邦（UAE）におけるEUVリソグラフィシステム装置市場規模、2020-2031年
7 メーカー及びブランドプロファイル
7.1 キヤノン株式会社
7.1.1 キヤノン株式会社 会社概要
7.1.2 キヤノン株式会社 事業概要
7.1.3 キヤノン株式会社 EUVリソグラフィ装置の主要製品ラインアップ
7.1.4 キヤノン株式会社のEUVリソグラフィ装置の世界販売台数と収益（2020-2025年）
7.1.5 キヤノン株式会社の主なニュースと最新動向
7.2 ニコン株式会社
7.2.1 株式会社ニコン 会社概要
7.2.2 ニコン株式会社 事業概要
7.2.3 ニコン株式会社 EUVリソグラフィ装置 主な製品ラインアップ
7.2.4 ニコン株式会社 EUVリソグラフィ装置の世界販売台数と収益（2020-2025年）
7.2.5 ニコン株式会社の主なニュースと最新動向
7.3 ASMLホールディングNV
7.3.1 ASMLホールディングNV 会社概要
7.3.2 ASMLホールディングNVの事業概要
7.3.3 ASML Holding NV EUVリソグラフィシステム装置の主要製品ラインアップ
7.3.4 ASML Holding NV EUVリソグラフィシステム装置の世界販売台数と収益（2020-2025年）
7.3.5 ASML Holding NV 主要ニュースと最新動向
7.4 ヴィーコ・インスツルメンツ社
7.4.1 ビーコ・インスツルメンツ社の会社概要
7.4.2 ビーコ・インスツルメンツ社の事業概要
7.4.3 ビーコ・インスツルメンツ社のEUVリソグラフィシステム装置の主要製品ラインアップ
7.4.4 ビーコ・インスツルメンツ社のEUVリソグラフィシステム装置の世界的な売上高と収益（2020-2025年）
7.4.5 ヴィーコ・インスツルメンツ社の主なニュースと最新動向
7.5 SUSS MicroTec SE
7.5.1 SUSS MicroTec SE 会社概要
7.5.2 SUSS MicroTec SE 事業概要
7.5.3 SUSS MicroTec SE EUVリソグラフィシステム装置の主要製品ラインアップ
7.5.4 SUSS MicroTec SE EUVリソグラフィシステム装置の世界販売台数と収益（2020-2025年）
7.5.5 SUSS MicroTec SE 主要ニュース及び最新動向
7.6 上海微電子設備（集団）有限公司
7.6.1 上海微電子設備（集団）有限公司 会社概要
7.6.2 上海マイクロエレクトロニクス設備（グループ）有限公司 事業概要
7.6.3 上海微電子設備（集団）有限公司 EUVリソグラフィシステム装置 主な製品提供
7.6.4 上海微電子設備（集団）有限公司のEUVリソグラフィシステム装置の世界販売台数と収益（2020-2025年）
7.6.5 上海微電子設備（集団）有限公司の主要ニュースと最新動向
7.7 EVグループ
7.7.1 EV Group 会社概要
7.7.2 EV Groupの事業概要
7.7.3 EV GroupのEUVリソグラフィシステム装置の主要製品ラインアップ
7.7.4 EVグループEUVリソグラフィシステム装置の世界販売台数と収益（2020-2025年）
7.7.5 EV Groupの主なニュースと最新動向
7.8 日本電子株式会社
7.8.1 日本電子株式会社 会社概要
7.8.2 日本電子株式会社の事業概要
7.8.3 日本電子株式会社のEUVリソグラフィシステム装置の主要製品ラインアップ
7.8.4 日本電子株式会社のEUVリソグラフィ装置の世界販売台数と収益（2020-2025年）
7.8.5 日本電子株式会社の主なニュースと最新動向
7.9 Onto Innovation
7.9.1 Onto Innovation 会社概要
7.9.2 Onto Innovation 事業概要
7.9.3 Onto Innovation EUVリソグラフィ装置の主要製品ラインアップ
7.9.4 Onto Innovation EUVリソグラフィシステム装置の世界販売台数と収益（2020-2025年）
7.9.5 Onto Innovation 主要ニュース及び最新動向
7.10 ニュートロニクス・クインテル社
7.10.1 Neutronix Quintel Inc. 会社概要
7.10.2 Neutronix Quintel Inc. 事業概要
7.10.3 Neutronix Quintel Inc. EUVリソグラフィシステム装置の主要製品ラインアップ
7.10.4 Neutronix Quintel Inc. EUVリソグラフィシステム装置の世界販売台数と収益（2020-2025年）
7.10.5 Neutronix Quintel Inc. 主要ニュースと最新動向
8 世界のEUVリソグラフィ装置生産能力、分析
8.1 世界のEUVリソグラフィシステム装置生産能力（2020-2031年）
8.2 グローバル市場における主要メーカーのEUVリソグラフィシステム装置生産能力
8.3 地域別グローバルEUVリソグラフィ装置生産量
9 主要市場動向、機会、推進要因および抑制要因
9.1 市場機会と動向
9.2 市場推進要因
9.3 市場の制約要因
10 EUVリソグラフィ装置のサプライチェーン分析
10.1 EUVリソグラフィ装置産業のバリューチェーン
10.2 EUVリソグラフィ装置の上流市場
10.3 EUVリソグラフィ装置の下流市場と顧客
10.4 マーケティングチャネル分析
10.4.1 マーケティングチャネル
10.4.2 グローバルにおけるEUVリソグラフィ装置の販売代理店および販売代理店
11 結論
12 付録
12.1 注記
12.2 クライアントの例
12.3 免責事項
1.1 EUV Lithography System Machine Market Definition
1.2 Market Segments
1.2.1 Segment by Type
1.2.2 Segment by Application
1.3 Global EUV Lithography System Machine Market Overview
1.4 Features & Benefits of This Report
1.5 Methodology & Sources of Information
1.5.1 Research Methodology
