\u76ee\u6b21<\/p>\n
1 \u306f\u3058\u3081\u306b \uff08\u30da\u30fc\u30b8 – 25\uff09
\n1.1 \u7814\u7a76\u76ee\u7684
\n1.2 \u5e02\u5834\u306e\u5b9a\u7fa9
\n1.2.1 \u542b\u307e\u308c\u308b\u3082\u306e\u3068\u9664\u5916\u3055\u308c\u308b\u3082\u306e
\n1.3 \u8abf\u67fb\u7bc4\u56f2
\n1.3.1 \u5e02\u5834\u306e\u7d30\u5206\u5316
\n1.3.2 \u5bfe\u8c61\u5730\u57df
\n1.3.3\u5e74
\n1.4 \u901a\u8ca8
\n1.5\u5358\u4f4d\u3092\u8003\u616e
\n1.6 \u30ea\u30df\u30c3\u30c8
\n1.7 \u5229\u5bb3\u95a2\u4fc2\u8005
\n1.8 \u5909\u66f4\u70b9\u306e\u6982\u8981<\/p>\n
2 \u7814\u7a76\u65b9\u6cd5 \uff08\u30da\u30fc\u30b8 – 31\uff09
\n2.1 \u8abf\u67fb\u30c7\u30fc\u30bf
\n\u56f31 \u84b8\u7740\u5e02\u5834\uff1a\u8abf\u67fb\u30c7\u30b6\u30a4\u30f3
\n2.1.1 \u4e8c\u6b21\u30c7\u30fc\u30bf
\n2.1.1.1 \u4e8c\u6b21\u8cc7\u6599\u304b\u3089\u306e\u4e3b\u8981\u30c7\u30fc\u30bf
\n2.1.2 \u4e00\u6b21\u30c7\u30fc\u30bf
\n2.1.2.1 \u4e00\u6b21\u8cc7\u6599\u304b\u3089\u306e\u4e3b\u8981\u30c7\u30fc\u30bf
\n2.1.2.2 \u4e00\u6b21\u30a4\u30f3\u30bf\u30d3\u30e5\u30fc\u306e\u5185\u8a33
\n2.2 \u57fa\u672c\u756a\u53f7\u306e\u8a08\u7b97
\n2.2.1 \u4f9b\u7d66\u30b5\u30a4\u30c9\u304b\u3089\u306e\u30a2\u30d7\u30ed\u30fc\u30c1
\n2.3 \u5e02\u5834\u898f\u6a21\u306e\u63a8\u5b9a
\n2.3.1 \u30dc\u30c8\u30e0\u30a2\u30c3\u30d7\u30fb\u30a2\u30d7\u30ed\u30fc\u30c1
\n2.3.2 \u30c8\u30c3\u30d7\u30c0\u30a6\u30f3\u30fb\u30a2\u30d7\u30ed\u30fc\u30c1
\n2.4 \u30c7\u30fc\u30bf\u306e\u4e09\u89d2\u6e2c\u91cf
\n\u56f32 \u84b8\u7740\u5e02\u5834\uff1a\u30c7\u30fc\u30bf\u306e\u4e09\u89d2\u6e2c\u91cf
\n2.5 \u524d\u63d0\u6761\u4ef6<\/p>\n
3 \u4e8b\u696d\u6982\u8981 \uff08\u30da\u30fc\u30b8 – 38\uff09
\n\u56f33 CVD\u6280\u8853\u304c\u84b8\u7740\u5e02\u5834\u3092\u652f\u914d\u3059\u308b
\n\u56f34 \u4e88\u6e2c\u671f\u9593\u4e2d\u3001\u96fb\u5b50\u30fb\u534a\u5c0e\u4f53\u304c\u5e02\u5834\u3092\u652f\u914d\u3059\u308b
\n\u56f35 2022\u5e74\u306e\u30a2\u30b8\u30a2\u592a\u5e73\u6d0b\u5730\u57df\u306eLED\u84b8\u7740\u5e02\u5834<\/p>\n
4 \u30d7\u30ec\u30df\u30a2\u30e0\u30fb\u30a4\u30f3\u30b5\u30a4\u30c8 (\u30da\u30fc\u30b8 – 41)
\n4.1 \u84b8\u7740\u5e02\u5834\u306b\u304a\u3051\u308b\u9b45\u529b\u7684\u306a\u6a5f\u4f1a
\n\u56f36 \u30a2\u30b8\u30a2\u592a\u5e73\u6d0b\u5730\u57df\u306f2023\u5e74\u304b\u30892028\u5e74\u306b\u304b\u3051\u3066\u84b8\u7740\u3067\u6700\u3082\u6025\u6210\u9577\u3059\u308b\u5e02\u5834
\n4.2 \u84b8\u7740\u5e02\u5834\uff1a\u4e3b\u8981\u56fd
\n\u56f3 7 \u30c9\u30a4\u30c4\u304c\u4e88\u6e2c\u671f\u9593\u4e2d\u306b\u6700\u3082\u9ad8\u3044 CAGR \u3092\u8a18\u9332\u3059\u308b
\n4.3 \u30a2\u30b8\u30a2\u592a\u5e73\u6d0b\u5730\u57df\uff1a\u84b8\u7740\u5e02\u5834\u3001\u6280\u8853\u30fb\u56fd\u5225
\n\u56f3 8 \u30a2\u30b8\u30a2\u592a\u5e73\u6d0b\u5730\u57df\u306e\u97d3\u56fd\u4e3b\u5c0e\u84b8\u7740\u5e02\u5834<\/p>\n
5 \u5e02\u5834\u6982\u8981\uff08\u30da\u30fc\u30b8 – 43\uff09
\n5.1 \u5c0e\u5165
\n5.2 \u5e02\u5834\u30c0\u30a4\u30ca\u30df\u30af\u30b9
\n\u56f39 \u84b8\u7740\u5e02\u5834\u306b\u304a\u3051\u308b\u4fc3\u9032\u8981\u56e0\u3001\u963b\u5bb3\u8981\u56e0\u3001\u6a5f\u4f1a\u3001\u8ab2\u984c
\n5.2.1 \u30c9\u30e9\u30a4\u30d0\u30fc
\n5.2.1.1 \u534a\u5c0e\u4f53\u7523\u696d\u306e\u6210\u9577
\n\u56f310 \u534a\u5c0e\u4f53\u5e02\u5834\u306e\u6210\u9577\uff082008-2022\u5e74
\n5.2.1.2 \u592a\u967d\u96fb\u6c60\u7523\u696d\u306e\u62e1\u5927\u3068\u9ad8\u6027\u80fd\u30d5\u30a3\u30eb\u30e0\u3078\u306e\u9700\u8981
\n5.2.1.3 \u533b\u7642\u6a5f\u5668\u9700\u8981\u306e\u5897\u52a0
\n5.2.1.4 LED\u6a5f\u5668\u5e02\u5834\u306e\u6210\u9577
\n5.2.1.5 Cr6\u306b\u95a2\u3059\u308b\u74b0\u5883\u898f\u5236
\n5.2.2 \u62d8\u675f
\n5.2.2.1 \u9ad8\u984d\u8a2d\u5099\u6295\u8cc7
\n5.2.2.2 \u30d5\u30a3\u30eb\u30e0\u6c5a\u67d3
\n5.2.3 \u6a5f\u4f1a
\n5.2.3.1 \u6280\u8853\u9769\u65b0\u306b\u3088\u308b\u5fdc\u7528\u5206\u91ce\u306e\u5897\u52a0
\n5.2.3.2 \u767a\u5c55\u9014\u4e0a\u56fd\u306b\u304a\u3051\u308b\u9700\u8981\u306e\u9ad8\u307e\u308a
\n5.2.4 \u8ab2\u984c
\n5.2.4.1 \u8cc7\u683c\u306e\u3042\u308b\u52b4\u50cd\u529b\u306e\u4e0d\u8db3
\n5.2.4.2 \u6280\u8853\u7684\u56f0\u96e3\u3068\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u306e\u8907\u96d1\u3055
\n5.3 \u30dd\u30fc\u30bf\u30fc\u306e5\u3064\u306e\u529b\u5206\u6790
\n\u56f311 \u84b8\u7740\u5e02\u5834\uff1a\u30dd\u30fc\u30bf\u30fc\u306e5\u3064\u306e\u529b\u5206\u6790
\n5.3.1 \u30b5\u30d7\u30e9\u30a4\u30e4\u30fc\u306e\u4ea4\u6e09\u529b
\n5.3.2 \u65b0\u898f\u53c2\u5165\u306e\u8105\u5a01
\n5.3.3 \u4ee3\u66ff\u54c1\u306e\u8105\u5a01
\n5.3.4 \u8cb7\u3044\u624b\u306e\u4ea4\u6e09\u529b
\n5.3.5 \u7af6\u4e89\u76f8\u624b\u306e\u6fc0\u3057\u3055<\/p>\n
6 \u696d\u754c\u52d5\u5411 \uff08\u30da\u30fc\u30b8 – 54\uff09
\n6.1 \u30de\u30af\u30ed\u7d4c\u6e08\u6307\u6a19
\n6.1.1 \u5c0e\u5165
\n6.1.2 GDP\u306e\u52d5\u5411\u3068\u4e88\u6e2c
\n\u88681 \u4e16\u754c\u306eGDP\u6210\u9577\u7387\u4e88\u6e2c\u30012021-2028\u5e74\uff081\u5146\u7c73\u30c9\u30eb\uff09
\n6.1.3 \u4e16\u754c\u306e\u81ea\u52d5\u8eca\u751f\u7523\u3068\u6210\u9577
\n\u88682 \u4e16\u754c\u306e\u81ea\u52d5\u8eca\u751f\u7523\u53f0\u6570\u3068\u6210\u9577\u7387\uff08\u56fd\u5225
\n6.1.4 \u30a4\u30f3\u30d5\u30ec\u7387\u3001\u5e73\u5747\u6d88\u8cbb\u8005\u7269\u4fa1
\n\u88683 \u30a4\u30f3\u30d5\u30ec\u7387\u3001\u5e73\u5747\u6d88\u8cbb\u8005\u7269\u4fa1\uff08\u5e74\u9593\u5909\u52d5\u7387\uff09
\n6.2 \u30d0\u30ea\u30e5\u30fc\u30c1\u30a7\u30fc\u30f3\u5206\u6790
\n\u56f312 \u88c5\u7f6e\u88fd\u9020\u6bb5\u968e\u3067\u306e\u6700\u5927\u4ed8\u52a0\u4fa1\u5024
\n6.3 \u30b5\u30d7\u30e9\u30a4\u30c1\u30a7\u30fc\u30f3\u5206\u6790
\n\u56f3 13 \u84b8\u7740\u5e02\u5834\uff1a\u30b5\u30d7\u30e9\u30a4\u30c1\u30a7\u30fc\u30f3
\n6.4 \u9867\u5ba2\u306e\u30d3\u30b8\u30cd\u30b9\u306b\u5f71\u97ff\u3092\u4e0e\u3048\u308b\u30c8\u30ec\u30f3\u30c9\u3068\u6df7\u4e71
\n\u56f314 \u84b8\u7740\u5e02\u5834\u306e\u53ce\u76ca\u30b7\u30d5\u30c8\u3068\u65b0\u305f\u306a\u53ce\u76ca\u30dd\u30b1\u30c3\u30c8
\n6.5 \u30a8\u30b3\u30b7\u30b9\u30c6\u30e0\u5206\u6790
\n\u56f3 15 \u84b8\u7740\u5e02\u5834\uff1a\u30a8\u30b3\u30b7\u30b9\u30c6\u30e0\u306e\u30de\u30c3\u30d4\u30f3\u30b0
\n\u88684 \u84b8\u7740\u5e02\u5834\uff1a\u4e3b\u8981\u30b9\u30c6\u30fc\u30af\u30db\u30eb\u30c0\u30fc
\n6.6 \u7279\u8a31\u5206\u6790
\n6.6.1 \u5c0e\u5165
\n6.6.2 \u65b9\u6cd5\u8ad6
\n6.6.3 \u6587\u66f8\u30bf\u30a4\u30d7
\n\u88685 \u84b8\u7740\u306e\u7279\u8a31\u7dcf\u6570
\n\u56f316 \u6c17\u76f8\u6210\u9577\u5e02\u5834\u306b\u304a\u3051\u308b\u4ed8\u4e0e\u7279\u8a31\u3068\u7279\u8a31\u51fa\u9858
\n\u56f3 17 \u7279\u8a31\u516c\u958b\u306e\u52d5\u5411\uff082013 \u5e74\uff5e2022 \u5e74\uff09
\n6.6.4 \u30a4\u30f3\u30b5\u30a4\u30c8
\n\u56f3 18 \u7ba1\u8f44\u5730\u57df\u306e\u5206\u6790 (2013-2022)
\n6.6.5 \u4e0a\u4f4d\u4f01\u696d\uff0f\u7533\u8acb\u4f01\u696d
\n\u56f319 \u7279\u8a31\u4ef6\u6570\u306e\u591a\u3044\u4e0a\u4f4d\u4f01\u696d\uff0f\u51fa\u9858\u4eba
\n\u88686 \u84b8\u7740\u306e\u4e3b\u8981\u7279\u8a31\u4e00\u89a7
\n6.7 \u6280\u8853\u5206\u6790
\n6.7.1 \u5316\u5b66\u6c17\u76f8\u6210\u9577\u6cd5
\n6.7.1.1 \u8a98\u5c0e\u7d50\u5408\u30d7\u30e9\u30ba\u30de\u30a8\u30f3\u30cf\u30f3\u30b9\u30c8\u5316\u5b66\u6c17\u76f8\u6210\u9577\u6cd5(ICP-PECVD)
\n6.7.1.2 \u30ab\u30fc\u30dc\u30f3\u30ca\u30ce\u30c1\u30e5\u30fc\u30d6\u7528\u89e6\u5a92\u5316\u5b66\u6c17\u76f8\u6210\u9577\u6cd5(CCVD)
\n6.7.1.3 \u30d1\u30eb\u30b9\u5727\u529b\u6709\u6a5f\u91d1\u5c5eCVD
\n6.7.1.4 \u539f\u5b50\u5c64\u5806\u7a4d\u6cd5\u306e\u9032\u6b69
\n\u88687 \u30a2\u30eb\u30c9\u5fdc\u7528\u306e\u9032\u6b69
\n6.7.1.5 \u30b9\u30d7\u30ec\u30fc\u71b1\u5206\u89e3
\n6.7.2 \u7269\u7406\u7684\u84b8\u7740\u6cd5
\n6.7.2.1 \u30a4\u30aa\u30f3\u30d3\u30fc\u30e0\u30a2\u30b7\u30b9\u30c8\u84b8\u7740\u6cd5(IBAD)
\n6.7.2.2 \u30de\u30b0\u30cd\u30c8\u30ed\u30f3\u30b9\u30d1\u30c3\u30bf\u30ea\u30f3\u30b0
\n6.7.2.3 \u30c7\u30e5\u30a2\u30eb\u30bd\u30fc\u30b9\u7269\u7406\u84b8\u7740\u6cd5
\n6.7.2.4 \u30cf\u30a4\u30d6\u30ea\u30c3\u30c9\u84b8\u7740
\n6.8 \u95a2\u7a0e\u3068\u898f\u5236\u306e\u72b6\u6cc1
\n6.8.1 \u30bf\u30ea\u30d5
\n\u88688 \u7c73\u56fd\u304c\u8f38\u51fa\u3059\u308bHS\u30b3\u30fc\u30c9848620\u306b\u8a72\u5f53\u3059\u308b\u88fd\u54c1\u306e\u6700\u6075\u56fd\uff08MFN\uff09\u95a2\u7a0e\u7387
\n6.9\u898f\u5b9a
\n6.9.1 \u5371\u967a\u7269\u8cea\u306e\u5236\u9650\uff08ROHS\uff09\u6307\u4ee4
\n6.9.2 \u96fb\u5b50\u5ec3\u68c4\u7269
\n6.10 \u57fa\u6e96
\n6.10.1 \u56fd\u969b\u6a19\u6e96\u5316\u6a5f\u69cb\uff08ISO\uff09
\n6.10.2 \u30aa\u30b7\u30e3\u30fb\u30b9\u30bf\u30f3\u30c0\u30fc\u30c9
\n6.11 \u898f\u5236\u6a5f\u95a2\u3001\u653f\u5e9c\u6a5f\u95a2\u3001\u305d\u306e\u4ed6\u306e\u7d44\u7e54
\n\u8868 9 \u84b8\u7740\u5e02\u5834\uff1a\u898f\u5236\u6a5f\u95a2\u3001\u653f\u5e9c\u6a5f\u95a2\u3001\u305d\u306e\u4ed6\u306e\u7d44\u7e54
\n6.12 \u4e3b\u8981\u30b9\u30c6\u30fc\u30af\u30db\u30eb\u30c0\u30fc\u3068\u8cfc\u8cb7\u57fa\u6e96
\n6.12.1 \u8cfc\u5165\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u306b\u304a\u3051\u308b\u4e3b\u306a\u5229\u5bb3\u95a2\u4fc2\u8005
\n\u56f320 \u30b9\u30c6\u30fc\u30af\u30db\u30eb\u30c0\u30fc\u304c\u8cfc\u8cb7\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u306b\u4e0e\u3048\u308b\u5f71\u97ff
\n\u886810 \u84b8\u7740\u306e\u8cfc\u8cb7\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u306b\u304a\u3051\u308b\u5229\u5bb3\u95a2\u4fc2\u8005\u306e\u5f71\u97ff
\n6.12.2 \u8cfc\u5165\u57fa\u6e96
\n\u56f321 \u84b8\u7740\u5e02\u5834\u306b\u304a\u3051\u308b\u4e3b\u306a\u8cfc\u8cb7\u57fa\u6e96
\n\u886811 \u84b8\u7740\u5e02\u5834\u306b\u304a\u3051\u308b\u4e3b\u306a\u8cfc\u8cb7\u57fa\u6e96
\n6.13 \u8cbf\u6613\u5206\u6790
\n\u886812 \u4e3b\u8981\u56fd\u306e\u534a\u5c0e\u4f53\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u307e\u305f\u306f\u96fb\u5b50\u96c6\u7a4d\u56de\u8def\u88fd\u9020\u7528\u6a5f\u68b0\u30fb\u88c5\u7f6e\u8f38\u51fa\u984d\uff082022\u5e74\uff09\uff0810\u5104\u7c73\u30c9\u30eb
