1 市場概要
1.1 エッチング後の残留クリーナーの定義
1.2 グローバルエッチング後の残留クリーナーの市場規模と予測
1.2.1 売上別のグローバルエッチング後の残留クリーナーの市場規模（2019-2030）
1.2.2 販売量別のグローバルエッチング後の残留クリーナーの市場規模（2019-2030）
1.2.3 グローバルエッチング後の残留クリーナーの平均販売価格（ASP）（2019-2030）
1.3 中国エッチング後の残留クリーナーの市場規模・予測
1.3.1 売上別の中国エッチング後の残留クリーナー市場規模（2019-2030）
1.3.2 販売量別の中国エッチング後の残留クリーナー市場規模（2019-2030）
1.3.3 中国エッチング後の残留クリーナーの平均販売価格（ASP）（2019-2030）
1.4 世界における中国エッチング後の残留クリーナーの市場シェア
1.4.1 世界における売上別の中国エッチング後の残留クリーナー市場シェア（2019～2030）
1.4.2 世界市場における販売量別の中国エッチング後の残留クリーナー市場シェア（2019～2030）
1.4.3 エッチング後の残留クリーナーの市場規模、中国VS世界（2019-2030）
1.5 エッチング後の残留クリーナー市場ダイナミックス
1.5.1 エッチング後の残留クリーナーの市場ドライバ
1.5.2 エッチング後の残留クリーナー市場の制約
1.5.3 エッチング後の残留クリーナー業界動向
1.5.4 エッチング後の残留クリーナー産業政策
2 世界主要会社市場シェアとランキング
2.1 会社別の世界エッチング後の残留クリーナー売上の市場シェア（2019～2024）
2.2 会社別の世界エッチング後の残留クリーナー販売量の市場シェア（2019～2024）
2.3 会社別のエッチング後の残留クリーナーの平均販売価格（ASP）、2019～2024
2.4 グローバルエッチング後の残留クリーナーのトップ会社、マーケットポジション（ティア1、ティア2、ティア3）
2.5 グローバルエッチング後の残留クリーナーの市場集中度
2.6 グローバルエッチング後の残留クリーナーの合併と買収、拡張計画
2.7 主要会社のエッチング後の残留クリーナー製品タイプ
2.8 主要会社の本社と生産拠点
2.9 主要会社の生産能力の推移と今後の計画
3 中国主要会社市場シェアとランキング
3.1 会社別の中国エッチング後の残留クリーナー売上の市場シェア（2019-2024年）
3.2 エッチング後の残留クリーナーの販売量における中国の主要会社市場シェア（2019～2024）
3.3 中国エッチング後の残留クリーナーのトップ会社、マーケットポジション（ティア1、ティア2、ティア3）
4 世界の生産地域
4.1 グローバルエッチング後の残留クリーナーの生産能力、生産量、稼働率（2019～2030）
4.2 地域別のグローバルエッチング後の残留クリーナーの生産能力
4.3 地域別のグローバルエッチング後の残留クリーナーの生産量と予測、2019年 VS 2023年 VS 2030年
4.4 地域別のグローバルエッチング後の残留クリーナーの生産量（2019～2030）
4.5 地域別のグローバルエッチング後の残留クリーナーの生産量市場シェアと予測（2019-2030）
5 産業チェーン分析
5.1 エッチング後の残留クリーナー産業チェーン
5.2 上流産業分析
5.2.1 エッチング後の残留クリーナーの主な原材料
5.2.2 主な原材料の主要サプライヤー
5.3 中流産業分析
5.4 下流産業分析
5.5 生産モード
5.6 エッチング後の残留クリーナー調達モデル
5.7 エッチング後の残留クリーナー業界の販売モデルと販売チャネル
5.7.1 エッチング後の残留クリーナー販売モデル
5.7.2 エッチング後の残留クリーナー代表的なディストリビューター
6 製品別のエッチング後の残留クリーナー一覧
6.1 エッチング後の残留クリーナー分類
6.1.1 Aqueous
6.1.2 Semi-aqueous
6.2 製品別のグローバルエッチング後の残留クリーナーの売上とCAGR、2019年 VS 2023年 VS 2030年
6.3 製品別のグローバルエッチング後の残留クリーナーの売上（2019～2030）
6.4 製品別のグローバルエッチング後の残留クリーナーの販売量（2019～2030）
6.5 製品別のグローバルエッチング後の残留クリーナーの平均販売価格（ASP）（2019～2030）
7 アプリケーション別のエッチング後の残留クリーナー一覧
7.1 エッチング後の残留クリーナーアプリケーション
7.1.1 Dry Etching
7.1.2 Wet Etching