1.5.2 Research Process
1.5.3 Base Year
1.5.4 Report Assumptions & Caveats
2 Global EUV Lithography System Machine Overall Market Size
2.1 Global EUV Lithography System Machine Market Size: 2024 VS 2031
2.2 Global EUV Lithography System Machine Market Size, Prospects & Forecasts: 2020-2031
2.3 Global EUV Lithography System Machine Sales: 2020-2031
3 Company Landscape
3.1 Top EUV Lithography System Machine Players in Global Market
3.2 Top Global EUV Lithography System Machine Companies Ranked by Revenue
3.3 Global EUV Lithography System Machine Revenue by Companies
3.4 Global EUV Lithography System Machine Sales by Companies
3.5 Global EUV Lithography System Machine Price by Manufacturer (2020-2025)
3.6 Top 3 and Top 5 EUV Lithography System Machine Companies in Global Market, by Revenue in 2024
3.7 Global Manufacturers EUV Lithography System Machine Product Type
3.8 Tier 1, Tier 2, and Tier 3 EUV Lithography System Machine Players in Global Market
3.8.1 List of Global Tier 1 EUV Lithography System Machine Companies
3.8.2 List of Global Tier 2 and Tier 3 EUV Lithography System Machine Companies
4 Sights by Product
4.1 Overview
4.1.1 Segment by Type - Global EUV Lithography System Machine Market Size Markets, 2024 & 2031
4.1.2 8 Inch Wafer
4.1.3 12 Inch Wafer
4.1.4 Others
4.2 Segment by Type - Global EUV Lithography System Machine Revenue & Forecasts
4.2.1 Segment by Type - Global EUV Lithography System Machine Revenue, 2020-2025
4.2.2 Segment by Type - Global EUV Lithography System Machine Revenue, 2026-2031
4.2.3 Segment by Type - Global EUV Lithography System Machine Revenue Market Share, 2020-2031
4.3 Segment by Type - Global EUV Lithography System Machine Sales & Forecasts
4.3.1 Segment by Type - Global EUV Lithography System Machine Sales, 2020-2025
4.3.2 Segment by Type - Global EUV Lithography System Machine Sales, 2026-2031
4.3.3 Segment by Type - Global EUV Lithography System Machine Sales Market Share, 2020-2031
4.4 Segment by Type - Global EUV Lithography System Machine Price (Manufacturers Selling Prices), 2020-2031
5 Sights by Application
5.1 Overview
5.1.1 Segment by Application - Global EUV Lithography System Machine Market Size, 2024 & 2031
5.1.2 Advanced Packaging
5.1.3 MEMS Devices
5.1.4 LED Devices
5.1.5 Others
5.2 Segment by Application - Global EUV Lithography System Machine Revenue & Forecasts
5.2.1 Segment by Application - Global EUV Lithography System Machine Revenue, 2020-2025
5.2.2 Segment by Application - Global EUV Lithography System Machine Revenue, 2026-2031
5.2.3 Segment by Application - Global EUV Lithography System Machine Revenue Market Share, 2020-2031
5.3 Segment by Application - Global EUV Lithography System Machine Sales & Forecasts