\n\u886813 \u4e3b\u8981\u56fd\u306e\u534a\u5c0e\u4f53\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u307e\u305f\u306f\u96fb\u5b50\u96c6\u7a4d\u56de\u8def\u88fd\u9020\u7528\u6a5f\u68b0\u30fb\u88c5\u7f6e\u8f38\u5165\u984d\uff082022\u5e74\uff09\uff08\u5104\u7c73\u30c9\u30eb
\n6.14 \u30b1\u30fc\u30b9\u30b9\u30bf\u30c7\u30a3\u5206\u6790
\n6.14.1 \u30a4\u30bf\u30ea\u30a2\u306e\u4e2d\u5c0f\u4f01\u696d\u306f\u6280\u8853\u9769\u65b0\u306b\u6295\u8cc7\u3057\u3066\u3044\u308b
\n6.14.2 \u30c7\u30eb\u30d5\u30a1\u30a4\u30fb\u30a4\u30f3\u30b8\u30a7\u30af\u30bf\u30fc\u7528\u975e\u5c0e\u96fb\u6027\u30b3\u30fc\u30c6\u30a3\u30f3\u30b0
\n6.14.3 vsimpd\u306e\u30b1\u30fc\u30b9\u30b9\u30bf\u30c7\u30a3
\n6.14.4 \u539f\u5b50\u5c64\u5806\u7a4d\u6cd5\u3068\u5316\u5b66\u6c17\u76f8\u6210\u9577\u6cd5\u306e\u30da\u30ed\u30d6\u30b9\u30ab\u30a4\u30c8\u592a\u967d\u96fb\u6c60\u3078\u306e\u5fdc\u7528
\n6.15 \u4e3b\u8981\u4f1a\u8b70\uff06\u30a4\u30d9\u30f3\u30c8
\n\u886814 \u84b8\u7740\u5e02\u5834\uff1a\u4f1a\u8b70\u30fb\u30a4\u30d9\u30f3\u30c8\u306e\u8a73\u7d30\u30ea\u30b9\u30c8\uff082023-2024\u5e74
\n6.16 \u4fa1\u683c\u5206\u6790<\/p>\n
7 \u84b8\u6c17\u30c7\u30dd\u30b8\u30b7\u30e7\u30f3\u5e02\u5834\uff1a\u6280\u8853\u5225\uff08\u30da\u30fc\u30b8\u756a\u53f7 – 83\uff09
\n7.1 \u306f\u3058\u3081\u306b
\n\u56f3 22 \u4e88\u6e2c\u671f\u9593\u4e2d\u3001\u5316\u5b66\u84b8\u7740\u304c\u84b8\u7740\u5e02\u5834\u5168\u4f53\u3092\u30ea\u30fc\u30c9\u3059\u308b
\n\u8868 15 \u84b8\u7740\u5e02\u5834\u3001\u6280\u8853\u5225\u30012021\uff5e2028 \u5e74\uff08\u767e\u4e07\u7c73\u30c9\u30eb\uff09
\n7.2 \u7269\u7406\u84b8\u7740
\n7.2.1 \u88c5\u98fe\u3001\u81ea\u52d5\u8eca\u3001\u533b\u7642\u7528\u9014\u3067\u306e\u9700\u8981\u306e\u5897\u52a0\u304c\u5e02\u5834\u3092\u727d\u5f15\u3059\u308b
\n7.2.2 \u30ab\u30bd\u30fc\u30c9\u30a2\u30fc\u30af\u84b8\u7740
\n7.2.3 \u96fb\u5b50\u30d3\u30fc\u30e0PVD
\n7.2.4 \u30de\u30b0\u30cd\u30c8\u30ed\u30f3\u30b9\u30d1\u30c3\u30bf\u30ea\u30f3\u30b0\u84b8\u7740
\n7.2.5 \u305d\u306e\u4ed6
\n7.3 \u5316\u5b66\u84b8\u7740
\n7.3.1 \u4e88\u6e2c\u671f\u9593\u4e2d\u3001cvd\u306f\u3088\u308a\u5927\u304d\u304f\u3001\u3088\u308a\u6025\u901f\u306b\u6210\u9577\u3059\u308b\u6280\u8853\u306b\u306a\u308b
\n7.3.2 \u4f4e\u5727CVD
\n7.3.3 \u5927\u6c17\u5727CVD
\n7.3.4 \u30d7\u30e9\u30ba\u30de\u30a8\u30f3\u30cf\u30f3\u30b9\u30c8CVD
\n7.3.5 \u6709\u6a5f\u91d1\u5c5eCVD
\n7.3.6 \u305d\u306e\u4ed6<\/p>\n
8 \u84b8\u6c17\u30c7\u30dd\u30b8\u30b7\u30e7\u30f3\u5e02\u5834\uff1a\u6700\u7d42\u7528\u9014\u7523\u696d\u5225\uff08\u30da\u30fc\u30b8\u756a\u53f7 – 92\uff09
\n8.1 \u5c0e\u5165
\n\u56f3 23 \u4e88\u6e2c\u671f\u9593\u4e2d\u3001\u96fb\u5b50\u30fb\u534a\u5c0e\u4f53\u5206\u91ce\u304c\u84b8\u7740\u5e02\u5834\u3092\u652f\u914d\u3059\u308b
\n\u886816 \u84b8\u7740\u5e02\u5834\u3001\u6700\u7d42\u7528\u9014\u7523\u696d\u5225\u30012021-2028\u5e74\uff08\u767e\u4e07\u7c73\u30c9\u30eb\uff09
\n8.2 \u96fb\u5b50\u30fb\u534a\u5c0e\u4f53
\n8.2.1 \u6280\u8853\u7684\u9032\u6b69\u304c\u84b8\u7740\u5e02\u5834\u306b\u62cd\u8eca\u3092\u304b\u3051\u308b
\n8.3 \u81ea\u52d5\u8eca
\n8.3.1 \u30a8\u30f3\u30b8\u30f3\u52b9\u7387\u306e\u6539\u5584\u9700\u8981\u3068\u96fb\u6c17\u81ea\u52d5\u8eca\u306e\u53f0\u982d\u304c\u5e02\u5834\u3092\u727d\u5f15\u3059\u308b
\n8.4 \u822a\u7a7a\u5b87\u5b99\u30fb\u9632\u885b
\n8.4.1 \u30bb\u30e9\u30df\u30c3\u30af\u57fa\u8907\u5408\u6750\u6599\u306e\u3088\u3046\u306a\u4f4e\u71c3\u8cbb\u3067\u4fe1\u983c\u6027\u306e\u9ad8\u3044\u6750\u6599\u304c\u9700\u8981\u3092\u727d\u5f15\u3059\u308b
\n8.5 \u30a8\u30cd\u30eb\u30ae\u30fc\u3068\u96fb\u529b
\n8.5.1 \u518d\u751f\u53ef\u80fd\u30a8\u30cd\u30eb\u30ae\u30fc\u3078\u306e\u50be\u659c\u304c\u5e02\u5834\u306e\u6210\u9577\u3092\u4fc3\u9032\u3059\u308b
\n8.6 \u533b\u7642\u30fb\u30d8\u30eb\u30b9\u30b1\u30a2
\n8.6.1 \u9ad8\u9f62\u5316\u3068\u30a4\u30f3\u30d7\u30e9\u30f3\u30c8\u6027\u80fd\u5411\u4e0a\u3078\u306e\u30cb\u30fc\u30ba\u304c\u5e02\u5834\u6210\u9577\u3092\u652f\u3048\u308b
\n8.7 \u30d1\u30c3\u30b1\u30fc\u30b8\u30f3\u30b0
\n8.7.1 \u6301\u7d9a\u53ef\u80fd\u306a\u5305\u88c5\u306b\u5bfe\u3059\u308b\u610f\u8b58\u306e\u9ad8\u307e\u308a\u3068\u53b3\u3057\u3044\u898f\u5236\u304c\u9700\u8981\u3092\u62bc\u3057\u4e0a\u3052\u308b
\n8.8 \u5149\u5b66\uff06\u30aa\u30d7\u30c8\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30cb\u30af\u30b9
\n8.8.1 \u5c0f\u578b\u5316\u306b\u304a\u3051\u308b\u7cbe\u5ea6\u306e\u5fc5\u8981\u6027\u3068\u6ca1\u5165\u578b\u6280\u8853\u306e\u53f0\u982d\u304c\u9700\u8981\u3092\u4fc3\u9032\u3059\u308b
\n8.9 \u5207\u524a\u5de5\u5177\u304a\u3088\u3073\u6469\u8017\u90e8\u54c1
\n8.9.1 \u9ad8\u6027\u80fd\u3067\u8010\u4e45\u6027\u306e\u3042\u308b\u30c4\u30fc\u30eb\u3078\u306e\u9700\u8981\u306e\u9ad8\u307e\u308a\u304c\u84b8\u7740\u6280\u8853\u306e\u63a1\u7528\u306b\u62cd\u8eca\u3092\u304b\u3051\u308b
\n8.10 \u305d\u306e\u4ed6<\/p>\n
9 \u84b8\u6c17\u30c7\u30dd\u30b8\u30b7\u30e7\u30f3\u5e02\u5834\uff1a\u5730\u57df\u5225\uff08\u30da\u30fc\u30b8\u6570 – 100\uff09
\n9.1 \u306f\u3058\u3081\u306b
\n\u56f3 24 \u30a2\u30b8\u30a2\u592a\u5e73\u6d0b\u5730\u57df\u304c\u6700\u3082\u6025\u6210\u9577\u3059\u308b\u84b8\u7740\u5e02\u5834
\n\u8868 17 \u84b8\u7740\u5e02\u5834\u3001\u5730\u57df\u5225\u30012021-2028 \u5e74\uff08\u767e\u4e07\u7c73\u30c9\u30eb\uff09
\n9.2 \u5317\u7c73
\n\u56f3 25 \u5317\u7c73\uff1a\u84b8\u7740\u5e02\u5834\u306e\u30b9\u30ca\u30c3\u30d7\u30b7\u30e7\u30c3\u30c8
\n\u886818 \u5317\u7c73\uff1a\u84b8\u7740\u5e02\u5834\uff1a\u56fd\u5225\u30012021\u5e74\uff5e2028\u5e74\uff08\u767e\u4e07\u7c73\u30c9\u30eb\uff09
\n\u8868 19 \u5317\u7c73\uff1a\u84b8\u7740\u5e02\u5834\u3001\u6280\u8853\u5225\u30012021\uff5e2028 \u5e74\uff08\u767e\u4e07\u7c73\u30c9\u30eb\uff09
\n\u8868 20 \u5317\u7c73\uff1a\u84b8\u7740\u5e02\u5834\u3001\u6700\u7d42\u7528\u9014\u7523\u696d\u5225\u30012021 \u5e74\uff5e2028 \u5e74\uff08\u767e\u4e07\u7c73\u30c9\u30eb\uff09
\n9.2.1 \u7c73\u56fd
\n9.2.1.1 \u518d\u751f\u53ef\u80fd\u30a8\u30cd\u30eb\u30ae\u30fc\u3078\u306e\u9700\u8981\u306e\u9ad8\u307e\u308a\u304c\u5e02\u5834\u3092\u62bc\u3057\u4e0a\u3052\u308b
\n\u886821 \u7c73\u56fd\uff1a\u84b8\u7740\u5e02\u5834\u3001\u6280\u8853\u5225\u30012021\uff5e2028\u5e74\uff08\u767e\u4e07\u7c73\u30c9\u30eb\uff09
\n\u886822 \u7c73\u56fd\uff1a\u84b8\u7740\u5e02\u5834\uff1a\u6700\u7d42\u7528\u9014\u7523\u696d\u5225 2021-2028 (\u767e\u4e07\u7c73\u30c9\u30eb)
\n9.2.2 \u30ab\u30ca\u30c0
\n9.2.2.1 \u5e02\u5834\u6210\u9577\u3092\u652f\u3048\u308b\u653f\u5e9c\u6295\u8cc7
\n\u886823 \u30ab\u30ca\u30c0\uff1a\u84b8\u7740\u5e02\u5834\u3001\u6280\u8853\u5225\u30012021\uff5e2028\u5e74\uff08\u767e\u4e07\u7c73\u30c9\u30eb\uff09
\n\u886824 \u30ab\u30ca\u30c0\uff1a\u84b8\u7740\u5e02\u5834\uff1a\u6700\u7d42\u7528\u9014\u7523\u696d\u5225 2021-2028 (\u767e\u4e07\u7c73\u30c9\u30eb)
\n9.2.3 \u30e1\u30ad\u30b7\u30b3
\n9.2.3.1 \u653f\u5e9c\u306e\u30a4\u30cb\u30b7\u30a2\u30c1\u30d6\u3068\u592a\u967d\u5149\u767a\u96fb\u306e\u5897\u52a0\u304c\u5e02\u5834\u306e\u6210\u9577\u3092\u4fc3\u9032\u3059\u308b
\n\u886825 \u30e1\u30ad\u30b7\u30b3\uff1a\u84b8\u7740\u5e02\u5834\uff1a\u6280\u8853\u5225 2021-2028 (\u767e\u4e07\u7c73\u30c9\u30eb)
\n\u886826 \u30e1\u30ad\u30b7\u30b3\uff1a\u84b8\u7740\u5e02\u5834\uff1a\u6700\u7d42\u7528\u9014\u7523\u696d\u5225 2021-2028 (\u767e\u4e07\u7c73\u30c9\u30eb)
\n9.3 \u30e8\u30fc\u30ed\u30c3\u30d1
\n\u8868 27 \u6b27\u5dde\uff1a\u84b8\u7740\u5e02\u5834\u3001\u56fd\u5225\u30012021\uff5e2028 \u5e74\uff08\u767e\u4e07\u7c73\u30c9\u30eb\uff09
\n\u8868 28 \u6b27\u5dde\uff1a\u84b8\u7740\u5e02\u5834\u3001\u6280\u8853\u5225\u30012021\uff5e2028 \u5e74\uff08\u767e\u4e07\u7c73\u30c9\u30eb\uff09
\n\u8868 29 \u6b27\u5dde\uff1a\u84b8\u7740\u5e02\u5834\uff1a2021\uff5e2028 \u5e74\uff08\u767e\u4e07\u7c73\u30c9\u30eb\uff09\uff1a\u6700\u7d42\u7528\u9014\u7523\u696d\u5225
\n9.3.1 \u6b27\u5dde\u4e0d\u6cc1\u306e\u5f71\u97ff
\n9.3.2 \u30c9\u30a4\u30c4
\n9.3.2.1 \u653f\u5e9c\u306e\u7a4d\u6975\u7684\u306a\u53d6\u308a\u7d44\u307f\u3068\u81ea\u52d5\u8eca\u30fb\u534a\u5c0e\u4f53\u7523\u696d\u306e\u5b58\u5728\u304c\u5e02\u5834\u3092\u727d\u5f15
\n\u886830 \u30c9\u30a4\u30c4\uff1a\u84b8\u7740\u5e02\u5834\u3001\u6280\u8853\u5225\u30012021\uff5e2028\u5e74\uff08\u767e\u4e07\u7c73\u30c9\u30eb\uff09
\n\u8868 31 \u30c9\u30a4\u30c4\uff1a\u84b8\u7740\u5e02\u5834\uff1a\u6700\u7d42\u7528\u9014\u7523\u696d\u5225 2021-2028 (\u767e\u4e07\u7c73\u30c9\u30eb)
\n9.3.3 \u82f1\u56fd
\n9.3.3.1 \u5805\u8abf\u306a\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30cb\u30af\u30b9\u7523\u696d\u304c\u84b8\u7740\u6280\u8853\u306e\u9700\u8981\u3092\u727d\u5f15\u3059\u308b
\n\u8868 32 \u82f1\u56fd\uff1a\u84b8\u7740\u5e02\u5834\uff1a\u6280\u8853\u5225 2021-2028 (\u767e\u4e07\u7c73\u30c9\u30eb)
\n\u8868 33 \u82f1\u56fd\uff1a\u84b8\u7740\u5e02\u5834\uff1a\u6700\u7d42\u7528\u9014\u7523\u696d\u5225 2021-2028 (\u767e\u4e07\u7c73\u30c9\u30eb)
\n9.3.4 \u30d5\u30e9\u30f3\u30b9
\n9.3.4.1 \u5148\u7aef\u90e8\u54c1\u306e\u63a1\u7528\u62e1\u5927\u3068IC\u304a\u3088\u3073\u30c8\u30e9\u30f3\u30b8\u30b9\u30bf\u306e\u9700\u8981\u5897\u52a0\u304c\u9700\u8981\u3092\u727d\u5f15
\n\u8868 34 \u30d5\u30e9\u30f3\u30b9\uff1a\u84b8\u7740\u5e02\u5834\u3001\u6280\u8853\u5225\u30012021\uff5e2028 \u5e74\uff08\u767e\u4e07\u7c73\u30c9\u30eb\uff09
\n\u8868 35 \u30d5\u30e9\u30f3\u30b9\uff1a\u84b8\u7740\u5e02\u5834\uff1a\u6700\u7d42\u7528\u9014\u7523\u696d\u5225 2021-2028 (\u767e\u4e07\u7c73\u30c9\u30eb)
\n9.3.5 \u30a4\u30bf\u30ea\u30a2
\n9.3.5.1 \u534a\u5c0e\u4f53\u7523\u696d\u306e\u529b\u5f37\u3044\u6210\u9577\u304c\u84b8\u7740\u88c5\u7f6e\u306e\u9700\u8981\u3092\u4fc3\u9032\u3059\u308b