7.2 アプリケーション別のグローバルエッチング後の残留クリーナーの売上とCAGR、2019 VS 2023 VS 2030
7.3 アプリケーション別のグローバルエッチング後の残留クリーナーの売上（2019～2030）
7.4 アプリケーション別のグローバルエッチング後の残留クリーナー販売量（2019～2030）
7.5 アプリケーション別のグローバルエッチング後の残留クリーナー価格（2019～2030）
8 地域別のエッチング後の残留クリーナー市場規模一覧
8.1 地域別のグローバルエッチング後の残留クリーナーの売上、2019 VS 2023 VS 2030
8.2 地域別のグローバルエッチング後の残留クリーナーの売上（2019～2030）
8.3 地域別のグローバルエッチング後の残留クリーナーの販売量（2019～2030）
8.4 北米
8.4.1 北米エッチング後の残留クリーナーの市場規模・予測（2019～2030）
8.4.2 国別の北米エッチング後の残留クリーナー市場規模シェア
8.5 ヨーロッパ
8.5.1 ヨーロッパエッチング後の残留クリーナー市場規模・予測（2019～2030）
8.5.2 国別のヨーロッパエッチング後の残留クリーナー市場規模シェア
8.6 アジア太平洋地域
8.6.1 アジア太平洋地域エッチング後の残留クリーナー市場規模・予測（2019～2030）
8.6.2 国・地域別のアジア太平洋地域エッチング後の残留クリーナー市場規模シェア
8.7 南米
8.7.1 南米エッチング後の残留クリーナーの市場規模・予測（2019～2030）
8.7.2 国別の南米エッチング後の残留クリーナー市場規模シェア
8.8 中東・アフリカ
9 国別のエッチング後の残留クリーナー市場規模一覧
9.1 国別のグローバルエッチング後の残留クリーナーの市場規模＆CAGR、2019年 VS 2023年 VS 2030年
9.2 国別のグローバルエッチング後の残留クリーナーの売上（2019～2030）
9.3 国別のグローバルエッチング後の残留クリーナーの販売量（2019～2030）
9.4 米国
9.4.1 米国エッチング後の残留クリーナー市場規模（2019～2030）
9.4.2 製品別の米国販売量の市場シェア、2023年 VS 2030年
9.4.3 “アプリケーション別の米国販売量市場のシェア、2023年 VS 2030年
9.5 ヨーロッパ
9.5.1 ヨーロッパエッチング後の残留クリーナー市場規模（2019～2030）
9.5.2 製品別のヨーロッパエッチング後の残留クリーナー販売量の市場シェア、2023年 VS 2030年
9.5.3 アプリケーション別のヨーロッパエッチング後の残留クリーナー販売量の市場シェア、2023年 VS 2030年
9.6 中国
9.6.1 中国エッチング後の残留クリーナー市場規模（2019～2030）
9.6.2 製品別の中国エッチング後の残留クリーナー販売量の市場シェア、2023年 VS 2030年
9.6.3 アプリケーション別の中国エッチング後の残留クリーナー販売量の市場シェア、2023年 VS 2030年
9.7 日本
9.7.1 日本エッチング後の残留クリーナー市場規模（2019～2030）
9.7.2 製品別の日本エッチング後の残留クリーナー販売量の市場シェア、2023年 VS 2030年
9.7.3 アプリケーション別の日本エッチング後の残留クリーナー販売量の市場シェア、2023年 VS 2030年
9.8 韓国
9.8.1 韓国エッチング後の残留クリーナー市場規模（2019～2030）
9.8.2 製品別の韓国エッチング後の残留クリーナー販売量の市場シェア、2023年 VS 2030年
9.8.3 アプリケーション別の韓国エッチング後の残留クリーナー販売量の市場シェア、2023年 VS 2030年
9.9 東南アジア
9.9.1 東南アジアエッチング後の残留クリーナー市場規模（2019～2030）
9.9.2 製品別の東南アジアエッチング後の残留クリーナー販売量の市場シェア、2023年 VS 2030年
9.9.3 アプリケーション別の東南アジアエッチング後の残留クリーナー販売量の市場シェア、2023年 VS 2030年
9.10 インド
9.10.1 インドエッチング後の残留クリーナー市場規模（2019～2030）
9.10.2 製品別のインドエッチング後の残留クリーナー販売量の市場シェア、2023 VS 2030年
9.10.3 アプリケーション別のインドエッチング後の残留クリーナー販売量の市場シェア、2023 VS 2030年
9.11 中東・アフリカ
9.11.1 中東・アフリカエッチング後の残留クリーナー市場規模（2019～2030）