5.3.1 Segment by Application - Global EUV Lithography System Machine Sales, 2020-2025
5.3.2 Segment by Application - Global EUV Lithography System Machine Sales, 2026-2031
5.3.3 Segment by Application - Global EUV Lithography System Machine Sales Market Share, 2020-2031
5.4 Segment by Application - Global EUV Lithography System Machine Price (Manufacturers Selling Prices), 2020-2031
6 Sights by Region
6.1 By Region - Global EUV Lithography System Machine Market Size, 2024 & 2031
6.2 By Region - Global EUV Lithography System Machine Revenue & Forecasts
6.2.1 By Region - Global EUV Lithography System Machine Revenue, 2020-2025
6.2.2 By Region - Global EUV Lithography System Machine Revenue, 2026-2031
6.2.3 By Region - Global EUV Lithography System Machine Revenue Market Share, 2020-2031
6.3 By Region - Global EUV Lithography System Machine Sales & Forecasts
6.3.1 By Region - Global EUV Lithography System Machine Sales, 2020-2025
6.3.2 By Region - Global EUV Lithography System Machine Sales, 2026-2031
6.3.3 By Region - Global EUV Lithography System Machine Sales Market Share, 2020-2031
6.4 North America
6.4.1 By Country - North America EUV Lithography System Machine Revenue, 2020-2031
6.4.2 By Country - North America EUV Lithography System Machine Sales, 2020-2031
6.4.3 United States EUV Lithography System Machine Market Size, 2020-2031
6.4.4 Canada EUV Lithography System Machine Market Size, 2020-2031
6.4.5 Mexico EUV Lithography System Machine Market Size, 2020-2031
6.5 Europe
6.5.1 By Country - Europe EUV Lithography System Machine Revenue, 2020-2031
6.5.2 By Country - Europe EUV Lithography System Machine Sales, 2020-2031
6.5.3 Germany EUV Lithography System Machine Market Size, 2020-2031
6.5.4 France EUV Lithography System Machine Market Size, 2020-2031
6.5.5 U.K. EUV Lithography System Machine Market Size, 2020-2031
6.5.6 Italy EUV Lithography System Machine Market Size, 2020-2031
6.5.7 Russia EUV Lithography System Machine Market Size, 2020-2031
6.5.8 Nordic Countries EUV Lithography System Machine Market Size, 2020-2031
6.5.9 Benelux EUV Lithography System Machine Market Size, 2020-2031
6.6 Asia
6.6.1 By Region - Asia EUV Lithography System Machine Revenue, 2020-2031
6.6.2 By Region - Asia EUV Lithography System Machine Sales, 2020-2031
6.6.3 China EUV Lithography System Machine Market Size, 2020-2031
6.6.4 Japan EUV Lithography System Machine Market Size, 2020-2031
6.6.5 South Korea EUV Lithography System Machine Market Size, 2020-2031
6.6.6 Southeast Asia EUV Lithography System Machine Market Size, 2020-2031
6.6.7 India EUV Lithography System Machine Market Size, 2020-2031
6.7 South America
6.7.1 By Country - South America EUV Lithography System Machine Revenue, 2020-2031
6.7.2 By Country - South America EUV Lithography System Machine Sales, 2020-2031