\n\u8868 36 \u30a4\u30bf\u30ea\u30a2\uff1a\u84b8\u7740\u5e02\u5834\u3001\u6280\u8853\u5225\u30012021\uff5e2028 \u5e74\uff08\u767e\u4e07\u7c73\u30c9\u30eb\uff09
\n\u8868 37 \u30a4\u30bf\u30ea\u30a2\uff1a\u84b8\u7740\u5e02\u5834\uff1a\u6700\u7d42\u7528\u9014\u7523\u696d\u5225 2021-2028 (\u767e\u4e07\u7c73\u30c9\u30eb)
\n9.3.6 \u30ed\u30b7\u30a2
\n9.3.6.1 \u62e1\u5927\u3059\u308b\u81ea\u52d5\u8eca\u7523\u696d\u3068\u534a\u5c0e\u4f53\u7523\u696d\u304c\u5e02\u5834\u3092\u727d\u5f15\u3059\u308b
\n\u8868 38 \u30ed\u30b7\u30a2\uff1a\u84b8\u7740\u5e02\u5834\uff1a\u6280\u8853\u5225 2021-2028 (\u767e\u4e07\u7c73\u30c9\u30eb)
\n\u8868 39 \u30ed\u30b7\u30a2\uff1a\u84b8\u7740\u5e02\u5834\uff1a\u6700\u7d42\u7528\u9014\u7523\u696d\u5225 2021-2028 (\u767e\u4e07\u7c73\u30c9\u30eb)
\n9.3.7 \u305d\u306e\u4ed6\u306e\u30e8\u30fc\u30ed\u30c3\u30d1
\n\u8868 40 \u305d\u306e\u4ed6\u306e\u30e8\u30fc\u30ed\u30c3\u30d1\uff1a\u84b8\u7740\u5e02\u5834\uff1a\u6280\u8853\u5225\u30012021\uff5e2028\u5e74\uff08\u767e\u4e07\u7c73\u30c9\u30eb\uff09
\n\u8868 41 \u305d\u306e\u4ed6\u306e\u30e8\u30fc\u30ed\u30c3\u30d1\uff1a\u84b8\u7740\u5e02\u5834\uff1a\u6700\u7d42\u7528\u9014\u7523\u696d\u5225 2021-2028 (\u767e\u4e07\u7c73\u30c9\u30eb)
\n9.4 \u30a2\u30b8\u30a2\u592a\u5e73\u6d0b
\n9.4.1 \u30a2\u30b8\u30a2\u592a\u5e73\u6d0b\u5730\u57df\u3078\u306e\u666f\u6c17\u5f8c\u9000\u306e\u5f71\u97ff
\n\u56f3 26 \u30a2\u30b8\u30a2\u592a\u5e73\u6d0b\uff1a\u84b8\u7740\u5e02\u5834\u30b9\u30ca\u30c3\u30d7\u30b7\u30e7\u30c3\u30c8
\n\u886842 \u30a2\u30b8\u30a2\u592a\u5e73\u6d0b\u5730\u57df\uff1a\u84b8\u7740\u5e02\u5834\u3001\u56fd\u5225\u30012021\u5e74\uff5e2028\u5e74\uff08\u767e\u4e07\u7c73\u30c9\u30eb\uff09
\n\u8868 43 \u30a2\u30b8\u30a2\u592a\u5e73\u6d0b\u5730\u57df\uff1a\u84b8\u7740\u5e02\u5834\u3001\u6280\u8853\u5225\u30012021\uff5e2028 \u5e74\uff08\u767e\u4e07\u7c73\u30c9\u30eb\uff09
\n\u886844 \u30a2\u30b8\u30a2\u592a\u5e73\u6d0b\u5730\u57df\uff1a\u84b8\u7740\u5e02\u5834\u3001\u6700\u7d42\u7528\u9014\u7523\u696d\u5225\u30012021\u5e74\uff5e2028\u5e74\uff08\u767e\u4e07\u7c73\u30c9\u30eb\uff09
\n9.4.2 \u97d3\u56fd
\n9.4.2.1 \u534a\u5c0e\u4f53\u88fd\u9020\u80fd\u529b\u306e\u9ad8\u3055\u3068IDM\u306e\u5b58\u5728\u304c\u9700\u8981\u3092\u62bc\u3057\u4e0a\u3052\u308b
\n\u8868 45 \u97d3\u56fd\uff1a\u84b8\u7740\u5e02\u5834\uff1a\u6280\u8853\u5225 2021-2028 (\u767e\u4e07\u7c73\u30c9\u30eb)
\n\u8868 46 \u97d3\u56fd\uff1a\u84b8\u7740\u5e02\u5834\uff1a\u6700\u7d42\u7528\u9014\u7523\u696d\u5225 2021-2028 (\u767e\u4e07\u7c73\u30c9\u30eb)
\n9.4.3 \u65e5\u672c
\n9.4.3.1 \u5805\u8abf\u306a\u96fb\u5b50\u30fb\u534a\u5c0e\u4f53\u7523\u696d\u304c\u84b8\u7740\u5e02\u5834\u3092\u727d\u5f15\u3059\u308b
\n\u8868 47 \u65e5\u672c\uff1a\u84b8\u7740\u5e02\u5834\u3001\u6280\u8853\u5225\u30012021-2028 \u5e74\uff08\u767e\u4e07\u7c73\u30c9\u30eb\uff09
\n\u886848 \u65e5\u672c\uff1a\u84b8\u7740\u5e02\u5834\uff1a2021-2028\u5e74\uff08\u767e\u4e07\u7c73\u30c9\u30eb\uff09\uff1a\u6700\u7d42\u7528\u9014\u7523\u696d\u5225
\n9.4.4 \u4e2d\u56fd
\n9.4.4.1 \u653f\u5e9c\u306e\u597d\u610f\u7684\u306a\u53d6\u308a\u7d44\u307f\u3068\u5b89\u4fa1\u306a\u52b4\u50cd\u529b\u306e\u78ba\u4fdd\u304c\u5e02\u5834\u3092\u727d\u5f15\u3059\u308b
\n\u8868 49 \u4e2d\u56fd\uff1a\u84b8\u7740\u5e02\u5834\uff1a\u6280\u8853\u5225 2021-2028 (\u767e\u4e07\u7c73\u30c9\u30eb)
\n\u886850 \u4e2d\u56fd\uff1a\u84b8\u7740\u5e02\u5834\uff1a\u6700\u7d42\u7528\u9014\u7523\u696d\u5225 2021-2028 (\u767e\u4e07\u7c73\u30c9\u30eb)
\n9.4.5 \u30a4\u30f3\u30c9
\n9.4.5.1 \u534a\u5c0e\u4f53\u7523\u696d\u3078\u306e\u6295\u8cc7\u306e\u5897\u52a0\u304c\u5e02\u5834\u6210\u9577\u3092\u62bc\u3057\u4e0a\u3052\u308b
\n\u8868 51 \u30a4\u30f3\u30c9\uff1a\u84b8\u7740\u5e02\u5834\uff1a\u6280\u8853\u5225 2021-2028 (\u767e\u4e07\u7c73\u30c9\u30eb)
\n\u8868 52 \u30a4\u30f3\u30c9\uff1a\u84b8\u7740\u5e02\u5834\uff1a\u6700\u7d42\u7528\u9014\u7523\u696d\u5225 2021-2028 (\u767e\u4e07\u7c73\u30c9\u30eb)
\n9.4.6 \u30d9\u30c8\u30ca\u30e0
\n9.4.6.1 \u534a\u5c0e\u4f53\u7523\u696d\u306e\u6210\u9577\u304c\u9700\u8981\u3092\u523a\u6fc0\u3059\u308b
\n\u8868 53 \u30d9\u30c8\u30ca\u30e0\uff1a\u84b8\u7740\u5e02\u5834\uff1a\u6280\u8853\u5225 2021-2028 (\u767e\u4e07\u7c73\u30c9\u30eb)
\n\u8868 54 \u30d9\u30c8\u30ca\u30e0\uff1a\u84b8\u7740\u5e02\u5834\uff1a\u6700\u7d42\u7528\u9014\u7523\u696d\u5225 2021-2028 (\u767e\u4e07\u7c73\u30c9\u30eb)
\n9.4.7 \u305d\u306e\u4ed6\u306e\u30a2\u30b8\u30a2\u592a\u5e73\u6d0b\u5730\u57df
\n\u886855 \u305d\u306e\u4ed6\u306e\u30a2\u30b8\u30a2\u592a\u5e73\u6d0b\u5730\u57df\uff1a\u84b8\u7740\u5e02\u5834\u3001\u6280\u8853\u5225\u30012021\u5e74\uff5e2028\u5e74\uff08\u767e\u4e07\u7c73\u30c9\u30eb\uff09
\n\u886856 \u305d\u306e\u4ed6\u306e\u30a2\u30b8\u30a2\u592a\u5e73\u6d0b\u5730\u57df\uff1a\u84b8\u7740\u5e02\u5834\uff1a\u6700\u7d42\u7528\u9014\u7523\u696d\u5225 2021-2028 (\u767e\u4e07\u7c73\u30c9\u30eb)
\n9.5 \u4e2d\u6771\u30fb\u30a2\u30d5\u30ea\u30ab
\n\u8868 57 \u4e2d\u6771\u30fb\u30a2\u30d5\u30ea\u30ab\uff1a\u84b8\u7740\u5e02\u5834\uff1a\u56fd\u5225 2021-2028 (\u767e\u4e07\u7c73\u30c9\u30eb)
\n\u8868 58 \u4e2d\u6771\u30fb\u30a2\u30d5\u30ea\u30ab\uff1a\u84b8\u7740\u5e02\u5834\u3001\u6280\u8853\u5225\u30012021\uff5e2028 \u5e74\uff08\u767e\u4e07\u7c73\u30c9\u30eb\uff09
\n\u8868 59 \u4e2d\u6771\u30fb\u30a2\u30d5\u30ea\u30ab\uff1a\u84b8\u7740\u5e02\u5834\uff1a\u6700\u7d42\u7528\u9014\u7523\u696d\u5225 2021-2028 (\u767e\u4e07\u7c73\u30c9\u30eb)
\n9.5.1 \u4e2d\u6771\u30fb\u30a2\u30d5\u30ea\u30ab\u3078\u306e\u666f\u6c17\u5f8c\u9000\u306e\u5f71\u97ff
\n9.5.2 \u30b5\u30a6\u30b8\u30a2\u30e9\u30d3\u30a2
\n9.5.2.1 \u534a\u5c0e\u4f53\u7523\u696d\u306e\u6210\u9577\u3068\u653f\u5e9c\u306e\u30a4\u30f3\u30bb\u30f3\u30c6\u30a3\u30d6\u304c\u9700\u8981\u3092\u4fc3\u9032\u3059\u308b
\n\u8868 60 \u30b5\u30a6\u30b8\u30a2\u30e9\u30d3\u30a2\uff1a\u84b8\u7740\u5e02\u5834\uff1a\u6280\u8853\u5225 2021-2028 (\u767e\u4e07\u7c73\u30c9\u30eb)
\n\u8868 61 \u30b5\u30a6\u30b8\u30a2\u30e9\u30d3\u30a2\uff1a\u84b8\u7740\u5e02\u5834\uff1a\u6700\u7d42\u7528\u9014\u7523\u696d\u5225 2021-2028 (\u767e\u4e07\u7c73\u30c9\u30eb)
\n9.5.3 \u30a8\u30b8\u30d7\u30c8
\n9.5.3.1 \u5e02\u5834\u306e\u6210\u9577\u3092\u652f\u3048\u308b\u653f\u5e9c\u306e\u30a4\u30cb\u30b7\u30a2\u30c6\u30a3\u30d6\u3068\u5805\u8abf\u306aICT\u30bb\u30af\u30bf\u30fc
\n\u8868 62 \u30a8\u30b8\u30d7\u30c8\uff1a\u84b8\u7740\u5e02\u5834\uff1a\u6280\u8853\u5225 2021-2028 (\u767e\u4e07\u7c73\u30c9\u30eb)
\n\u8868 63 \u30a8\u30b8\u30d7\u30c8\uff1a\u84b8\u7740\u5e02\u5834\uff1a\u6700\u7d42\u7528\u9014\u7523\u696d\u5225 2021-2028 (\u767e\u4e07\u7c73\u30c9\u30eb)
\n9.5.4 \u5357\u30a2\u30d5\u30ea\u30ab
\n9.5.4.1 \u5148\u7aef\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30cb\u30af\u30b9\u3001\u81ea\u52d5\u8eca\u7528\u5857\u6599\u3001\u30d8\u30eb\u30b9\u30b1\u30a2\u6750\u6599\u3078\u306e\u9700\u8981\u62e1\u5927\u304c\u5e02\u5834\u3092\u6d3b\u6027\u5316\u3059\u308b
\n\u8868 64 \u5357\u30a2\u30d5\u30ea\u30ab\uff1a\u84b8\u7740\u5e02\u5834\uff1a\u6280\u8853\u5225 2021-2028 (\u767e\u4e07\u7c73\u30c9\u30eb)
\n\u8868 65 \u5357\u30a2\u30d5\u30ea\u30ab\uff1a\u84b8\u7740\u5e02\u5834\uff1a\u6700\u7d42\u7528\u9014\u7523\u696d\u5225 2021-2028 (\u767e\u4e07\u7c73\u30c9\u30eb)
\n9.5.5 \u305d\u306e\u4ed6\u306e\u4e2d\u6771\u30fb\u30a2\u30d5\u30ea\u30ab\u5730\u57df
\n\u8868 66 \u305d\u306e\u4ed6\u306e\u4e2d\u6771\u30fb\u30a2\u30d5\u30ea\u30ab\u5730\u57df\uff1a\u84b8\u7740\u5e02\u5834\uff1a\u6280\u8853\u5225\u30012021\u5e74\uff5e2028\u5e74\uff08\u767e\u4e07\u7c73\u30c9\u30eb\uff09
\n\u8868 67 \u305d\u306e\u4ed6\u306e\u4e2d\u6771\u30fb\u30a2\u30d5\u30ea\u30ab\uff1a\u84b8\u7740\u5e02\u5834\uff1a2021\uff5e2028\u5e74\uff08\u767e\u4e07\u7c73\u30c9\u30eb\uff09\uff1a\u6700\u7d42\u7528\u9014\u7523\u696d\u5225
\n9.6 \u5357\u7c73
\n\u8868 68 \u5357\u7c73\uff1a\u84b8\u7740\u5e02\u5834 \u56fd\u5225 2021-2028 (\u767e\u4e07\u7c73\u30c9\u30eb)
\n\u8868 69 \u5357\u7c73\uff1a\u84b8\u7740\u5e02\u5834\uff1a\u6280\u8853\u5225 2021-2028 (\u767e\u4e07\u7c73\u30c9\u30eb)
\n\u8868 70 \u5357\u7c73\uff1a\u84b8\u7740\u5e02\u5834\uff1a\u6700\u7d42\u7528\u9014\u7523\u696d\u5225 2021-2028 (\u767e\u4e07\u7c73\u30c9\u30eb)
\n9.6.1 \u5357\u7c73\u306b\u304a\u3051\u308b\u666f\u6c17\u5f8c\u9000\u306e\u5f71\u97ff
\n9.6.2 \u30d6\u30e9\u30b8\u30eb
\n9.6.2.1 \u7d4c\u6e08\u306e\u6539\u5584\u3068\u653f\u5e9c\u306e\u53d6\u308a\u7d44\u307f\u304c\u5e02\u5834\u3092\u727d\u5f15\u3059\u308b
\n\u8868 71 \u30d6\u30e9\u30b8\u30eb\uff1a\u84b8\u7740\u5e02\u5834\uff1a\u6280\u8853\u5225 2021-2028 (\u767e\u4e07\u7c73\u30c9\u30eb)
\n\u8868 72 \u30d6\u30e9\u30b8\u30eb\uff1a\u84b8\u7740\u5e02\u5834\uff1a\u6700\u7d42\u7528\u9014\u7523\u696d\u5225 2021-2028 (\u767e\u4e07\u7c73\u30c9\u30eb)
\n9.6.3 \u30a2\u30eb\u30bc\u30f3\u30c1\u30f3
\n9.6.3.1 \u518d\u751f\u53ef\u80fd\u30a8\u30cd\u30eb\u30ae\u30fc\u3078\u306e\u53d6\u308a\u7d44\u307f\u304c\u84b8\u7740\u9700\u8981\u3092\u62bc\u3057\u4e0a\u3052\u308b
\n\u8868 73 \u30a2\u30eb\u30bc\u30f3\u30c1\u30f3\uff1a\u84b8\u7740\u5e02\u5834\uff1a\u6280\u8853\u5225 2021-2028 (\u767e\u4e07\u7c73\u30c9\u30eb)
\n\u8868 74 \u30a2\u30eb\u30bc\u30f3\u30c1\u30f3\uff1a\u84b8\u7740\u5e02\u5834\uff1a\u6700\u7d42\u7528\u9014\u7523\u696d\u5225 2021-2028 (\u767e\u4e07\u7c73\u30c9\u30eb)
\n9.6.4 \u305d\u306e\u4ed6\u306e\u5357\u7c73\u8af8\u56fd
\n\u8868 75 \u5357\u7c73\u306e\u305d\u306e\u4ed6\u5730\u57df\uff1a\u84b8\u7740\u5e02\u5834\uff1a\u6280\u8853\u5225\u30012021\uff5e2028\u5e74\uff08\u767e\u4e07\u7c73\u30c9\u30eb\uff09
\n\u8868 76 \u5357\u7c73\u306e\u305d\u306e\u4ed6\u5730\u57df\uff1a\u84b8\u7740\u5e02\u5834\uff1a\u6700\u7d42\u7528\u9014\u7523\u696d\u5225 2021-2028 (\u767e\u4e07\u7c73\u30c9\u30eb)<\/p>\n