9.11.2 製品別の中東・アフリカエッチング後の残留クリーナー販売量の市場シェア、2023年 VS 2030年
9.11.3 アプリケーション別の中東・アフリカエッチング後の残留クリーナー販売量の市場シェア、2023 VS 2030年
10 会社概要
10.1 Entegris
10.1.1 Entegris 企業情報、本社、販売地域、市場地位
10.1.2 Entegris エッチング後の残留クリーナー製品モデル、仕様、アプリケーション
10.1.3 Entegris エッチング後の残留クリーナー販売量、売上、価格、粗利益率、2019～2024
10.1.4 Entegris 会社紹介と事業概要
10.1.5 Entegris 最近の開発状況
10.2 DuPont
10.2.1 DuPont 企業情報、本社、販売地域、市場地位
10.2.2 DuPont エッチング後の残留クリーナー製品モデル、仕様、アプリケーション
10.2.3 DuPont エッチング後の残留クリーナー販売量、売上、価格、粗利益率、2019～2024
10.2.4 DuPont 会社紹介と事業概要
10.2.5 DuPont 最近の開発状況
10.3 Versum Materials, Inc. (Merck)
10.3.1 Versum Materials, Inc. (Merck) 企業情報、本社、販売地域、市場地位
10.3.2 Versum Materials, Inc. (Merck) エッチング後の残留クリーナー製品モデル、仕様、アプリケーション
10.3.3 Versum Materials, Inc. (Merck) エッチング後の残留クリーナー販売量、売上、価格、粗利益率、2019～2024
10.3.4 Versum Materials, Inc. (Merck) 会社紹介と事業概要
10.3.5 Versum Materials, Inc. (Merck) 最近の開発状況
10.4 Mitsubishi Gas Chemical
10.4.1 Mitsubishi Gas Chemical 企業情報、本社、販売地域、市場地位
10.4.2 Mitsubishi Gas Chemical エッチング後の残留クリーナー製品モデル、仕様、アプリケーション
10.4.3 Mitsubishi Gas Chemical エッチング後の残留クリーナー販売量、売上、価格、粗利益率、2019～2024
10.4.4 Mitsubishi Gas Chemical 会社紹介と事業概要
10.4.5 Mitsubishi Gas Chemical 最近の開発状況
10.5 Fujifilm
10.5.1 Fujifilm 企業情報、本社、販売地域、市場地位
10.5.2 Fujifilm エッチング後の残留クリーナー製品モデル、仕様、アプリケーション
10.5.3 Fujifilm エッチング後の残留クリーナー販売量、売上、価格、粗利益率、2019～2024
10.5.4 Fujifilm 会社紹介と事業概要
10.5.5 Fujifilm 最近の開発状況
10.6 BASF
10.6.1 BASF 企業情報、本社、販売地域、市場地位
10.6.2 BASF エッチング後の残留クリーナー製品モデル、仕様、アプリケーション
10.6.3 BASF エッチング後の残留クリーナー販売量、売上、価格、粗利益率、2019～2024
10.6.4 BASF 会社紹介と事業概要
10.6.5 BASF 最近の開発状況
10.7 Tokyo Ohka Kogyo
10.7.1 Tokyo Ohka Kogyo 企業情報、本社、販売地域、市場地位
10.7.2 Tokyo Ohka Kogyo エッチング後の残留クリーナー製品モデル、仕様、アプリケーション
10.7.3 Tokyo Ohka Kogyo エッチング後の残留クリーナー販売量、売上、価格、粗利益率、2019～2024
10.7.4 Tokyo Ohka Kogyo 会社紹介と事業概要
10.7.5 Tokyo Ohka Kogyo 最近の開発状況
10.8 Avantor, Inc.
10.8.1 Avantor, Inc. 企業情報、本社、販売地域、市場地位
10.8.2 Avantor, Inc. エッチング後の残留クリーナー製品モデル、仕様、アプリケーション
10.8.3 Avantor, Inc. エッチング後の残留クリーナー販売量、売上、価格、粗利益率、2019～2024
10.8.4 Avantor, Inc. 会社紹介と事業概要
10.8.5 Avantor, Inc. 最近の開発状況
10.9 Solexir
10.9.1 Solexir 企業情報、本社、販売地域、市場地位