6.7.3 Brazil EUV Lithography System Machine Market Size, 2020-2031
6.7.4 Argentina EUV Lithography System Machine Market Size, 2020-2031
6.8 Middle East & Africa
6.8.1 By Country - Middle East & Africa EUV Lithography System Machine Revenue, 2020-2031
6.8.2 By Country - Middle East & Africa EUV Lithography System Machine Sales, 2020-2031
6.8.3 Turkey EUV Lithography System Machine Market Size, 2020-2031
6.8.4 Israel EUV Lithography System Machine Market Size, 2020-2031
6.8.5 Saudi Arabia EUV Lithography System Machine Market Size, 2020-2031
6.8.6 UAE EUV Lithography System Machine Market Size, 2020-2031
7 Manufacturers & Brands Profiles
7.1 Canon Inc.
7.1.1 Canon Inc. Company Summary
7.1.2 Canon Inc. Business Overview
7.1.3 Canon Inc. EUV Lithography System Machine Major Product Offerings
7.1.4 Canon Inc. EUV Lithography System Machine Sales and Revenue in Global (2020-2025)
7.1.5 Canon Inc. Key News & Latest Developments
7.2 Nikon Corporation
7.2.1 Nikon Corporation Company Summary
7.2.2 Nikon Corporation Business Overview
7.2.3 Nikon Corporation EUV Lithography System Machine Major Product Offerings
7.2.4 Nikon Corporation EUV Lithography System Machine Sales and Revenue in Global (2020-2025)
7.2.5 Nikon Corporation Key News & Latest Developments
7.3 ASML Holding NV
7.3.1 ASML Holding NV Company Summary
7.3.2 ASML Holding NV Business Overview
7.3.3 ASML Holding NV EUV Lithography System Machine Major Product Offerings
7.3.4 ASML Holding NV EUV Lithography System Machine Sales and Revenue in Global (2020-2025)
7.3.5 ASML Holding NV Key News & Latest Developments
7.4 Veeco Instruments Inc.
7.4.1 Veeco Instruments Inc. Company Summary
7.4.2 Veeco Instruments Inc. Business Overview
7.4.3 Veeco Instruments Inc. EUV Lithography System Machine Major Product Offerings
7.4.4 Veeco Instruments Inc. EUV Lithography System Machine Sales and Revenue in Global (2020-2025)
7.4.5 Veeco Instruments Inc. Key News & Latest Developments
7.5 SUSS MicroTec SE
7.5.1 SUSS MicroTec SE Company Summary
7.5.2 SUSS MicroTec SE Business Overview
7.5.3 SUSS MicroTec SE EUV Lithography System Machine Major Product Offerings
7.5.4 SUSS MicroTec SE EUV Lithography System Machine Sales and Revenue in Global (2020-2025)
7.5.5 SUSS MicroTec SE Key News & Latest Developments
7.6 Shanghai Micro Electronics Equipment (Group) Co., Ltd.
7.6.1 Shanghai Micro Electronics Equipment (Group) Co., Ltd. Company Summary
7.6.2 Shanghai Micro Electronics Equipment (Group) Co., Ltd. Business Overview
7.6.3 Shanghai Micro Electronics Equipment (Group) Co., Ltd. EUV Lithography System Machine Major Product Offerings
7.6.4 Shanghai Micro Electronics Equipment (Group) Co., Ltd. EUV Lithography System Machine Sales and Revenue in Global (2020-2025)