10 \u7af6\u4e89\u529b\u306e\u3042\u308b\u666f\u89b3 (\u30da\u30fc\u30b8 – 149)
\n10.1 \u6982\u8981
\n\u8868 77 \u4e3b\u8981\u4f01\u696d\u304c\u4e88\u6e2c\u671f\u9593\u4e2d\u306b\u63a1\u7528\u3057\u305f\u6226\u7565
\n10.2 \u4e3b\u8981\u4f01\u696d\u306e\u53ce\u76ca\u5206\u6790
\n\u56f327 \u84b8\u7740\u5e02\u5834\u306e\u4e3b\u8981\u4f01\u696d\u306e\u53ce\u76ca\u5206\u6790
\n10.3 \u5e02\u5834\u30b7\u30a7\u30a2\u5206\u6790
\n\u56f3 28 \u84b8\u7740\u5e02\u5834\uff1a\u5e02\u5834\u30b7\u30a7\u30a2\u5206\u6790
\n10.4 \u4f1a\u793e\u8a55\u4fa1\u30de\u30c8\u30ea\u30c3\u30af\u30b9
\n10.4.1 \u30b9\u30bf\u30fc\u30ba
\n10.4.2 \u65b0\u9032\u30ea\u30fc\u30c0\u30fc
\n10.4.3 \u53c2\u52a0\u8005
\n10.4.4 \u6d78\u900f\u578b\u30d7\u30ec\u30fc\u30e4\u30fc
\n\u56f3 29 \u84b8\u7740\u5e02\u5834\uff1a\u4f01\u696d\u8a55\u4fa1\u30de\u30c8\u30ea\u30af\u30b9\uff082022\u5e74
\n10.5 \u30b9\u30bf\u30fc\u30c8\u30a2\u30c3\u30d7\uff0f\u30c1\u30fc\u30e0\u8a55\u4fa1\u30de\u30c8\u30ea\u30af\u30b9
\n10.5.1 \u9032\u6b69\u7684\u4f01\u696d
\n10.5.2 \u5bfe\u5fdc\u3059\u308b\u4f01\u696d
\n10.5.3 \u30c0\u30a4\u30ca\u30df\u30c3\u30af\u30fb\u30ab\u30f3\u30d1\u30cb\u30fc
\n10.5.4 \u30b9\u30bf\u30fc\u30c6\u30a3\u30f3\u30b0\u30d6\u30ed\u30c3\u30af
\n\u56f330 \u6c17\u76f8\u6210\u9577\u5e02\u5834\uff1a\u65b0\u8208\u4f01\u696d\uff0fME\u30de\u30c8\u30ea\u30af\u30b9\u30012022\u5e74
\n10.6 \u7af6\u4e89\u30d9\u30f3\u30c1\u30de\u30fc\u30ad\u30f3\u30b0
\n\u886878 \u84b8\u7740\u5e02\u5834\uff1a\u4e3b\u8981\u4f01\u696d\u306e\u8a73\u7d30\u30ea\u30b9\u30c8
\n\u8868 79 \u84b8\u7740\u5e02\u5834\uff1a\u4e3b\u8981\u4f01\u696d\u306e\u7af6\u4e89\u30d9\u30f3\u30c1\u30de\u30fc\u30af\uff08\u30bf\u30a4\u30d7\u5225
\n\u8868 80 \u84b8\u7740\u5e02\u5834\uff1a\u4e3b\u8981\u30d7\u30ec\u30a4\u30e4\u30fc\u306e\u5730\u57df\u5225\u7af6\u4e89\u30d9\u30f3\u30c1\u30de\u30fc\u30af
\n10.7 \u7af6\u4e89\u30b7\u30ca\u30ea\u30aa
\n10.7.1 \u30c7\u30a3\u30fc\u30eb\u30b9
\n\u8868 81 \u53d6\u5f15\uff082018-2023
\n10.7.2 \u88fd\u54c1\u767a\u58f2
\n\u886882 \u88fd\u54c1\u767a\u8868\uff082018\u5e74\uff5e2023\u5e74<\/p>\n
11 \u4f01\u696d\u30d7\u30ed\u30d5\u30a3\u30fc\u30eb (\u30da\u30fc\u30b8 – 167)
\n11.1 \u4e3b\u8981\u30d7\u30ec\u30fc\u30e4\u30fc
\n(\u4e8b\u696d\u6982\u8981\u3001\u63d0\u4f9b\u3059\u308b\u88fd\u54c1\/\u30bd\u30ea\u30e5\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\/\u30b5\u30fc\u30d3\u30b9\u3001\u6700\u8fd1\u306e\u52d5\u5411\u3001MNM\u306e\u898b\u89e3\u3001\u52dd\u5229\u3078\u306e\u6a29\u5229\u3001\u6226\u7565\u7684\u9078\u629e\u3001\u5f31\u307f\u3068\u7af6\u4e89\u4e0a\u306e\u8105\u5a01) *.
\n11.1.1 \u30a2\u30d7\u30e9\u30a4\u30c9\u30fb\u30de\u30c6\u30ea\u30a2\u30eb\u30ba\u793e
\n\u886883 \u5fdc\u7528\u30de\u30c6\u30ea\u30a2\u30eb\uff1a\u4f1a\u793e\u6982\u8981
\n\u56f331 \u5fdc\u7528\u30de\u30c6\u30ea\u30a2\u30eb\uff1a\u4f1a\u793e\u6982\u8981
\n\u886884 \u5fdc\u7528\u30de\u30c6\u30ea\u30a2\u30eb\uff1a\u53d6\u5f15
\n\u886885 \u5fdc\u7528\u30de\u30c6\u30ea\u30a2\u30eb\u793e\uff1a\u88fd\u54c1\uff0f\u30b5\u30fc\u30d3\u30b9\u306e\u7acb\u3061\u4e0a\u3052
\n\u886886 \u5fdc\u7528\u30de\u30c6\u30ea\u30a2\u30eb\uff1a\u305d\u306e\u4ed6
\n11.1.2 \u30e9\u30e0\u30ea\u30b5\u30fc\u30c1\u682a\u5f0f\u4f1a\u793e
\n\u8868 87 \u30e9\u30e0\u30ea\u30b5\u30fc\u30c1\u682a\u5f0f\u4f1a\u793e\uff1a\u4f1a\u793e\u6982\u8981
\n\u56f3 32 \u30e9\u30e0\u30ea\u30b5\u30fc\u30c1\u682a\u5f0f\u4f1a\u793e\uff1a\u4f01\u696d\u30b9\u30ca\u30c3\u30d7\u30b7\u30e7\u30c3\u30c8
\n\u8868 88 \u30e9\u30e0\u30ea\u30b5\u30fc\u30c1\u682a\u5f0f\u4f1a\u793e\uff1a\u53d6\u5f15
\n\u8868 89 \u30e9\u30e0\u30ea\u30b5\u30fc\u30c1\u682a\u5f0f\u4f1a\u793e\uff1a\u88fd\u54c1\/\u30b5\u30fc\u30d3\u30b9\u306e\u767a\u58f2
\n\u8868 90 \u30e9\u30e0\u30ea\u30b5\u30fc\u30c1\u682a\u5f0f\u4f1a\u793e\uff1a\u305d\u306e\u4ed6
\n11.1.3 \u6771\u4eac\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30f3
\n\u8868 91 \u6771\u4eac\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30f3\uff1a\u4f1a\u793e\u6982\u8981
\n\u56f3 33 \u6771\u4eac\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30f3\uff1a\u4f1a\u793e\u6982\u8981
\n\u8868 92 \u6771\u4eac\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30f3\uff1a\u53d6\u5f15
\n\u8868 93 \u6771\u4eac\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30f3\uff1a\u88fd\u54c1\uff0f\u30b5\u30fc\u30d3\u30b9\u306e\u767a\u58f2
\n\u8868 94 \u6771\u4eac\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30f3\uff1a\u305d\u306e\u4ed6
\n11.1.4 \u30a4\u30d2\u30b3\u30fc\u30dd\u30ec\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3
\n\u8868 95 \u30a4\u30d2\u30b3\u30fc\u30dd\u30ec\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\uff1a\u4f1a\u793e\u6982\u8981
\n\u56f334 \u30a4\u30d2\u30b3\u30fc\u30dd\u30ec\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\uff1a\u4f01\u696d\u30b9\u30ca\u30c3\u30d7\u30b7\u30e7\u30c3\u30c8
\n\u8868 96 ihi Corporation: \u53d6\u5f15
\n\u8868 97 \u30a4\u30d2\u30b3\u30fc\u30dd\u30ec\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\uff1a\u88fd\u54c1\uff0f\u30b5\u30fc\u30d3\u30b9\u306e\u767a\u58f2
\n\u8868 98 \u30a4\u30d2\u30b3\u30fc\u30dd\u30ec\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\uff1a\u305d\u306e\u4ed6
\n11.1.5 AIXTRON
\n\u8868 99 AIXTRON\uff1a\u4f1a\u793e\u6982\u8981
\n\u56f3 35 AIXTRON\uff1a\u4f01\u696d\u30b9\u30ca\u30c3\u30d7\u30b7\u30e7\u30c3\u30c8
\n\u8868 100 aixtron: \u53d6\u5f15
\n\u8868 101 AIXTRON\uff1a\u88fd\u54c1\uff0f\u30b5\u30fc\u30d3\u30b9\u306e\u767a\u58f2
\n\u8868 102 aixtron: \u305d\u306e\u4ed6
\n11.1.6 OC\u30a8\u30ea\u30b3\u30f3\u30fb\u30de\u30cd\u30b8\u30e1\u30f3\u30c8AG
\n\u8868 103 OC OERLIKON MANAGEMENT AG: \u4f1a\u793e\u6982\u8981
\n\u56f3 36 OC OERLIKON MANAGEMENT AG\uff1a\u4f1a\u793e\u6982\u8981
\n\u8868 104 OC OERLIKON MANAGEMENT AG: \u53d6\u5f15\u5b9f\u7e3e
\n\u8868 105 OC OERLIKON MANAGEMENT AG\uff1a\u88fd\u54c1\uff0f\u30b5\u30fc\u30d3\u30b9\u306e\u767a\u58f2
\n\u8868 106 OC OERLIKON MANAGEMENT AG: \u305d\u306e\u4ed6
\n11.1.7 ASM\u30a4\u30f3\u30bf\u30fc\u30ca\u30b7\u30e7\u30ca\u30ebN.V.
\n\u8868 107 ASM\u30a4\u30f3\u30bf\u30fc\u30ca\u30b7\u30e7\u30ca\u30ebN.V.\uff1a\u4f1a\u793e\u6982\u8981
\n\u56f337 ASM\u30a4\u30f3\u30bf\u30fc\u30ca\u30b7\u30e7\u30ca\u30ebN.V.\uff1a\u4f1a\u793e\u6982\u8981
\n\u8868 108 ASM\u30a4\u30f3\u30bf\u30fc\u30ca\u30b7\u30e7\u30ca\u30ebN.V.: \u53d6\u5f15\u5b9f\u7e3e
\n\u8868 109 ASM\u30a4\u30f3\u30bf\u30fc\u30ca\u30b7\u30e7\u30ca\u30ebN.V.\uff1a\u88fd\u54c1\/\u30b5\u30fc\u30d3\u30b9\u306e\u767a\u58f2
\n\u8868110 \u30a2\u30b9\u30e0\u30a4\u30f3\u30bf\u30fc\u30ca\u30b7\u30e7\u30ca\u30eb\uff1a\u305d\u306e\u4ed6
\n11.1.8 \u30f4\u30a9\u30b9\u30bf\u30eb\u30d4\u30cd ag
\n111 \u30f4\u30a9\u30b9\u30bf\u30eb\u30d4\u30cd\uff1a\u4f1a\u793e\u6982\u8981
\n\u56f3 38 \u30f4\u30a9\u30b9\u30bf\u30eb\u30d4\u30cd\uff1a\u4f1a\u793e\u6982\u8981
\n\u8868112 \u30f4\u30a9\u30b9\u30bf\u30eb\u30d4\u30cd\uff1a\u305d\u306e\u4ed6
\n11.1.9 ulvac, inc.
\n\u8868113 ulvac, inc.\uff1a\u4f1a\u793e\u6982\u8981
\n\u56f339 ulvac, inc.\uff1a\u4f01\u696d\u30b9\u30ca\u30c3\u30d7\u30b7\u30e7\u30c3\u30c8
\n\u8868114 ulvac, inc.
\n\u8868115 ulvac, Inc.
\n11.1.10 Veeco Instruments Inc.
\n\u8868 116 Veeco Instruments Inc.
\n\u56f340 VEECO INSTRUMENTS INC.\uff1a\u4f01\u696d\u30b9\u30ca\u30c3\u30d7\u30b7\u30e7\u30c3\u30c8
\n\u8868 117 Veeco Instruments Inc.
\n\u8868 118 veeco instruments inc.
\n*\u4e8b\u696d\u6982\u8981\u3001\u63d0\u4f9b\u3059\u308b\u88fd\u54c1\uff0f\u30bd\u30ea\u30e5\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\uff0f\u30b5\u30fc\u30d3\u30b9\u3001\u6700\u8fd1\u306e\u52d5\u5411\u3001MNM\u306e\u898b\u89e3\u3001\u52dd\u5229\u3078\u306e\u6a29\u5229\u3001\u6226\u7565\u7684\u9078\u629e\u3001\u5f31\u307f\u3001\u7af6\u4e89\u4e0a\u306e\u8105\u5a01\u306b\u95a2\u3059\u308b\u8a73\u7d30\u306f\u3001\u672a\u4e0a\u5834\u4f01\u696d\u306e\u5834\u5408\u3001\u628a\u63e1\u3067\u304d\u306a\u3044\u53ef\u80fd\u6027\u304c\u3042\u308b\u3002
\n11.2 \u305d\u306e\u4ed6\u306e\u9078\u624b
\n11.2.1 \u30d7\u30e9\u30ba\u30de\u30fb\u30b5\u30fc\u30e0
\n\u8868 119 \u30d7\u30e9\u30ba\u30de\u30fb\u30b5\u30fc\u30e0\uff1a\u4f1a\u793e\u6982\u8981
\n11.2.2 CVD\u6a5f\u5668\u682a\u5f0f\u4f1a\u793e
\n\u8868120 CVD\u6a5f\u5668\u682a\u5f0f\u4f1a\u793e\uff1a\u4f1a\u793e\u6982\u8981
\n11.2.3 \u30d8\u30d5\u30fb\u30c0\u30fc\u30d5\u30a7\u30e9\u30a4\u30c8
\n\u8868 121 \u30d8\u30d5\u30fb\u30c7\u30e5\u30eb\u30d5\u30a7\u30ea\u30c3\u30c8\uff1a\u4f1a\u793e\u6982\u8981
\n11.2.4 \u30a4\u30f3\u30d1\u30af\u30c8\u30fb\u30b3\u30fc\u30c6\u30a3\u30f3\u30b0
\n\u8868 122 \u30a4\u30f3\u30d1\u30af\u30c8\u30fb\u30b3\u30fc\u30c6\u30a3\u30f3\u30b0\u30b9 AB: \u4f1a\u793e\u6982\u8981
\n11.2.5 \u30de\u30b9\u30bf\u30f3\u30b0\u30fb\u30d0\u30ad\u30e5\u30fc\u30e0\u30fb\u30b7\u30b9\u30c6\u30e0
\n\u8868 123 \u30de\u30b9\u30bf\u30f3\u30b0\u30fb\u30d0\u30ad\u30e5\u30fc\u30e0\u30fb\u30b7\u30b9\u30c6\u30e0\u30ba\uff1a\u4f1a\u793e\u6982\u8981
\n11.2.6 \u30c6\u30c3\u30af\u30e1\u30bf\u30eb\uff08\u682a
\n\u8868124 \u30c6\u30c3\u30af\u30e1\u30bf\u30eb\u793e\uff1a\u4f1a\u793e\u6982\u8981
\n11.2.7 \u30ab\u30fc\u30c8\u30fbJ\u30fb\u30ec\u30b9\u30ab\u30fc\u793e
\n\u8868125 \u30ab\u30fc\u30c8\u30fbJ\u30fb\u30ec\u30b9\u30ab\u30fc\u793e\uff1a\u4f1a\u793e\u6982\u8981
\n11.2.8 JUSUNG ENGINEERING CO.
\n\u8868126 JUSUNG ENGINEERING CO.
\n11.2.9 \u30c7\u30f3\u30c8\u30f3\u771f\u7a7a
\n\u8868 127 \u30c7\u30f3\u30c8\u30f3\u30fb\u30d0\u30ad\u30e5\u30fc\u30e0\uff1a\u4f1a\u793e\u6982\u8981
\n11.2.10 \u30aa\u30c3\u30af\u30b9\u30d5\u30a9\u30fc\u30c9\u30fb\u30a4\u30f3\u30b9\u30c8\u30a5\u30eb\u30e1\u30f3\u30c8
\n\u8868128 \u30aa\u30c3\u30af\u30b9\u30d5\u30a9\u30fc\u30c9\u30fb\u30a4\u30f3\u30b9\u30c8\u30a5\u30eb\u30e1\u30f3\u30c4\uff1a\u4f1a\u793e\u6982\u8981
\n11.2.11 Aurora Scientific Corp.