10.9.2 Solexir エッチング後の残留クリーナー製品モデル、仕様、アプリケーション
10.9.3 Solexir エッチング後の残留クリーナー販売量、売上、価格、粗利益率、2019～2024
10.9.4 Solexir 会社紹介と事業概要
10.9.5 Solexir 最近の開発状況
10.10 Technic Inc.
10.10.1 Technic Inc. 企業情報、本社、販売地域、市場地位
10.10.2 Technic Inc. エッチング後の残留クリーナー製品モデル、仕様、アプリケーション
10.10.3 Technic Inc. エッチング後の残留クリーナー販売量、売上、価格、粗利益率、2019～2024
10.10.4 Technic Inc. 会社紹介と事業概要
10.10.5 Technic Inc. 最近の開発状況
11 結論
12 付録
12.1 研究方法論
12.2 データソース
12.2.1 二次資料
12.2.2 一次資料
12.3 データ クロスバリデーション
12.4 免責事項
| ※参考情報 エッチング後の残留クリーナー、つまりPost Etch Residue Cleaner（以下PERC）は、半導体製造プロセスにおいて非常に重要な役割を果たします。エッチングは、材料を選択的に除去するプロセスであり、特にシリコンウェハや他の半導体材料のパターン形成に欠かせない工程です。しかし、このプロセスの後には、エッチングによって生成された残留物や汚染物質がウェハ上に残ることがあります。これらの残留物は、製品の性能や品質に悪影響を及ぼす可能性があるため、適切な清浄化が必要です。 PERCは、エッチング後に残るこれらのクリーナーや汚染物質を効果的に除去するための化学薬品やプロセスを指します。一般的に、これらのクリーナーは、特定の化学成分を含んでおり、エッチング後の汚染物質に対して選択的に反応することが求められます。 PERCの特徴には以下のようなものがあります。まず、化学的選択性が挙げられます。異なるエッチングプロセスから生じる残留物に対して、異なるクリーナーが必要となります。例えば、酸化シリコンのエッチング後に残るフッ素化合物に対しては、特定の酸性洗浄剤が有効です。次に、環境への配慮も重要です。PERCは、できるだけ低い毒性で環境に優しい物質であることが望まれ、また、使用後の廃液処理も重要なポイントです。 PERCの種類には、主に酸性クリーナー、アルカリ性クリーナー、そして中性クリーナーの3つがあります。酸性クリーナーは、酸性のpHを持ち、主に金属や酸化物の除去に用いられます。一般的な例としては、硝酸、塩酸、またはリン酸が含まれます。アルカリ性クリーナーは、高いpHを持ち、主に有機汚染物質や酸化物の除去に効果があります。例えば、ナトリウム水酸化物やカリウム水酸化物が代表的です。中性クリーナーは、pHが中性に保たれており、敏感な材料にも適用できる特徴があります。これらは、例えば、イオン交換水や、特別に処理された溶液が含まれます。 PERCは、さまざまな用途で使用されます。半導体製造プロセスにおいては、エッチング後の洗浄が必要なだけでなく、ダメージのある部品の復元や、次のプロセスに進む前の前処理としても利用されます。また、MEMS（微小電気機械システム）や光学素子の製造においても、PERCは重要です。これにより、特に高精度が求められる製品の品質を確保することが可能になります。 さらに、PERCに関連する技術として、洗浄プロセスの最適化や、新たなクリーナーの開発が挙げられます。洗浄プロセスでは、温度や時間、クリーナーの濃度、洗浄順序などが影響を与えます。したがって、これらの要素を適切にコントロールすることで、より効果的な洗浄が実現できます。また、最近の研究では、ナノ粒子やバイオフィルムを利用した新しいクリーナーの開発も進んでいます。これらは、メカニカルな方法では除去できない微細な汚染物質をターゲットにすることができるため、効果が期待されています。 最後に、PERCに関する課題も存在します。例えば、エッチングプロセスの多様化に伴って新たな残留物が生成されることがあり、適切なクリーナーの特定が難しくなることがあります。また、環境規制の厳格化により、従来のクリーナーが使えなくなるケースも増えています。これらの課題を克服するためには、さらなる研究と開発が不可欠です。 PERCは、エッチング後の残留物を効果的に除去するための重要な要素であり、半導体製造における品質と性能を高めるためには欠かせない技術です。エッチング後の洗浄プロセスは、単なる工程の一部ではなく、製品の最終的な性能に直接的な影響を与えるため、その理解と改善が求められています。今後も新たな技術革新を通じて、より効果的で環境に優しいPERCが開発されることが期待されます。 |