7.6.5 Shanghai Micro Electronics Equipment (Group) Co., Ltd. Key News & Latest Developments
7.7 EV Group
7.7.1 EV Group Company Summary
7.7.2 EV Group Business Overview
7.7.3 EV Group EUV Lithography System Machine Major Product Offerings
7.7.4 EV Group EUV Lithography System Machine Sales and Revenue in Global (2020-2025)
7.7.5 EV Group Key News & Latest Developments
7.8 JEOL, Ltd.
7.8.1 JEOL, Ltd. Company Summary
7.8.2 JEOL, Ltd. Business Overview
7.8.3 JEOL, Ltd. EUV Lithography System Machine Major Product Offerings
7.8.4 JEOL, Ltd. EUV Lithography System Machine Sales and Revenue in Global (2020-2025)
7.8.5 JEOL, Ltd. Key News & Latest Developments
7.9 Onto Innovation
7.9.1 Onto Innovation Company Summary
7.9.2 Onto Innovation Business Overview
7.9.3 Onto Innovation EUV Lithography System Machine Major Product Offerings
7.9.4 Onto Innovation EUV Lithography System Machine Sales and Revenue in Global (2020-2025)
7.9.5 Onto Innovation Key News & Latest Developments
7.10 Neutronix Quintel Inc.
7.10.1 Neutronix Quintel Inc. Company Summary
7.10.2 Neutronix Quintel Inc. Business Overview
7.10.3 Neutronix Quintel Inc. EUV Lithography System Machine Major Product Offerings
7.10.4 Neutronix Quintel Inc. EUV Lithography System Machine Sales and Revenue in Global (2020-2025)
7.10.5 Neutronix Quintel Inc. Key News & Latest Developments
8 Global EUV Lithography System Machine Production Capacity, Analysis
8.1 Global EUV Lithography System Machine Production Capacity, 2020-2031
8.2 EUV Lithography System Machine Production Capacity of Key Manufacturers in Global Market
8.3 Global EUV Lithography System Machine Production by Region
9 Key Market Trends, Opportunity, Drivers and Restraints
9.1 Market Opportunities & Trends
9.2 Market Drivers
9.3 Market Restraints
10 EUV Lithography System Machine Supply Chain Analysis
10.1 EUV Lithography System Machine Industry Value Chain
10.2 EUV Lithography System Machine Upstream Market
10.3 EUV Lithography System Machine Downstream and Clients
10.4 Marketing Channels Analysis
10.4.1 Marketing Channels
10.4.2 EUV Lithography System Machine Distributors and Sales Agents in Global
11 Conclusion
12 Appendix
12.1 Note
12.2 Examples of Clients
12.3 Disclaimer
| ※参考情報 EUVリソグラフィーシステム装置は、半導体製造において非常に重要な役割を担っている装置です。この技術は、極端紫外線（EUV）を用いて微細な回路パターンをシリコンウエハに焼き付けるプロセスを行います。EUVリソグラフィーは、従来のリソグラフィー技術と比較して、より短い波長の光を使用するため、より高い解像度と精度を持つことができます。 EUVリソグラフィーの主な特徴の一つは、その波長です。EUV光は約13.5ナノメートルの波長を持ち、この短波長のおかげで、非常に微細なパターンを高い解像度で描くことが可能になります。これにより、より多くのトランジスタをより小さなチップ上に配置することができ、高度な集積回路を実現します。また、EUVリソグラフィーは、従来の光学リソグラフィーでは克服が難しかった、微細化に伴う問題を解決するための強力な手段となっています。 この技術の導入により、半導体業界はさらなる進化を遂げることとなりました。特に、モバイルデバイスや高性能コンピュータなど、パフォーマンスとエネルギー効率が求められる市場において、EUVリソグラフィーは欠かせない技術となっています。現在、先進的なプロセス技術を必要とする7nmプロセスや5nmプロセスの製造において、EUVリソグラフィーは広く採用されています。 EUVリソグラフィーシステムは、主にいくつかの重要な部品から構成されています。第一に、EUV光源です。EUV光源は、非常に高温のプラズマを用いて生成され、狭い波長範囲の光を発生させます。この光源の技術開発は非常に重要であり、最新の技術では、レーザーを用いたプラズマ生成方式が主流です。 次に、照明光学系があります。これは、光源から出たEUV光を適切に集光し、ウエハに照射するための光学追加装置です。光学系は、極端な紫外線の特性に合わせて設計されているため、従来の光学素材では光を効率的に集束できないため、特別な材料が必要です。 さらに、露光装置自体は、ウエハとマスクングの位置を非常に高精度に制御するメカニズムを持っています。位置決め精度は、EUVリソグラフィーの精度に直結するため、この部分の技術開発は重要な要素となります。また、マスクングは、半導体のデザインに基づいた回路パターンを持つ特殊な材料で作られます。 EUVリソグラフィーの用途は広範囲にわたりますが、主なものは半導体デバイスの製造です。特に、マイクロプロセッサやメモリチップ、さらにはIoTデバイスなど、多様な電子機器に広く利用されています。これらのデバイスは、ますます小型化・高性能化が求められ、EUVリソグラフィーの導入によって、実現が可能となっています。 関連技術としては、デザインルールの改善や、EUVリソグラフィーに特化したCADツールの開発、また、新しい材料の開発などがあります。これらの技術は、EUVリソグラフィーのプロセスが効果的に機能するための基盤を提供しており、半導体製造プロセス全体の最適化に寄与しています。 EUVリソグラフィーの普及に関しては、いくつかの課題も存在します。まず、高コストの製造装置です。EUVリソグラフィーシステムは、数十億円以上のコストがかかるため、小規模な製造業者には導入が難しい状況です。また、光源の出力が限られているため、露光時間が長くなる傾向があり、生産効率が課題となることがあります。このような課題を克服するために、業界全体での研究開発と協力が進められています。 さらに、EUVリソグラフィーの普及に伴い、業界全体での技術標準の確立も求められています。これにより、デバイス間での互換性や性能向上が図られ、さらなる技術革新が促進されることが期待されます。 これらの要素は、EUVリソグラフィーが半導体産業に与える影響を象徴しています。この先進的な技術は、今後の電子機器の性能向上に大きく貢献することが予測され、多くの分野での革新を促進するでしょう。EUVリソグラフィーの発展は、半導体業界の未来を切り拓く重要なカギとなることでしょう。 |