\n\u8868129 \u30aa\u30fc\u30ed\u30e9\u30fb\u30b5\u30a4\u30a8\u30f3\u30c6\u30a3\u30d5\u30a3\u30c3\u30af\u793e\uff1a\u4f1a\u793e\u6982\u8981
\n11.2.12 intevac, inc.
\n\u8868130 \u30a4\u30f3\u30c6\u30d0\u30c3\u30af\uff1a\u4f1a\u793e\u6982\u8981
\n11.2.13 PVD PRODUCTS, INC.
\n\u8868131 PVD PRODUCTS, INC.\uff1a\u4f1a\u793e\u6982\u8981
\n11.2.14 crystallumepvd
\n\u8868 132 \u30af\u30ea\u30b9\u30bf\u30eb\u30e1\u30d7\u30d0\u30fc\u30c9\uff1a\u4f1a\u793e\u6982\u8981
\n11.2.15 \u682a\u5f0f\u4f1a\u793eADEKA
\n\u8868 133 \u682a\u5f0f\u4f1a\u793eADEKA\uff1a\u4f1a\u793e\u6982\u8981<\/p>\n
12 \u4ed8\u9332\uff08\u30da\u30fc\u30b8\u6570 – 232\uff09
\n12.1 \u30c7\u30a3\u30b9\u30ab\u30c3\u30b7\u30e7\u30f3\u30fb\u30ac\u30a4\u30c9
\n12.2 Knowledgestore\uff1aMarketsandmarkets\u306e\u8cfc\u8aad\u30dd\u30fc\u30bf\u30eb
\n12.3 \u30ab\u30b9\u30bf\u30de\u30a4\u30ba\u30fb\u30aa\u30d7\u30b7\u30e7\u30f3
\n12.4 \u95a2\u9023\u30ec\u30dd\u30fc\u30c8
\n12.5 \u8457\u8005\u8a73\u7d30<\/p>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"
\u84b8\u7740\u5e02\u5834
\n\u4e16\u754c\u306e\u84b8\u7740\u5e02\u5834\u306f\u30012023\u5e74\u306b426\u5104\u7c73\u30c9\u30eb\u3068\u8a55\u4fa1\u3055\u308c\u30012028\u5e74\u306b\u306f661\u5104\u7c73\u30c9\u30eb\u306b\u9054\u3057\u3001\u4e88\u6e2c\u671f\u9593\u4e2d\u306b\u5e74\u73879.2\uff05\u3067\u6210\u9577\u3059\u308b\u3068\u4e88\u6e2c\u3055\u308c\u3066\u3044\u308b\u3002\u84b8\u7740\u7523\u696d\u306f\u3001\u534a\u5c0e\u4f53\u7523\u696d\u3084\u592a\u967d\u96fb\u6c60\u7523\u696d\u306e\u6210\u9577\u3001\u533b\u7642\u6a5f\u5668\u9700\u8981\u306e\u5897\u52a0\u3001LED\u6a5f\u5668\u5e02\u5834\u306e\u62e1\u5927\u3001Cr6\u95a2\u9023\u306e\u74b0\u5883\u898f\u5236\u306a\u3069\u3001\u8907\u6570\u306e\u8981\u56e0\u306b\u3088\u3063\u3066\u727d\u5f15\u3055\u308c\u3066\u3044\u308b\u3002\u534a\u5c0e\u4f53\u7523\u696d\u306e\u6210\u9577\u306f\u3001\u84b8\u7740\u5e02\u5834\u306e\u5927\u304d\u306a\u539f\u52d5\u529b\u3068\u306a\u308b\u3060\u308d\u3046\u3002\u534a\u5c0e\u4f53\u6280\u8853\u306e\u9032\u6b69\u306b\u4f34\u3044\u3001\u30c1\u30c3\u30d7\u88fd\u9020\u306b\u4f7f\u7528\u3055\u308c\u308b\u8584\u819c\u6750\u6599\u3092\u4f5c\u308b\u305f\u3081\u306e\u7cbe\u5bc6\u3067\u52b9\u7387\u7684\u306a\u84b8\u7740\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u3078\u306e\u30cb\u30fc\u30ba\u304c\u9ad8\u307e\u3063\u3066\u3044\u308b\u3002\u3053\u306e\u9700\u8981\u306f\u3001\u534a\u5c0e\u4f53\u30bb\u30af\u30bf\u30fc\u306e\u62e1\u5927\u3068\u3068\u3082\u306b\u6025\u5897\u3059\u308b\u3068\u4e88\u60f3\u3055\u308c\u308b\u3002\u3055\u3089\u306b\u3001\u76db\u3093\u306a\u592a\u967d\u96fb\u6c60\u7523\u696d\u306f\u3001\u84b8\u7740\u5e02\u5834\u3092\u524d\u9032\u3055\u305b\u308b\u4e0a\u3067\u6975\u3081\u3066\u91cd\u8981\u306a\u5f79\u5272\u3092\u679c\u305f\u3057\u3066\u3044\u308b\u3002\u9ad8\u6027\u80fd\u30d5\u30a3\u30eb\u30e0\u306e\u751f\u7523\u306f\u3001\u30bd\u30fc\u30e9\u30fc\u30d1\u30cd\u30eb\u306e\u52b9\u7387\u3068\u8010\u4e45\u6027\u3092\u9ad8\u3081\u308b\u305f\u3081\u306b\u4e0d\u53ef\u6b20\u3067\u3042\u308b\u3002\u305d\u306e\u7d50\u679c\u3001\u84b8\u7740\u7523\u696d\u306f\u30bd\u30fc\u30e9\u30fc\u7523\u696d\u306b\u304a\u3051\u308b\u30d5\u30a3\u30eb\u30e0\u9700\u8981\u306e\u5897\u52a0\u304b\u3089\u6069\u6075\u3092\u53d7\u3051\u308b\u3053\u3068\u306b\u306a\u308b\u3002\u3082\u3046\u3072\u3068\u3064\u306e\u6709\u529b\u306a\u63a8\u9032\u529b\u306f\u3001\u533b\u7642\u6a5f\u5668\u3084\u88c5\u7f6e\u306b\u5bfe\u3059\u308b\u8981\u6c42\u306e\u9ad8\u307e\u308a\u3067\u3042\u308b\u3002\u84b8\u7740\u6280\u8853\u306f\u3001\u5353\u8d8a\u3057\u305f\u7cbe\u5ea6\u3068\u751f\u4f53\u9069\u5408\u6027\u3092\u5099\u3048\u305f\u533b\u7642\u5668\u5177\u3084\u90e8\u54c1\u306e\u88fd\u9020\u306b\u4e0d\u53ef\u6b20\u3067\u3042\u308b\u3002\u533b\u7642\u6280\u8853\u304c\u9032\u6b69\u3057\u7d9a\u3051\u308c\u3070\u3001\u84b8\u7740\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u306b\u5bfe\u3059\u308b\u9700\u8981\u3082\u5897\u52a0\u3059\u308b\u3002\u3053\u308c\u3089\u306e\u8981\u56e0\u304c\u3001\u84b8\u7740\u5206\u91ce\u306e\u529b\u5f37\u304f\u30c0\u30a4\u30ca\u30df\u30c3\u30af\u306a\u6210\u9577\u3092\u652f\u3048\u3066\u3044\u308b\u3002<\/p>\n
\u3057\u304b\u3057\u3001\u9ad8\u3044\u8a2d\u5099\u6295\u8cc7\u3001\u819c\u306e\u6c5a\u67d3\u3001\u6280\u8853\u7684\u306a\u96e3\u3057\u3055\u3001\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u306e\u8907\u96d1\u3055\u306f\u3001\u84b8\u7740\u6280\u8853\u306e\u6210\u9577\u3092\u6291\u5236\u3059\u308b\u5927\u304d\u306a\u8981\u56e0\u3068\u306a\u3063\u3066\u3044\u308b\u3002\u84b8\u7740\u30b7\u30b9\u30c6\u30e0\u306e\u8a2d\u7f6e\u306b\u591a\u984d\u306e\u8cc7\u91d1\u304c\u5fc5\u8981\u306a\u305f\u3081\u3001\u6f5c\u5728\u7684\u306a\u6295\u8cc7\u5bb6\u304c\u8e8a\u8e87\u3057\u3001\u3053\u308c\u3089\u306e\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u306e\u666e\u53ca\u304c\u5236\u9650\u3055\u308c\u308b\u53ef\u80fd\u6027\u304c\u3042\u308b\u3002\u3055\u3089\u306b\u3001\u4e0d\u7d14\u7269\u304c\u3042\u308b\u3068\u84b8\u7740\u819c\u306e\u54c1\u8cea\u3084\u6a5f\u80fd\u304c\u640d\u306a\u308f\u308c\u308b\u305f\u3081\u3001\u819c\u6c5a\u67d3\u306e\u30ea\u30b9\u30af\u3082\u5927\u304d\u306a\u8ab2\u984c\u3068\u306a\u308b\u3002\u84b8\u7740\u6280\u8853\u306b\u95a2\u9023\u3059\u308b\u6280\u8853\u7684\u306a\u8907\u96d1\u3055\u3082\u307e\u305f\u3001\u305d\u306e\u6210\u9577\u306e\u59a8\u3052\u3068\u306a\u308b\u3002<\/p>\n
\u84b8\u7740\u5e02\u5834\u306e\u30c0\u30a4\u30ca\u30df\u30af\u30b9
\n\u30c9\u30e9\u30a4\u30d0\u30fc\u534a\u5c0e\u4f53\u7523\u696d\u306e\u6210\u9577
\n\u6025\u901f\u306b\u9032\u5316\u3059\u308b\u4eca\u65e5\u306e\u6280\u8853\u72b6\u6cc1\u306b\u304a\u3044\u3066\u3001\u534a\u5c0e\u4f53\u7523\u696d\u306e\u6210\u9577\u306f\u84b8\u7740\u5e02\u5834\u306e\u91cd\u8981\u306a\u539f\u52d5\u529b\u3068\u3057\u3066\u969b\u7acb\u3063\u3066\u3044\u308b\u3002\u96fb\u5b50\u6a5f\u5668\u306e\u300c\u982d\u8133\u300d\u3068\u3082\u547c\u3070\u308c\u308b\u534a\u5c0e\u4f53\u306f\u3001\u30b9\u30de\u30fc\u30c8\u30d5\u30a9\u30f3\u304b\u3089\u9ad8\u5ea6\u306a\u533b\u7642\u6a5f\u5668\u307e\u3067\u3001\u3042\u3089\u3086\u308b\u3082\u306e\u3092\u52d5\u304b\u3057\u3066\u3044\u308b\u3002\u3053\u306e\u7523\u696d\u304c\u62e1\u5927\u3057\u7d9a\u3051\u308b\u306b\u3064\u308c\u3001\u9769\u65b0\u7684\u306a\u88fd\u9020\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u306b\u5bfe\u3059\u308b\u9700\u8981\u3082\u9ad8\u307e\u3063\u3066\u3044\u308b\u3002\u3053\u308c\u3089\u306e\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u306e\u4e2d\u3067\u30012\u3064\u306e\u91cd\u8981\u306a\u6280\u8853\u304c\u5927\u304d\u306a\u6ce8\u76ee\u3092\u96c6\u3081\u3066\u3044\u308b\uff1aPVD\u3068CVD\u3067\u3042\u308b\u3002<\/p>\n
\u30e2\u30ce\u306e\u30a4\u30f3\u30bf\u30fc\u30cd\u30c3\u30c8\uff08IoT\uff09\u3001\u4eba\u5de5\u77e5\u80fd\uff08AI\uff09\u30015G\u3068\u3044\u3063\u305f\u6280\u8853\u306e\u666e\u53ca\u3092\u80cc\u666f\u306b\u3001\u30c7\u30fc\u30bf\u99c6\u52d5\u578b\u793e\u4f1a\u3078\u306e\u79fb\u884c\u304c\u52a0\u901f\u3059\u308b\u306a\u304b\u3001\u6280\u8853\u9769\u65b0\u304c\u7d99\u7d9a\u3059\u308b\u534a\u5c0e\u4f53\u7523\u696d\u306f\u4e2d\u9577\u671f\u7684\u306a\u6210\u9577\u304c\u898b\u8fbc\u307e\u308c\u3066\u3044\u308b\u3002\u7814\u7a76\u958b\u767a\u306b\u3088\u308b\u6280\u8853\u306e\u9032\u6b69\u306b\u4f34\u3044\u3001\u3055\u307e\u3056\u307e\u306a\u696d\u754c\u306e\u4f01\u696d\u304cIC\u3092\u88fd\u54c1\u306b\u7d44\u307f\u8fbc\u307f\u3001\u52b9\u7387\u7684\u3067\u30b9\u30de\u30fc\u30c8\u306a\u88fd\u54c1\u3092\u5b9f\u73fe\u3057\u3088\u3046\u3068\u3057\u3066\u3044\u308b\u3002\u96fb\u5b50\u6a5f\u5668\u306e\u8efd\u91cf\u5316\u3001\u9ad8\u901f\u5316\u3001\u9ad8\u5bc6\u5ea6\u5316\u3001\u5c0f\u578b\u5316\u304c\u9032\u3080\u4e2d\u3001\u5c0f\u578b\u3067\u8907\u96d1\u306aIC\u306e\u9700\u8981\u304c\u6025\u5897\u3057\u3066\u3044\u308b\u3002\u534a\u5c0e\u4f53\u7523\u696d\u5354\u4f1a\u304c\u63d0\u4f9b\u3057\u305f\u30c7\u30fc\u30bf\u306b\u3088\u308b\u3068\u3001\u534a\u5c0e\u4f53\u306e\u4e16\u754c\u58f2\u4e0a\u9ad8\u306f\u5927\u5e45\u306a\u4f38\u3073\u3092\u793a\u3057\u30012008\u5e74\u306e1,390\u5104\u7c73\u30c9\u30eb\u304b\u3089\u4e0a\u6607\u3057\u30012022\u5e74\u306b\u306f5,574\u5104\u7c73\u30c9\u30eb\u306b\u9054\u3059\u308b\u3002\u3055\u3089\u306b\u3001\u4e16\u754c\u534a\u5c0e\u4f53\u8cbf\u6613\u7d71\u8a08(WSTS)\u306e2022\u5e74\u79cb\u306e\u534a\u5c0e\u4f53\u7523\u696d\u4e88\u6e2c\u3067\u306f\u30012023\u5e74\u306e\u4e88\u60f3\u5024\u306f5,556\u5104\u7c73\u30c9\u30eb\u3067\u3001\u305d\u306e\u5f8c2024\u5e74\u306b\u306f\u63a8\u5b9a6,020\u5104\u7c73\u30c9\u30eb\u307e\u3067\u5897\u52a0\u3057\u3001\u4e16\u754c\u306e\u534a\u5c0e\u4f53\u7523\u696d\u58f2\u4e0a\u9ad8\u306f\u308f\u305a\u304b\u306b\u6e1b\u5c11\u3059\u308b\u3068\u4e88\u6e2c\u3057\u3066\u3044\u308b\u3002<\/p>\n
\u534a\u5c0e\u4f53\u7523\u696d\u306e\u5805\u8abf\u306a\u62e1\u5927\u304c\u3001\u84b8\u7740\u5e02\u5834\u306e\u6210\u9577\u306b\u5927\u304d\u306a\u5f71\u97ff\u3092\u4e0e\u3048\u3088\u3046\u3068\u3057\u3066\u3044\u308b\u3002\u84b8\u7740\u6280\u8853\u306f\u3001\u534a\u5c0e\u4f53\u306e\u88fd\u9020\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u306b\u304a\u3044\u3066\u6975\u3081\u3066\u91cd\u8981\u306a\u5f79\u5272\u3092\u679c\u305f\u3057\u3066\u3044\u308b\u3002\u3053\u308c\u3089\u306e\u624b\u6cd5\u3067\u306f\u3001\u534a\u5c0e\u4f53\u30a6\u30a7\u30cf\u30fc\u4e0a\u306b\u6750\u6599\u306e\u8584\u5c64\u3092\u84b8\u7740\u3055\u305b\u308b\u3053\u3068\u3067\u3001\u8907\u96d1\u306a\u96fb\u5b50\u90e8\u54c1\u3084\u69cb\u9020\u3092\u4f5c\u308a\u51fa\u3059\u3053\u3068\u304c\u3067\u304d\u308b\u3002\u6280\u8853\u306e\u9032\u6b69\u3001\u96fb\u5b50\u6a5f\u5668\u306b\u5bfe\u3059\u308b\u9700\u8981\u306e\u5897\u52a0\u3001\u4eba\u5de5\u77e5\u80fd\u3001\u30e2\u30ce\u306e\u30a4\u30f3\u30bf\u30fc\u30cd\u30c3\u30c8\uff08IoT\uff09\u30015G\u6280\u8853\u306a\u3069\u306e\u30a2\u30d7\u30ea\u30b1\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u306e\u666e\u53ca\u3068\u3044\u3063\u305f\u8981\u56e0\u306b\u3088\u3063\u3066\u534a\u5c0e\u4f53\u7523\u696d\u304c\u6210\u9577\u3092\u7d9a\u3051\u308b\u306b\u3064\u308c\u3001\u9ad8\u5ea6\u306a\u84b8\u7740\u6280\u8853\u306b\u5bfe\u3059\u308b\u9700\u8981\u3082\u305d\u308c\u306b\u4f34\u3063\u3066\u6025\u5897\u3059\u308b\u3060\u308d\u3046\u3002<\/p>\n
\u62e1\u5927\u3059\u308b\u534a\u5c0e\u4f53\u5e02\u5834\u3067\u306f\u3001\u534a\u5c0e\u4f53\u57fa\u677f\u4e0a\u306b\u7cbe\u5bc6\u3067\u5747\u4e00\u304b\u3064\u9ad8\u54c1\u8cea\u306a\u8584\u819c\u3092\u6210\u819c\u3059\u308b\u305f\u3081\u306e\u84b8\u7740\u6280\u8853\u306e\u9032\u6b69\u304c\u6c42\u3081\u3089\u308c\u3066\u3044\u308b\u3002\u534a\u5c0e\u4f53\u90e8\u54c1\u306e\u5c0f\u578b\u5316\u3001\u8907\u96d1\u5316\u3001\u9ad8\u6027\u80fd\u5316\u306b\u4f34\u3044\u3001\u9ad8\u5ea6\u306a\u84b8\u7740\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u3078\u306e\u9700\u8981\u304c\u9ad8\u307e\u3063\u3066\u3044\u308b\u3002\u3053\u306e\u9700\u8981\u304c\u84b8\u7740\u696d\u754c\u306b\u304a\u3051\u308b\u7814\u7a76\u3068\u6280\u8853\u9769\u65b0\u3092\u4fc3\u9032\u3057\u3001\u84b8\u7740\u7cbe\u5ea6\u3001\u52b9\u7387\u3001\u62e1\u5f35\u6027\u306e\u5411\u4e0a\u306b\u3064\u306a\u304c\u308b\u3002\u305d\u306e\u7d50\u679c\u3001\u534a\u5c0e\u4f53\u5e02\u5834\u306e\u6210\u9577\u304c\u84b8\u7740\u5e02\u5834\u306e\u6210\u9577\u3092\u5f8c\u62bc\u3057\u3057\u3066\u3044\u308b\u3002<\/p>\n
\u5236\u7d04\uff1a\u9ad8\u3044\u8a2d\u5099\u6295\u8cc7
\nCVD\u3084PVD\u3068\u3044\u3063\u305f\u30b3\u30fc\u30c6\u30a3\u30f3\u30b0\u6280\u8853\u306f\u3001\u3055\u307e\u3056\u307e\u306a\u88fd\u54c1\u306e\u6027\u80fd\u3084\u8010\u4e45\u6027\u3092\u9ad8\u3081\u308b\u4e0a\u3067\u91cd\u8981\u306a\u5f79\u5272\u3092\u679c\u305f\u3057\u3066\u3044\u308b\u3002\u3057\u304b\u3057\u3001\u3053\u308c\u3089\u306e\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u306b\u306f\u3044\u304f\u3064\u304b\u306e\u8ab2\u984c\u304c\u3042\u308b\u3002\u7b2c\u4e00\u306b\u3001\u7279\u6b8a\u306a\u88c5\u7f6e\u306b\u591a\u984d\u306e\u6295\u8cc7\u3092\u5fc5\u8981\u3068\u3059\u308b\u305f\u3081\u3001\u8cc7\u672c\u96c6\u7d04\u7684\u3068\u8003\u3048\u3089\u308c\u3066\u3044\u308b\u3002\u3053\u306e\u88c5\u7f6e\u306b\u306f\u3001\u9ad8\u6e29\u3084\u5236\u5fa1\u3055\u308c\u305f\u771f\u7a7a\u74b0\u5883\u3068\u3044\u3063\u305f\u7279\u5b9a\u306e\u904b\u8ee2\u6761\u4ef6\u304c\u8981\u6c42\u3055\u308c\u308b\u3002\u3053\u306e\u3088\u3046\u306a\u8907\u96d1\u3055\u304c\u3042\u308b\u305f\u3081\u3001\u5e02\u5834\u3092\u652f\u914d\u3057\u3066\u3044\u308b\u306e\u306f\u4e00\u63e1\u308a\u306e\u4e16\u754c\u7684\u306a\u5927\u624b\u4f01\u696d\u306e\u307f\u3067\u3042\u308a\u3001CVD\u304a\u3088\u3073PVD\u88c5\u7f6e\u306e\u88fd\u9020\u30b3\u30b9\u30c8\u304c\u9ad8\u304f\u306a\u308b\u539f\u56e0\u3068\u306a\u3063\u3066\u3044\u308b\u3002\u305d\u306e\u7d50\u679c\u3001\u3053\u308c\u3089\u306e\u30b3\u30fc\u30c6\u30a3\u30f3\u30b0\u3092\u5fc5\u8981\u3068\u3059\u308b\u6700\u7d42\u7528\u9014\u7523\u696d\u306f\u3001\u9ad8\u3044\u30b3\u30b9\u30c8\u306b\u76f4\u9762\u3057\u3066\u3044\u308b\u3002<\/p>\n
\u3055\u3089\u306b\u3001\u30b3\u30fc\u30c6\u30a3\u30f3\u30b0\u306e\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u306f\u4e00\u69d8\u3067\u306f\u306a\u3044\u3002\u30b3\u30fc\u30c6\u30a3\u30f3\u30b0\u3059\u308b\u7d20\u6750\u3084\u30b3\u30fc\u30c6\u30a3\u30f3\u30b0\u306e\u539a\u3055\u306a\u3069\u3001\u3055\u307e\u3056\u307e\u306a\u8981\u56e0\u306b\u3088\u3063\u3066\u7570\u306a\u308a\u307e\u3059\u3002\u3053\u306e\u3088\u3046\u306b\u7528\u9014\u304c\u591a\u69d8\u3067\u3042\u308b\u305f\u3081\u3001\u7279\u5b9a\u306e\u30cb\u30fc\u30ba\u306b\u5408\u308f\u305b\u305f\u3055\u307e\u3056\u307e\u306a\u30bf\u30a4\u30d7\u306e\u88c5\u7f6e\u304c\u5fc5\u8981\u3068\u306a\u308b\u3002\u3053\u306e\u3088\u3046\u306a\u7279\u6b8a\u6027\u306f\u3001\u5fc5\u8981\u3068\u3055\u308c\u308b\u521d\u671f\u8a2d\u5099\u6295\u8cc7\u3092\u3055\u3089\u306b\u5897\u52a0\u3055\u305b\u308b\u3002\u305d\u306e\u7d50\u679c\u3001\u591a\u304f\u306e\u4f01\u696d\u304c\u3001\u3053\u3046\u3057\u305f\u88c5\u7f6e\u306e\u53d6\u5f97\u3084\u904b\u7528\u306b\u4f34\u3046\u7d4c\u6e08\u7684\u306a\u5236\u7d04\u306e\u305f\u3081\u306b\u3001\u3053\u3046\u3057\u305f\u5148\u7aef\u6280\u8853\u306e\u63a1\u7528\u3092\u8e8a\u8e87\u3057\u3066\u3044\u308b\u3002<\/p>\n
\u3053\u306e\u91d1\u92ad\u7684\u306a\u30cf\u30fc\u30c9\u30eb\u306f\u3001\u6700\u7d42\u7528\u9014\u7523\u696d\u304c\u540c\u30ec\u30d9\u30eb\u306e\u6295\u8cc7\u3092\u5fc5\u8981\u3068\u3057\u306a\u3044\u304b\u3082\u3057\u308c\u306a\u3044\u4ee3\u66ff\u30b3\u30fc\u30c6\u30a3\u30f3\u30b0\u65b9\u6cd5\u3092\u6a21\u7d22\u3059\u308b\u3053\u3068\u3092\u4fc3\u3057\u3066\u3044\u308b\u3002CVD\u3068PVD\u6280\u8853\u306f\u3001\u30b3\u30fc\u30c6\u30a3\u30f3\u30b0\u306e\u54c1\u8cea\u3068\u6027\u80fd\u306e\u9762\u3067\u5353\u8d8a\u3057\u305f\u5229\u70b9\u3092\u63d0\u4f9b\u3059\u308b\u304c\u3001\u9ad8\u3044\u8cc7\u672c\u30b3\u30b9\u30c8\u3068\u88c5\u7f6e\u306e\u591a\u69d8\u6027\u304c\u666e\u53ca\u306e\u59a8\u3052\u3068\u306a\u3063\u3066\u3044\u308b\u3002\u30a8\u30f3\u30c9\u30e6\u30fc\u30b6\u30fc\u306f\u3001\u540c\u30ec\u30d9\u30eb\u306e\u6d17\u7df4\u6027\u304c\u306a\u304f\u3066\u3082\u3001\u3088\u308a\u30b3\u30b9\u30c8\u306e\u4f4e\u3044\u30bd\u30ea\u30e5\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u3092\u9078\u3076\u304b\u3082\u3057\u308c\u306a\u3044\u3002\u512a\u308c\u305f\u30b3\u30fc\u30c6\u30a3\u30f3\u30b0\u3078\u306e\u30cb\u30fc\u30ba\u3068\u7d4c\u6e08\u7684\u73fe\u5b9f\u3068\u306e\u30d0\u30e9\u30f3\u30b9\u3092\u3068\u308b\u3053\u3068\u304c\u8ab2\u984c\u3068\u306a\u308a\u3001\u3053\u3046\u3057\u305f\u5148\u7aef\u30b3\u30fc\u30c6\u30a3\u30f3\u30b0\u6280\u8853\u306e\u6210\u9577\u3092\u6291\u5236\u3057\u3066\u3044\u308b\u3002<\/p>\n
\u6a5f\u4f1a\uff1a\u65b0\u6280\u8853\u306e\u9769\u65b0\u306b\u3088\u308a\u3001\u3055\u307e\u3056\u307e\u306a\u7528\u9014\u3067\u6709\u76ca\u306a\u6a5f\u4f1a\u304c\u3082\u305f\u3089\u3055\u308c\u308b\u3002
\nCVD\u304a\u3088\u3073PVD\u6280\u8853\u5206\u91ce\u306b\u304a\u3051\u308b\u7814\u7a76\u958b\u767a\u52aa\u529b\u306f\u3001\u69d8\u3005\u306a\u7523\u696d\u306b\u304a\u3044\u3066\u57fa\u677f\u6750\u6599\u306e\u7279\u6027\u3092\u5411\u4e0a\u3055\u305b\u308b\u3053\u3068\u306b\u3088\u308a\u3001\u84b8\u7740\u5e02\u5834\u306e\u62e1\u5927\u306b\u8ca2\u732e\u3057\u3066\u3044\u308b\u3002\u3053\u308c\u3089\u306e\u52aa\u529b\u306f\u3001\u30b3\u30fc\u30c6\u30a3\u30f3\u30b0\u306e\u539a\u3055\u3092\u6700\u9069\u5316\u3057\u3001\u57fa\u677f\u7279\u6027\u3092\u5411\u4e0a\u3055\u305b\u308b\u305f\u3081\u306b\u69d8\u3005\u306a\u524d\u99c6\u4f53\u6750\u6599\u3092\u5229\u7528\u3059\u308b\u3053\u3068\u306b\u91cd\u70b9\u3092\u7f6e\u3044\u3066\u3044\u308b\u3002\u5927\u5b66\u3084\u72ec\u7acb\u3057\u305f\u7d44\u7e54\u304c\u4e16\u754c\u7684\u306b\u884c\u3063\u3066\u3044\u308b\u7814\u7a76\u30a4\u30cb\u30b7\u30a2\u30c1\u30d6\u306f\u3001\u9769\u65b0\u7684\u306a\u524d\u99c6\u4f53\u6750\u6599\u3092\u901a\u3058\u3066\u57fa\u677f\u7279\u6027\u3092\u5411\u4e0a\u3055\u305b\u308b\u3068\u3068\u3082\u306b\u3001\u6700\u7d42\u7528\u9014\u90e8\u9580\u306e\u5229\u76ca\u306e\u305f\u3081\u306b\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u306e\u30b3\u30b9\u30c8\u3092\u5408\u7406\u5316\u3059\u308b\u3053\u3068\u3092\u76ee\u6307\u3057\u3066\u3044\u308b\u3002<\/p>\n
CVD\u304a\u3088\u3073PVD\u88c5\u7f6e\u306e\u30e1\u30fc\u30ab\u30fc\u306f\u3001\u88fd\u54c1\u30e9\u30a4\u30f3\u30ca\u30c3\u30d7\u3092\u7d76\u3048\u305a\u8fd1\u4ee3\u5316\u3057\u3001\u6700\u7d42\u7528\u9014\u7523\u696d\u306e\u9032\u5316\u3059\u308b\u30cb\u30fc\u30ba\u306b\u5bfe\u5fdc\u3059\u308b\u305f\u3081\u306b\u591a\u984d\u306e\u6295\u8cc7\u304c\u5fc5\u8981\u3067\u3042\u308b\u3002CVD\u304a\u3088\u3073PVD\u5e02\u5834\u306e\u6709\u529b\u4f01\u696d\u306f\u3001\u3055\u307e\u3056\u307e\u306a\u696d\u754c\u306e\u30c0\u30a4\u30ca\u30df\u30c3\u30af\u306a\u9700\u8981\u306b\u81ea\u793e\u306e\u88fd\u54c1\u3092\u5408\u308f\u305b\u308b\u305f\u3081\u3001\u6bce\u5e74\u306e\u7814\u7a76\u958b\u767a\u4e8b\u696d\u306b\u591a\u984d\u306e\u30ea\u30bd\u30fc\u30b9\u3092\u5272\u3044\u3066\u3044\u308b\u3002<\/p>\n
\u3053\u306e\u5206\u91ce\u306e\u4e3b\u8981\u4f01\u696d\u3067\u3042\u308b\u30a8\u30ea\u30b3\u30f3\u30fb\u30d0\u30eb\u30b6\u30fc\u30b9\u306f\u3001\u305d\u306e\u591a\u5927\u306a\u8ca2\u732e\u3067\u969b\u7acb\u3063\u3066\u3044\u308b\u3002\u7279\u306b\u3001HiPIMS\uff08\u30cf\u30a4\u30d1\u30ef\u30fc\u30a4\u30f3\u30d1\u30eb\u30b9\u30de\u30b0\u30cd\u30c8\u30ed\u30f3\u30b9\u30d1\u30c3\u30bf\u30ea\u30f3\u30b0\uff09\u6280\u8853\u306e\u5c0e\u5165\u306f\u3001\u91d1\u5c5e\u3001\u5408\u91d1\u3001\u30bb\u30e9\u30df\u30c3\u30af\u30b9\u304b\u3089\u306a\u308b\u8584\u819c\u306e\u6210\u819c\u3092\u53ef\u80fd\u306b\u3057\u3001\u9ad8\u901fPVD\u80fd\u529b\u3092\u5b9f\u8a3c\u3057\u305f\u3002\u30a8\u30ea\u30b3\u30f3\u30fb\u30d0\u30eb\u30c4\u30a1\u30fc\u30ba\u306e\u6700\u8fd1\u306e\u30de\u30a4\u30eb\u30b9\u30c8\u30fc\u30f3\u3068\u3057\u3066\u306f\u30012023\u5e747\u6708\u306eBALIQ TISINOS PRO\u306e\u30ea\u30ea\u30fc\u30b9\u304c\u6319\u3052\u3089\u308c\u308b\u3002\u3053\u306e\u753b\u671f\u7684\u306aPVD\u30b3\u30fc\u30c6\u30a3\u30f3\u30b0\u306f\u3001\u7279\u306b\u786c\u5ea670HRC\u307e\u3067\u306e\u92fc\u3092\u30bf\u30fc\u30b2\u30c3\u30c8\u3068\u3057\u305f\u3001\u56f0\u96e3\u306a\u6750\u6599\u306e\u7cbe\u5bc6\u52a0\u5de5\u3092\u5927\u5e45\u306b\u5f37\u5316\u3057\u307e\u3059\u3002\u3053\u306e\u30b3\u30fc\u30c6\u30a3\u30f3\u30b0\u306f\u3001\u5de5\u5177\u8ca0\u8377\u3092\u6700\u5c0f\u9650\u306b\u6291\u3048\u3001\u8010\u6469\u8017\u6027\u3092\u8457\u3057\u304f\u5411\u4e0a\u3055\u305b\u3001\u5de5\u5177\u306e\u5bff\u547d\u3092\u5ef6\u3070\u3057\u3001\u751f\u7523\u91cf\u5168\u4f53\u306e\u54c1\u8cea\u3092\u5411\u4e0a\u3055\u305b\u307e\u3059\u3002<\/p>\n
\u3055\u3089\u306b\u3001AIXTRON\u306f\u6280\u8853\u9769\u65b0\u306b\u304a\u3044\u3066\u3082\u5927\u304d\u304f\u524d\u9032\u3057\u305f\u3002\u540c\u793e\u306f2022\u5e749\u6708\u3001\u70ad\u5316\u30b1\u30a4\u7d20\uff08SiC\uff09\u30a8\u30d4\u30bf\u30ad\u30b7\u30fc\u5411\u3051\u306b\u8abf\u6574\u3055\u308c\u305f\u6b21\u4e16\u4ee3CVD\u30b7\u30b9\u30c6\u30e0\u3067\u3042\u308bG10-SiC 200 mm\u88fd\u54c1\u30bd\u30ea\u30e5\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u3092\u767a\u8868\u3057\u307e\u3057\u305f\u3002\u3053\u306e\u9ad8\u6e29\u30b7\u30b9\u30c6\u30e0\u306f\u3001150\/200mm\u30a6\u30a7\u30cf\u30fc\u3067\u306e\u5927\u898f\u6a21SiC\u30d1\u30ef\u30fc\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u751f\u7523\u3092\u5bb9\u6613\u306b\u3059\u308b\u3088\u3046\u8a2d\u8a08\u3055\u308c\u3066\u304a\u308a\u3001\u696d\u754c\u306b\u3068\u3063\u3066\u5927\u304d\u306a\u9032\u6b69\u3092\u610f\u5473\u3059\u308b\u3002<\/p>\n
\u7814\u7a76\u958b\u767a\u30a4\u30cb\u30b7\u30a2\u30c6\u30a3\u30d6\u3092\u901a\u3058\u305f\u3053\u306e\u7d99\u7d9a\u7684\u306a\u6280\u8853\u9769\u65b0\u306f\u3001\u3055\u307e\u3056\u307e\u306a\u7523\u696d\u7528\u9014\u3067\u5e02\u5834\u95a2\u4fc2\u8005\u306b\u30c1\u30e3\u30f3\u30b9\u3092\u3082\u305f\u3089\u3059\u614b\u52e2\u3092\u6574\u3048\u3066\u3044\u308b\u3002<\/p>\n
\u8ab2\u984c:\u30a2\u30d7\u30ea\u30b1\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u306e\u6709\u8cc7\u683c\u8005\u4e0d\u8db3
\n\u84b8\u7740\u5e02\u5834\u306f\u3001\u305d\u306e\u8907\u96d1\u3067\u6280\u8853\u7684\u306b\u9ad8\u5ea6\u306a\u30aa\u30da\u30ec\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u3092\u52b9\u679c\u7684\u306b\u7ba1\u7406\u3059\u308b\u305f\u3081\u306e\u719f\u7df4\u3057\u305f\u52b4\u50cd\u529b\u306e\u5fc5\u8981\u6027\u306b\u95a2\u9023\u3059\u308b\u91cd\u8981\u306a\u8ab2\u984c\u3092\u7a81\u304d\u3064\u3051\u3066\u3044\u308b\u3002CVD\u3068PVD\u306e\u4e21\u6280\u8853\u306f\u3001\u305d\u306e\u8907\u96d1\u306a\u6027\u8cea\u304c\u7279\u5fb4\u3067\u3001\u9ad8\u5ea6\u306a\u7cbe\u5ea6\u3068\u6b63\u78ba\u3055\u304c\u8981\u6c42\u3055\u308c\u308b\u3002\u3053\u308c\u3089\u306e\u6280\u8853\u306f\u3055\u307e\u3056\u307e\u306a\u7523\u696d\u3067\u5fdc\u7528\u3055\u308c\u3066\u304a\u308a\u3001\u305d\u306e\u5c0e\u5165\u306e\u6210\u529f\u306f\u3001\u57fa\u677f\u6750\u6599\u306e\u53b3\u683c\u306a\u54c1\u8cea\u57fa\u6e96\u306e\u7dad\u6301\u306b\u304b\u304b\u3063\u3066\u3044\u308b\u3002\u3053\u308c\u306f\u3001\u3053\u308c\u3089\u306e\u6750\u6599\u304c\u6700\u7d42\u88fd\u54c1\u306b\u9069\u3057\u3066\u3044\u308b\u3053\u3068\u3092\u4fdd\u8a3c\u3059\u308b\u3060\u3051\u3067\u306a\u304f\u3001\u8cc7\u6e90\u306e\u4e0d\u5fc5\u8981\u306a\u6d6a\u8cbb\u3092\u9632\u3050\u305f\u3081\u306b\u3082\u6975\u3081\u3066\u91cd\u8981\u3067\u3042\u308b\u3002CVD\u88c5\u7f6e\u3084PVD\u88c5\u7f6e\u306f\u64cd\u4f5c\u304c\u8907\u96d1\u306a\u305f\u3081\u3001\u5341\u5206\u306a\u8a13\u7df4\u3092\u53d7\u3051\u305f\u719f\u7df4\u8005\u306e\u5c02\u9580\u77e5\u8b58\u304c\u5fc5\u8981\u3068\u3055\u308c\u308b\u3002\u3053\u308c\u3089\u306e\u88c5\u7f6e\u306e\u5b9a\u671f\u7684\u306a\u64cd\u4f5c\u3001\u691c\u67fb\u3001\u30e1\u30f3\u30c6\u30ca\u30f3\u30b9\u306f\u3001\u305d\u306e\u6a5f\u80fd\u3092\u4e2d\u65ad\u3059\u308b\u3053\u3068\u306a\u304f\u3001\u4e88\u671f\u305b\u306c\u6545\u969c\u3092\u9632\u3050\u305f\u3081\u306b\u4e0d\u53ef\u6b20\u3067\u3059\u3002<\/p>\n
\u767a\u5c55\u9014\u4e0a\u56fd\u3067\u306f\u3001\u3053\u3046\u3057\u305f\u9ad8\u5ea6\u306a\u6a5f\u68b0\u3092\u6271\u3048\u308b\u6709\u8cc7\u683c\u306e\u5c02\u9580\u5bb6\u304c\u4e0d\u8db3\u3057\u3066\u3044\u308b\u3002\u3053\u306e\u3088\u3046\u306a\u719f\u7df4\u52b4\u50cd\u8005\u306e\u4e0d\u8db3\u306f\u5e02\u5834\u95a2\u4fc2\u8005\u306b\u3068\u3063\u3066\u5927\u304d\u306a\u8ab2\u984c\u3067\u3042\u308a\u3001\u84b8\u7740\u5e02\u5834\u306e\u6210\u9577\u3092\u963b\u5bb3\u3057\u3066\u3044\u308b\u3002<\/p>\n
\u6280\u8853\u5225\u3067\u306f\u3001\u5316\u5b66\u84b8\u7740\uff08CVD\uff09\u6280\u8853\u304c\u4e88\u6e2c\u671f\u9593\u4e2d\u3001\u84b8\u7740\u5e02\u5834\u3067\u6700\u3082\u5927\u304d\u304f\u8ca2\u732e\u3059\u308b\u3068\u4e88\u60f3\u3055\u308c\u3066\u3044\u308b\u3002
\nCVD\u306f\u3001\u84b8\u7740\u7523\u696d\u306b\u304a\u3044\u3066\u6c4e\u7528\u6027\u304c\u9ad8\u304f\u3001\u5e83\u304f\u63a1\u7528\u3055\u308c\u3066\u3044\u308b\u8584\u819c\u84b8\u7740\u6280\u8853\u3067\u3042\u308b\u3002CVD\u306f\u3001\u6c17\u4f53\u74b0\u5883\u4e0b\u3067\u306e\u5316\u5b66\u53cd\u5fdc\u306b\u3088\u3063\u3066\u3001\u56fa\u4f53\u6750\u6599\u3092\u57fa\u677f\u8868\u9762\u306b\u5236\u5fa1\u3055\u308c\u305f\u5f62\u3067\u84b8\u7740\u3055\u305b\u308b\u6280\u8853\u3067\u3042\u308b\u3002\u5178\u578b\u7684\u306aCVD\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u3067\u306f\u3001\u53cd\u5fdc\u6027\u30ac\u30b9\u304c\u771f\u7a7a\u30c1\u30e3\u30f3\u30d0\u30fc\u306b\u5c0e\u5165\u3055\u308c\u3001\u305d\u3053\u3067\u5316\u5b66\u53cd\u5fdc\u304c\u8d77\u3053\u308a\u3001\u57fa\u677f\u4e0a\u306b\u56fa\u4f53\u6750\u6599\u304c\u5f62\u6210\u3055\u308c\u308b\u3002\u3053\u306e\u56fa\u4f53\u6750\u6599\u306f\u3001\u7528\u9014\u3084\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u30fb\u30d1\u30e9\u30e1\u30fc\u30bf\u30fc\u306b\u3088\u3063\u3066\u3001\u8584\u819c\u3001\u30b3\u30fc\u30c6\u30a3\u30f3\u30b0\u3001\u3042\u308b\u3044\u306f\u4e09\u6b21\u5143\u69cb\u9020\u306b\u306a\u308b\u3053\u3068\u3082\u3042\u308b\u3002<\/p>\n
CVD\u306b\u306f\u3044\u304f\u3064\u304b\u306e\u5229\u70b9\u304c\u3042\u308b\u3002\u7b2c\u4e00\u306b\u3001\u84b8\u7740\u6750\u6599\u306e\u7d44\u6210\u3001\u539a\u3055\u3001\u5f62\u614b\u3092\u7cbe\u5bc6\u306b\u5236\u5fa1\u3067\u304d\u308b\u3002\u3053\u306e\u30ec\u30d9\u30eb\u306e\u5236\u5fa1\u306f\u3001\u8584\u819c\u306e\u7279\u6027\u304c\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u306e\u6027\u80fd\u306b\u4e0d\u53ef\u6b20\u306a\u30de\u30a4\u30af\u30ed\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30cb\u30af\u30b9\u306e\u3088\u3046\u306a\u7523\u696d\u3067\u306f\u6975\u3081\u3066\u91cd\u8981\u3067\u3042\u308b\u3002\u7b2c\u4e8c\u306b\u3001CVD\u306f\u534a\u5c0e\u4f53\u3001\u91d1\u5c5e\u3001\u30bb\u30e9\u30df\u30c3\u30af\u3001\u3055\u3089\u306b\u306f\u30c0\u30a4\u30e4\u30e2\u30f3\u30c9\u30e9\u30a4\u30af\u30ab\u30fc\u30dc\u30f3\u306a\u3069\u3001\u5e45\u5e83\u3044\u6750\u6599\u306e\u6210\u819c\u306b\u4f7f\u7528\u3067\u304d\u308b\u3002\u3053\u306e\u6c4e\u7528\u6027\u306b\u3088\u308a\u3001\u96c6\u7a4d\u56de\u8def\u306e\u88fd\u9020\u304b\u3089\u5207\u524a\u5de5\u5177\u306e\u4fdd\u8b77\u819c\u306e\u88fd\u9020\u307e\u3067\u3001\u3055\u307e\u3056\u307e\u306a\u7528\u9014\u306b\u9069\u3057\u3066\u3044\u308b\u3002CVD\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u306f\u3001\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30cb\u30af\u30b9\u3001\u30bd\u30fc\u30e9\u30fc\u30d1\u30cd\u30eb\u3001\u30b5\u30f3\u30b0\u30e9\u30b9\u3001\u5149\u30b9\u30c8\u30ec\u30fc\u30b8\u3001\u5efa\u7bc9\u7528\u30ac\u30e9\u30b9\u306a\u3069\u306e\u5149\u5b66\u306a\u3069\u3001\u3055\u307e\u3056\u307e\u306a\u7523\u696d\u3067\u5e45\u5e83\u304f\u5fdc\u7528\u3055\u308c\u3066\u3044\u308b\u3002\u6c4e\u7528\u6027\u304c\u9ad8\u304f\u3001\u8cbb\u7528\u5bfe\u52b9\u679c\u306b\u512a\u308c\u305f\u7528\u9014\u306e\u3072\u3068\u3064\u304cCVD\u306b\u3088\u308b\u91cd\u5408\u3067\u3001\u5c0f\u3055\u306a\u5206\u5b50\u304c\u5316\u5b66\u7684\u306b\u7d50\u5408\u3057\u3066\u3001\u5e83\u7bc4\u306a\u9396\u72b6\u306e\u30dd\u30ea\u30de\u30fc\u3092\u4f5c\u308a\u51fa\u3059\u3002\u3053\u306e\u65b9\u6cd5\u306f\u3001\u30dd\u30c6\u30c8\u30c1\u30c3\u30d7\u30b9\u306e\u888b\u306b\u4f7f\u308f\u308c\u308b\u3088\u3046\u306a\u5305\u88c5\u6750\u6599\u7528\u30d5\u30a3\u30eb\u30e0\u306e\u88fd\u9020\u306b\u5f79\u7acb\u3063\u3066\u3044\u308b\u3002CVD\u30b3\u30fc\u30c6\u30a3\u30f3\u30b0\u306f\u3001\u5353\u8d8a\u3057\u305f\u786c\u5ea6\u3001\u304d\u3081\u306e\u7d30\u304b\u3055\u3001\u4e0d\u6d78\u900f\u6027\u3067\u597d\u307e\u308c\u3001\u3055\u307e\u3056\u307e\u306a\u6c17\u8c61\u6761\u4ef6\u306b\u3088\u308b\u8150\u98df\u304b\u3089\u8868\u9762\u3092\u4fdd\u8b77\u3059\u308b\u306e\u306b\u6b20\u304b\u305b\u306a\u3044\u3002\u3055\u3089\u306b\u3001CVD\u306f\u9ad8\u6027\u80fd\u306e\u81ea\u52d5\u8eca\u90e8\u54c1\u3084\u822a\u7a7a\u5b87\u5b99\u90e8\u54c1\u306e\u88fd\u9020\u3001\u7279\u306b\u6f64\u6ed1\u6027\u3084\u786c\u5ea6\u3068\u3044\u3063\u305f\u8981\u7d20\u3092\u542b\u3080\u30c8\u30e9\u30a4\u30dc\u30ed\u30b8\u30fc\u304c\u6700\u3082\u91cd\u8981\u306a\u7528\u9014\u3001\u7523\u696d\u7528\u9014\u3001\u8f38\u9001\u306b\u304a\u3044\u3066\u91cd\u8981\u306a\u5f79\u5272\u3092\u679c\u305f\u3057\u3066\u3044\u308b\u3002\u30de\u30a4\u30af\u30ed\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30cb\u30af\u30b9\u3001\u7523\u696d\u30fb\u30a8\u30cd\u30eb\u30ae\u30fc\u3001\u533b\u7642\u6a5f\u5668\u306a\u3069\u3001\u3055\u307e\u3056\u307e\u306a\u6700\u7d42\u7528\u9014\u7523\u696d\u3067\u3053\u306e\u6280\u8853\u306e\u5229\u7528\u304c\u5897\u52a0\u3057\u3066\u3044\u308b\u3053\u3068\u304c\u3001CVD\u6280\u8853\u306e\u4e3b\u306a\u63a8\u9032\u8981\u56e0\u3068\u306a\u3063\u3066\u3044\u308b\u3002<\/p>\n
\u6700\u7d42\u7528\u9014\u7523\u696d\u5225\u3067\u306f\u3001\u96fb\u5b50\u30fb\u534a\u5c0e\u4f53\u5206\u91ce\u304c\u4e88\u6e2c\u671f\u9593\u4e2d\u3001\u84b8\u7740\u5e02\u5834\u3067\u6700\u3082\u5927\u304d\u304f\u8ca2\u732e\u3059\u308b\u3068\u4e88\u60f3\u3055\u308c\u3066\u3044\u308b\u3002
\n\u84b8\u7740\u5e02\u5834\u306f\u3001\u73fe\u4ee3\u306e\u88fd\u9020\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u306b\u304a\u3051\u308b\u6975\u3081\u3066\u91cd\u8981\u306a\u30d7\u30ec\u30fc\u30e4\u30fc\u3068\u3057\u3066\u53f0\u982d\u3057\u3001\u69d8\u3005\u306a\u7523\u696d\u306b\u304a\u3044\u3066\u591a\u69d8\u306a\u30a2\u30d7\u30ea\u30b1\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u3092\u63d0\u4f9b\u3057\u3066\u3044\u308b\u3002\u84b8\u7740\u306f\u30de\u30a4\u30af\u30ed\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30cb\u30af\u30b9\u3068\u534a\u5c0e\u4f53\u7523\u696d\u3067\u91cd\u8981\u306a\u5f79\u5272\u3092\u679c\u305f\u3057\u3001\u534a\u5c0e\u4f53\u57fa\u677f\u4e0a\u306b\u6750\u6599\u306e\u8584\u819c\u3092\u84b8\u7740\u3059\u308b\u57fa\u672c\u7684\u306a\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u3068\u3057\u3066\u6a5f\u80fd\u3057\u3066\u3044\u308b\u3002\u3053\u306e\u6280\u8853\u306f\u3001\u6750\u6599\u306e\u7d44\u6210\u3001\u539a\u3055\u3001\u304a\u3088\u3073\u7279\u6027\u3092\u6b63\u78ba\u306b\u5236\u5fa1\u3059\u308b\u3053\u3068\u3067\u3001\u9ad8\u5ea6\u306a\u534a\u5c0e\u4f53\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u306e\u88fd\u9020\u3092\u53ef\u80fd\u306b\u3057\u307e\u3059\u3002\u30de\u30a4\u30af\u30ed\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30cb\u30af\u30b9\u306b\u304a\u3051\u308b\u84b8\u7740\u6cd5\u306e\u4e3b\u306a\u7528\u9014\u306e\u3072\u3068\u3064\u306f\u3001\u96c6\u7a4d\u56de\u8def\uff08IC\uff09\u306e\u88fd\u9020\u3067\u3042\u308b\u3002<\/p>\n
CVD\u3067\u306f\u3001\u7d76\u7e01\u5c64\u3068\u3057\u3066\u4e8c\u9178\u5316\u30b1\u30a4\u7d20\uff08SiO2\uff09\u3084\u7a92\u5316\u30b1\u30a4\u7d20\uff08Si3N4\uff09\u306e\u8584\u819c\u3092\u6210\u9577\u3055\u305b\u308b\u3053\u3068\u304c\u3067\u304d\u3001IC\u306e\u3055\u307e\u3056\u307e\u306a\u30b3\u30f3\u30dd\u30fc\u30cd\u30f3\u30c8\u3092\u7d76\u7e01\u3059\u308b\u306e\u306b\u6b20\u304b\u305b\u306a\u3044\u3002\u30b9\u30d1\u30c3\u30bf\u30ea\u30f3\u30b0\u306a\u3069\u306ePVD\u6280\u8853\u3067\u306f\u3001\u9285\uff08Cu\uff09\u3084\u30a2\u30eb\u30df\u30cb\u30a6\u30e0\uff08Al\uff09\u306a\u3069\u306e\u91d1\u5c5e\u3092\u84b8\u7740\u3057\u3001\u56de\u8def\u306e\u3055\u307e\u3056\u307e\u306a\u8981\u7d20\u3092\u3064\u306a\u3050\u76f8\u4e92\u63a5\u7d9a\u3092\u5f62\u6210\u3057\u307e\u3059\u3002\u3053\u308c\u3089\u306e\u6750\u6599\u3092\u6b63\u78ba\u306b\u6210\u819c\u3059\u308b\u3053\u3068\u306f\u3001\u6700\u7d42\u7684\u306aIC\u306e\u6a5f\u80fd\u3068\u6027\u80fd\u3092\u4fdd\u8a3c\u3059\u308b\u305f\u3081\u306b\u6975\u3081\u3066\u91cd\u8981\u3067\u3042\u308b\u3002PVD\u3068CVD\u306f\u30de\u30a4\u30af\u30ed\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30cb\u30af\u30b9\u3068\u534a\u5c0e\u4f53\u7523\u696d\u306e\u5c4b\u53f0\u9aa8\u3067\u3042\u308a\u3001\u3088\u308a\u5c0f\u3055\u304f\u3001\u3088\u308a\u901f\u304f\u3001\u3088\u308a\u30a8\u30cd\u30eb\u30ae\u30fc\u52b9\u7387\u306e\u9ad8\u3044\u96fb\u5b50\u6a5f\u5668\u306e\u751f\u7523\u3092\u53ef\u80fd\u306b\u3057\u3066\u3044\u308b\u3002\u6700\u5148\u7aef\u6280\u8853\u3078\u306e\u9700\u8981\u304c\u4f38\u3073\u7d9a\u3051\u308b\u306b\u3064\u308c\u3001\u3053\u308c\u3089\u306e\u6700\u7d42\u7528\u9014\u7523\u696d\u306e\u65e5\u9032\u6708\u6b69\u306e\u8981\u4ef6\u3092\u6e80\u305f\u3059\u4e0a\u3067\u3001\u3053\u308c\u3089\u306e\u84b8\u7740\u6280\u8853\u306e\u91cd\u8981\u6027\u3082\u5897\u3057\u3066\u3044\u308b\u3002<\/p>\n
\u4e88\u6e2c\u671f\u9593\u4e2d\u3001\u30a2\u30b8\u30a2\u592a\u5e73\u6d0b\u5730\u57df\u304c\u6700\u5927\u306e\u5e02\u5834\u306b\u306a\u308b\u898b\u8fbc\u307f
\n\u30a2\u30b8\u30a2\u592a\u5e73\u6d0b\u5730\u57df\u306f\u3001\u4e16\u754c\u306e\u534a\u5c0e\u4f53\u30fb\u96fb\u5b50\u6a5f\u5668\u88fd\u9020\u696d\u754c\u306e\u5f37\u56fd\u3068\u3057\u3066\u53f0\u982d\u3057\u3066\u304a\u308a\u3001\u3053\u306e\u5206\u91ce\u306e\u4e2d\u3067\u3082\u84b8\u7740\u6cd5\u306f\u3001\u30b9\u30de\u30fc\u30c8\u30d5\u30a9\u30f3\u3001\u30c6\u30ec\u30d3\u3001\u30b3\u30f3\u30d4\u30e5\u30fc\u30bf\u30fc\u306b\u4f7f\u7528\u3055\u308c\u308b\u534a\u5c0e\u4f53\u3001\u30de\u30a4\u30af\u30ed\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30cb\u30af\u30b9\u3001\u30c7\u30a3\u30b9\u30d7\u30ec\u30a4\u6280\u8853\u306e\u88fd\u9020\u306b\u4e0d\u53ef\u6b20\u3067\u3042\u308b\u3002\u30a2\u30b8\u30a2\u592a\u5e73\u6d0b\u5730\u57df\u306f\u534a\u5c0e\u4f53\u88fd\u9020\u306e\u9707\u6e90\u5730\u3068\u306a\u3063\u3066\u304a\u308a\u3001\u53f0\u6e7e\u3001\u97d3\u56fd\u3001\u4e2d\u56fd\u306a\u3069\u304c\u305d\u306e\u727d\u5f15\u5f79\u3068\u306a\u3063\u3066\u3044\u308b\u3002\u88fd\u9020\u65bd\u8a2d\u306e\u5897\u52a0\u3001\u7d76\u3048\u9593\u306a\u304f\u767a\u5c55\u3059\u308b\u534a\u5c0e\u4f53\u7523\u696d\u3001\u3055\u307e\u3056\u307e\u306a\u653f\u5e9c\u304b\u3089\u306e\u8ca1\u653f\u652f\u63f4\u306f\u3001\u30a2\u30b8\u30a2\u592a\u5e73\u6d0b\u5730\u57df\u306b\u304a\u3051\u308b\u84b8\u7740\u9700\u8981\u306e\u62e1\u5927\u306e\u4e3b\u306a\u8981\u56e0\u306e\u3072\u3068\u3064\u3067\u3042\u308b\u3002<\/p>\n
\u84b8\u7740\u5e02\u5834\u306e\u30d7\u30ec\u30fc\u30e4\u30fc
\n\u84b8\u7740\u5e02\u5834\u306e\u4e3b\u306a\u4e3b\u8981\u30d7\u30ec\u30fc\u30e4\u30fc\u306b\u306f\u3001Applied Materials, Inc.\uff08\u7c73\u56fd\uff09\u3001\u6771\u4eac\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30f3\u682a\u5f0f\u4f1a\u793e\uff08\u65e5\u672c\uff09\u3001Lam Research Corporation\uff08\u7c73\u56fd\uff09\u3001OC Oerlikon Management AG\uff08\u30b9\u30a4\u30b9\uff09\u3001\u682a\u5f0f\u4f1a\u793eIHI\uff08\u65e5\u672c\uff09\u304c\u542b\u307e\u308c\u308b\u3002(\u65e5\u672c\uff09\u3001Lam Research Corporation\uff08\u7c73\u56fd\uff09\u3001OC Oerlikon Management AG\uff08\u30b9\u30a4\u30b9\uff09\u3001IHI Corporation\uff08\u65e5\u672c\uff09\u3001ULVAC, Inc.\uff08\u65e5\u672c\uff09\u3001Veeco Instruments Inc.\uff08\u7c73\u56fd\uff09\u3001Voestalpine AG\uff08\u30aa\u30fc\u30b9\u30c8\u30ea\u30a2\uff09\u3001ASM International N.V.\uff08\u30aa\u30e9\u30f3\u30c0\uff09\u306a\u3069\u304c\u6319\u3052\u3089\u308c\u308b\u3002<\/p>\n
\u3053\u306e\u8abf\u67fb\u30ec\u30dd\u30fc\u30c8\u306f\u3001\u4e16\u754c\u306e\u84b8\u7740\u5e02\u5834\u3092\u6280\u8853\u3001\u6700\u7d42\u7528\u9014\u7523\u696d\u3001\u5730\u57df\u306b\u57fa\u3065\u3044\u3066\u5206\u985e\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002<\/p>\n
\u6280\u8853\u5225\u3067\u306f\u3001\u84b8\u7740\u5e02\u5834\u306f\u4ee5\u4e0b\u306e\u3088\u3046\u306b\u5206\u985e\u3055\u308c\u308b\uff1a
\nPVD
\n\u30de\u30b0\u30cd\u30c8\u30ed\u30f3\u30b9\u30d1\u30c3\u30bf\u30ea\u30f3\u30b0
\n\u96fb\u5b50\u30d3\u30fc\u30e0\u84b8\u7740
\n\u30ab\u30bd\u30fc\u30c9\u30a2\u30fc\u30af\u84b8\u7740
\n\u305d\u306e\u4ed6
\nCVD
\n\u4f4e\u5727CVD
\n\u5927\u6c17\u5727CVD
\n\u30d7\u30e9\u30ba\u30de\u30a8\u30f3\u30cf\u30f3\u30b9\u30c8CVD
\n\u6709\u6a5f\u91d1\u5c5eCVD
\n\u305d\u306e\u4ed6
\n\u6700\u7d42\u7528\u9014\u7523\u696d\u5225\u3067\u306f\u3001\u84b8\u7740\u5e02\u5834\u306f\u4ee5\u4e0b\u306e\u3088\u3046\u306b\u5206\u985e\u3055\u308c\u308b\uff1a
\n\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30cb\u30af\u30b9\uff06\u534a\u5c0e\u4f53
\n\u81ea\u52d5\u8eca
\n\u822a\u7a7a\u5b87\u5b99\u30fb\u9632\u885b
\n\u30a8\u30cd\u30eb\u30ae\u30fc\u3068\u96fb\u529b
\n\u533b\u7642\u30fb\u30d8\u30eb\u30b9\u30b1\u30a2
\n\u30d1\u30c3\u30b1\u30fc\u30b8\u30f3\u30b0
\n\u30aa\u30d7\u30c6\u30a3\u30c3\u30af\uff06\u30aa\u30d7\u30c8\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30cb\u30af\u30b9
\n\u5207\u524a\u5de5\u5177\u304a\u3088\u3073\u6469\u8017\u90e8\u54c1
\n\u305d\u306e\u4ed6
\n\u84b8\u7740\u5e02\u5834\u306f\u5730\u57df\u5225\u306b\u4ee5\u4e0b\u306e\u3088\u3046\u306b\u5206\u985e\u3055\u308c\u308b\uff1a
\n\u5317\u7c73
\n\u30e8\u30fc\u30ed\u30c3\u30d1
\n\u30a2\u30b8\u30a2\u592a\u5e73\u6d0b
\n\u4e2d\u6771\u30fb\u30a2\u30d5\u30ea\u30ab
\n\u5357\u7c73
\n\u6700\u8fd1\u306e\u52d5\u5411
\n\u30a2\u30d7\u30e9\u30a4\u30c9 \u30de\u30c6\u30ea\u30a2\u30eb\u30ba\u306f2023\u5e746\u6708\u3001\u30a4\u30f3\u30c9\u306e\u30d0\u30f3\u30ac\u30ed\u30fc\u30eb\u306b\u5171\u540c\u30a8\u30f3\u30b8\u30cb\u30a2\u30ea\u30f3\u30b0\u30fb\u30cf\u30d6\u3092\u8a2d\u7acb\u3059\u308b\u3002\u3053\u306e\u30a4\u30cb\u30b7\u30a2\u30c6\u30a3\u30d6\u306f\u3001\u534a\u5c0e\u4f53\u88fd\u9020\u88c5\u7f6e\u306b\u95a2\u3059\u308b\u6700\u5148\u7aef\u6280\u8853\u306e\u958b\u767a\u3068\u5546\u696d\u5316\u306b\u4e3b\u773c\u3092\u7f6e\u304f\u3002
\n2023\u5e746\u6708\u3001\u30e9\u30e0\u30ea\u30b5\u30fc\u30c1\u306f\u3001\u4eca\u5f8c\u306e\u30ed\u30b8\u30c3\u30af\u30013D NAND\u3001\u5148\u7aef\u30d1\u30c3\u30b1\u30fc\u30b8\u30f3\u30b0\u30fb\u30a2\u30d7\u30ea\u30b1\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u306b\u304a\u3051\u308b\u91cd\u8981\u306a\u88fd\u9020\u30cf\u30fc\u30c9\u30eb\u306b\u52b9\u679c\u7684\u306b\u53d6\u308a\u7d44\u3080\u305f\u3081\u306b\u8a2d\u8a08\u3055\u308c\u305f\u521d\u306e\u30d9\u30d9\u30eb\u6210\u819c\u30bd\u30ea\u30e5\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u3092\u767a\u8868\u3057\u307e\u3057\u305f\u3002Coronus DX\u306f\u3001\u534a\u5c0e\u4f53\u30a6\u30a7\u30cf\u30fc\u306e\u30a8\u30c3\u30b8\u306b\u72ec\u81ea\u306e\u4fdd\u8b77\u819c\u5c64\u3092\u9069\u7528\u3057\u3001\u8907\u96d1\u306a\u88fd\u9020\u6bb5\u968e\u306b\u304a\u3051\u308b\u6b20\u9665\u3084\u6f5c\u5728\u7684\u306a\u640d\u50b7\u306e\u30ea\u30b9\u30af\u3092\u8efd\u6e1b\u3057\u307e\u3059\u3002\u3053\u306e\u5f37\u56fa\u306a\u4fdd\u8b77\u819c\u306f\u3001\u6b69\u7559\u307e\u308a\u3092\u5927\u5e45\u306b\u5411\u4e0a\u3055\u305b\u3001\u30c1\u30c3\u30d7\u30fb\u30e1\u30fc\u30ab\u30fc\u304c\u6b21\u4e16\u4ee3\u30c1\u30c3\u30d7\u3092\u88fd\u9020\u3059\u308b\u305f\u3081\u306e\u6700\u5148\u7aef\u6280\u8853\u3092\u63a1\u7528\u3067\u304d\u308b\u3088\u3046\u306b\u3057\u307e\u3059\u3002
\n\u6771\u4eac\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30f3\u682a\u5f0f\u4f1a\u793e\u306e\u5b50\u4f1a\u793e\u3067\u3042\u308b\u6771\u4eac\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30f3\u30c6\u30af\u30ce\u30ed\u30b8\u30fc\u30bd\u30ea\u30e5\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u30ba\u682a\u5f0f\u4f1a\u793e\u306f\u3001\u5c71\u68a8\u770c\u97ee\u5d0e\u5e02\u306e\u4fdd\u5742\u4e8b\u696d\u6240\u5185\u306b\u65b0\u958b\u767a\u68df\u30922023\u5e747\u6708\u306b\u7ae3\u5de5\u3044\u305f\u3057\u307e\u3057\u305f\u3002\u65b0\u958b\u767a\u68df\u306e\u7ae3\u5de5\u306b\u3088\u308a\u3001\u6771\u4eac\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30f3\u306e\u6280\u8853\u529b\u306f\u3001\u5e02\u5834\u306e\u8981\u6c42\u3068\u304a\u5ba2\u69d8\u306e\u8981\u6c42\u306e\u53cc\u65b9\u306b\u5408\u81f4\u3057\u305f\u3082\u306e\u3068\u306a\u308a\u307e\u3059\u3002
\n\u30a2\u30d7\u30e9\u30a4\u30c9 \u30de\u30c6\u30ea\u30a2\u30eb\u30ba\u306f2022\u5e746\u6708\u3001\u30d5\u30a3\u30f3\u30e9\u30f3\u30c9\u306e\u30a8\u30b9\u30dd\u30fc\u306b\u672c\u793e\u3092\u7f6e\u304f\u975e\u4e0a\u5834\u306e\u534a\u5c0e\u4f53\u88fd\u9020\u88c5\u7f6e\u30e1\u30fc\u30ab\u30fc\u3001\u30d4\u30b3\u30b5\u30f3\u793e\u3092\u8cb7\u53ce\u3057\u305f\u3002\u8cb7\u53ce\u984d\u306f4\u51045,000\u4e07\u7c73\u30c9\u30eb\u3002\u30d4\u30b3\u30b5\u30f3\u793e\u306e\u8cb7\u53ce\u306b\u3088\u308a\u3001\u30a2\u30d7\u30e9\u30a4\u30c9 \u30de\u30c6\u30ea\u30a2\u30eb\u30ba\u306f\u7279\u6b8a\u534a\u5c0e\u4f53\u88fd\u9020\u88c5\u7f6e\u306e\u30dd\u30fc\u30c8\u30d5\u30a9\u30ea\u30aa\u3092\u62e1\u5927\u3057\u3001\u3053\u308c\u3089\u306e\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u306e\u9700\u8981\u62e1\u5927\u306b\u5bfe\u5fdc\u3059\u308b\u3002Picosun\u793e\u306eALD\u6280\u8853\u306f\u30a2\u30d7\u30e9\u30a4\u30c9 \u30de\u30c6\u30ea\u30a2\u30eb\u30ba\u306e\u65e2\u5b58\u306eALD\u88c5\u7f6e\u30dd\u30fc\u30c8\u30d5\u30a9\u30ea\u30aa\u3092\u88dc\u5b8c\u3059\u308b\u3082\u306e\u3067\u3042\u308a\u3001\u4eca\u56de\u306e\u8cb7\u53ce\u306b\u3088\u308a\u30a2\u30d7\u30e9\u30a4\u30c9 \u30de\u30c6\u30ea\u30a2\u30eb\u30ba\u306f\u7279\u6b8a\u534a\u5c0e\u4f53\u5e02\u5834\u306b\u304a\u3044\u3066\u3088\u308a\u5f37\u56fa\u306a\u5730\u4f4d\u3092\u7372\u5f97\u3059\u308b\u3053\u3068\u306b\u306a\u308b\u3002
\n\u6771\u4eac\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30f3\u306f2022\u5e745\u6708\u3001\u5bae\u57ce\u5de5\u5834\u306b\u65b0\u958b\u767a\u68df\u3092\u5efa\u8a2d\u3059\u308b\u3002\u65b0\u68df\u306f2024\u5e749\u6708\u306b\u5b8c\u6210\u4e88\u5b9a\u3067\u3001\u540c\u793e\u306e\u534a\u5c0e\u4f53\u88fd\u9020\u88c5\u7f6e\u306e\u7814\u7a76\u958b\u767a\u62e0\u70b9\u3068\u306a\u308b\u3002<\/p>\n","protected":false},"author":2,"featured_media":0,"comment_status":"closed","ping_status":"closed","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"footnotes":""},"categories":[1],"tags":[],"yoast_head":"\n